EUV透过高能量, 波长短的光源, 解决既有显影技术瓶颈, 是先进制程发展的关键设备, 一台要价1亿欧元, 晶圆代工厂导入EUV量产的时程, 被业界视为技术领先的关键.
台积电明年领先群雄, 率先导入EUV量产, 意味再次棒打英特尔, 三星等劲敌, 晶圆代工龙头地位屹立不摇.
台积电董事长魏哲家证实, 台积电导入EUV的7纳米强化版(7+)将于明年第2季量产, 是全球首家采用EUV为客户量产芯片的晶圆代工厂.
稍早三星曾宣布取得苹果部分处理器订单, 并宣称是全球第一家在7纳米导入EUV量产的半导体厂. 魏哲家此言等于打脸三星, 宣示台积电技术含金量远高于同业, 凸显台积电在先进制程已赢得全球芯片大厂信任.
魏哲家不愿透露首批导入EUV设备量产客户, 强调有多个产品导入7+FFT先进制程将会量产. 据悉, 台积电将把EUV应用于2020年量产的5纳米制程, 并开始应用于3纳米制程技术开发, 业界预期, 台积电挟EUV领先量产优势, 将横扫5G, AI等订单.