洛陽中矽高科技有限公司:高純理念是電子級多晶矽的關鍵

2017 年, 中國整合電路進口金額 2600 億美元, 連續四年遠超石油進口額. 2018年4月, 美國對中興公司的制裁事件, 凸顯發展國產晶片的重要性與緊迫性. 晶片雖小, 已成為 '國之重器' .

電子級多晶矽是整合電路產業上遊核心原材料, 我國政府雄心勃勃的發展規劃以及各大企業對大矽片項目的投資, 將驅動電子級矽材料向前發展. 國家 '強基工程' 和整合電路產業投資基金(大基金)支援的中矽高科和江蘇鑫華正在開展電子級多晶矽研究及產業化, 採用全新的技術, 設計, 建設理念和系統裝備, 已有小批量投產並在用戶試用和認證過程中, 也有小批量供貨的消息. 此外, 國內還有黃河水電, 雲冶芯材等企業也分別發布了電子級多晶矽量產的消息. 伴隨這幾家多晶矽試產, 試用和驗證, 中國電子級多晶矽將逐步實現量產, 穩產及廣泛應用. 參照太陽能產業提質量, 降成本的發展基礎和經驗, 隨著電子級多晶矽質量和成本控制經驗的積累, 中國電子級多晶矽市場份額會逐步提升, 隨後, 市場競爭格局會發生根本改變, 中國電子級多晶矽出口也將會水到渠成.

電子級多晶矽相比太陽能級多晶矽難點是建立高純理念, 建設高純環境與生產系統, 建立可實施, 可控的質量保證體系. 所謂建立高純理念是從技術方案開始, 要求貫徹高純理念, 按不同工序環節, 設定對應的高純環境要求, 設備材質要求, 施工安裝要求等, 包括原料質量控制, 設備, 管道, 閥門裝備質量控制, 設備系統潔淨化安裝質量控制, 系統投產前的潔淨化處理及運行準備等等.

系統原料質量控制, 包括三氯氫矽, 氫氣, 矽烷, 矽芯或晶種等關鍵原材料質量, 配套的純水, 氮氣, 氬氣, 各種高純化學試劑等.

重要操作過程式控制制, 包括原料提純與輸送, 多晶矽生產, 矽棒(顆粒矽)收穫, 運輸, 矽棒破碎, 腐蝕清洗, 乾燥包裝等. 按生產環節要求, 控制環境空氣潔淨度, 強化機械化, 自動化操作, 減少人為沾汙.

按照多晶矽質量控制要求, 建立多晶矽質量控制體系, 包括進入還原爐的原料純度與控制要求;還原過程精細化, 標準化操作;根據產品質量目標要求, 建立質量控制體系和質量預警體系, 控制過程物料與操作.

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