8月6日, 晶瑞股份在全景網投資者關係互動平台介紹, 公司的i線光刻膠已通過中芯國際上線測試, 高純雙氧水已在中芯國際產線測試. 據顯示與觸摸了解, 晶瑞股份的i線光刻膠由子公司蘇州瑞紅生產, 系承接國家重大科技項目02專項'i線光刻膠產品開發及產業化'而來, 為首次在國內實現i線光刻膠的量產. 在半導體製造領域, 光刻和刻蝕技術是半導體晶片在精細線路圖形加工中最重要的工藝, 決定著晶片的最小特徵尺寸, 占晶片製造時間的40-60%, 占晶片製造成本的35%左右. 而光刻膠是光刻工藝得以實現選擇性刻蝕的關鍵材料, 占晶片製造成本約7%左右, 是評定半導體晶片生產工藝技術水平的重要指標. 中國國內光刻膠產品和國外先進產品相比, 基本上落後了三, 四代左右. 《國家整合電路產業發展推進綱要》, 提出'研發光刻機, 刻蝕機, 離子注入機等關鍵設備, 開發光刻膠, 大尺英寸矽片等關鍵材料'; 國家重點支援的高新技術領域 (2015) 中提到'高解析度光刻膠及配套化學品作為精細化學品重要組成部分, 是重點發展的新材料技術'; 光刻技術 (包括光刻膠) 是《中國製造2025》重點領域. 目前市面上的半導體光刻膠一般分為磺化橡膠光刻膠, g/i線光刻膠 (436/365nm) , KrF/ArF光刻膠 (248/193nm) . i線光刻膠是指在365nm波長下工作的光刻膠, 主要用於6英寸和部分8英寸晶圓半導體的生產. 蘇州瑞紅是國內最早生產電子光刻膠的化工企業, 在中國液晶顯示行業發展過程中, 蘇州瑞紅為LCD光刻膠國產化做出了重要的貢獻, 約佔國內四成左右的市場份額. 在中國的半導體光刻膠領域, 蘇州瑞紅也在材料國產化領域發揮了重要作用, 其用於4~5英寸分立器的磺化橡膠光刻膠佔了國內約六成的市場份額. i線光刻膠通過中芯國際上線測試, 對於蘇州瑞紅和晶瑞股份來說, 不僅僅是產品升級, 業績增長而已, 還代表著中國企業在半導體核心材料上的重大突破. 半導體光刻膠的技術壁壘很高, 全球半導體行業中涉及光阻材料的核心技術主要被日本和美國企業所壟斷, 包括日本的JSR, 信越化學, TOK, 住友化學, 美國的SEMATECH, IBM, 韓國的東進化學等, 它們加起來的市場份額超過了95%. 目前中國國產光刻膠正在由中低端向高端逐步過度, 中國國內廠商在半導體領域基本掌握了g線 (436nm) 和i線(365nm)光刻膠技術, 正在攻克KrF (248nm) 和ArF(193nm)光刻膠核心技術. 其中除晶瑞股份系承接國家重大科技項目02專項'i線光刻膠產品開發及產業化'項目外, 南大光電 (SZ:300346) 入股的北京科華, KrF (248nm) 光刻膠上有小批量在中芯國際通過驗證, 同時也承接了國家重大科技項目02專項'193nm光刻膠及配套材料啟動項目'; 另外, 上海新陽(SZ:300236)則投資設立子公司開展193nm(ArF)幹法光刻膠研發及產業化項目. 蘇州瑞紅是蘇州電子材料 (集團) 有限公司同日本瑞翁 (NIPPONZEON) 和日本丸紅 (MARUBENI) 合資建立的專業生產電子化學品的公司, 2011年12月20日, 蘇電公司與晶瑞有限簽署股權轉讓合同, 將其所持蘇州瑞紅54.56%的股權轉讓給晶瑞有限, 2017年5月, 晶瑞有限首次公開發行股票並在創業板上市, 股票簡稱為'晶瑞股份', 股票代碼為'300655'. 晶瑞股份2018年半年度業績預告顯示, 上半年歸屬於上市公司股東的淨利潤為盈利: 2050萬元~ 2450萬元, 比上年同期增長: 43.29%~ 71.25%.
