'在領先的IC技術中, 晶圓和晶片製造商幾乎沒有出錯的空間, ' KLA-Tencor資深副總裁兼首席營銷官Oreste Donzella說. '新一代晶片的關鍵尺寸非常小, 以至於在裸矽晶圓或鍍膜監控晶圓上, 那些可以導致良率損失的缺陷尺寸已經小於現有設備監測系統的檢測極限. 此外, 無論是193i還是EUV, 缺陷檢測領域的第二個關鍵是如何可靠地檢測到光刻工藝早期所引入的良率損失缺陷. 我們的研發團隊開發出兩種新的缺陷檢測系統——一種用於無圖案/監控晶圓, 一種用於圖案化晶圓——為工程師快速並準確地解決這些難題提供了關鍵助力. '
Surfscan SP無圖案晶圓缺陷檢測系統採用實質性創新的光源和感測器架構, 並實現了足以改變行業面貌的靈敏度, 其解析度與前一代市場領先的Surfscan系統相比有著劃時代的提升. 這種前所未有的解析度的飛躍是檢測那些最小的殺手缺陷的關鍵. 新解析度的範圍可以允許對許多缺陷類型 (如顆粒, 劃痕, 滑移線和堆垛層錯) 進行即時分類——無需從Surfscan設備中取出晶圓或影響系統產量. 同時, 對功率密度峰值的精確控制也使得Surfscan SP7能夠檢測薄而精緻精細的EUV光刻膠材料.
Voyager 1015圖案化晶圓缺陷檢測系統將新型光源, 訊號採集和感測器完美結合, 填補了業界針對顯影后檢測 (ADI) 方面的長期空白. 這一革命性的雷射散射檢測系統在提升靈敏度的同時也可以減少雜訊訊號——並且與最佳替代品相比得到檢測結果要迅速得多. 像新型Surfscan SP7一樣, Voyager系統具有功率密度的獨特控制功能, 可對顯影后敏感精細的光刻膠材料進行線上檢測. 在光刻系統和晶圓廠其他 (工藝) 模組中對關鍵缺陷進行高產量捕獲, 使得工藝問題得以快速辨別和糾正.
第一批Surfscan SP7和Voyager 1015系統已在全球領先的晶圓, 設備和晶片製造商的工廠中投入使用, 與KLA-Tencor的eDR電子束缺陷檢查分析系統以及Klarity數據分析系統一起, 用以從根源上識別工藝控制的問題. 為了滿足晶圓和晶片製造商對高性能和生產力的要求, Voyager和Surfscan SP7系統由KLA-Tencor全球綜合服務網路提供技術支援.