數據顯示, 2014年-2017年, 國內半導體產業的資本開支分別為15億美元, 22億美元, 39億美元, 79億美元.
IC Insights表示, 除中芯國際外, 長江存儲, 合肥睿力, 福建晉華, 上海華力等公司將在2018年和2019年花費大量資金購買設備及擴建新的晶圓廠. 上市公司方面, 32家公司一季報資本開支合計為33億元, 同比增長35.47%; 主要集中在三家封測企業, 分別為長電科技, 華天科技, 通富微電.
分析人士表示, 資本開支大幅增加, 顯示出國內半導體產業的高景氣, 半導體設備廠商有望率先受益. 由於核心設備多為進口, 國內設備廠商的受益有限, 擁有先進位程技術的設備廠商機會更多.