EUV透過高能量, 波長短的光源, 解決既有顯影技術瓶頸, 是先進位程發展的關鍵設備, 一台要價1億歐元, 晶圓代工廠導入EUV量產的時程, 被業界視為技術領先的關鍵.
台積電明年領先群雄, 率先導入EUV量產, 意味再次棒打英特爾, 三星等勁敵, 晶圓代工龍頭地位屹立不搖.
台積電董事長魏哲家證實, 台積電導入EUV的7納米強化版(7+)將於明年第2季量產, 是全球首家採用EUV為客戶量產晶片的晶圓代工廠.
稍早三星曾宣布取得蘋果部分處理器訂單, 並宣稱是全球第一家在7納米導入EUV量產的半導體廠. 魏哲家此言等於打臉三星, 宣示台積電技術含金量遠高於同業, 凸顯台積電在先進位程已贏得全球晶片大廠信任.
魏哲家不願透露首批導入EUV設備量產客戶, 強調有多個產品導入7+FFT先進位程將會量產. 據悉, 台積電將把EUV應用於2020年量產的5納米製程, 並開始應用於3納米製程技術開發, 業界預期, 台積電挾EUV領先量產優勢, 將橫掃5G, AI等訂單.