洛阳中硅高科技有限公司:高纯理念是电子级多晶硅的关键

2017 年, 中国集成电路进口金额 2600 亿美元, 连续四年远超石油进口额. 2018年4月, 美国对中兴公司的制裁事件, 凸显发展国产芯片的重要性与紧迫性. 芯片虽小, 已成为 '国之重器' .

电子级多晶硅是集成电路产业上游核心原材料, 我国政府雄心勃勃的发展规划以及各大企业对大硅片项目的投资, 将驱动电子级硅材料向前发展. 国家 '强基工程' 和集成电路产业投资基金(大基金)支持的中硅高科和江苏鑫华正在开展电子级多晶硅研究及产业化, 采用全新的技术, 设计, 建设理念和系统装备, 已有小批量投产并在用户试用和认证过程中, 也有小批量供货的消息. 此外, 国内还有黄河水电, 云冶芯材等企业也分别发布了电子级多晶硅量产的消息. 伴随这几家多晶硅试产, 试用和验证, 中国电子级多晶硅将逐步实现量产, 稳产及广泛应用. 参照太阳能产业提质量, 降成本的发展基础和经验, 随着电子级多晶硅质量和成本控制经验的积累, 中国电子级多晶硅市场份额会逐步提升, 随后, 市场竞争格局会发生根本改变, 中国电子级多晶硅出口也将会水到渠成.

电子级多晶硅相比太阳能级多晶硅难点是建立高纯理念, 建设高纯环境与生产系统, 建立可实施, 可控的质量保证体系. 所谓建立高纯理念是从技术方案开始, 要求贯彻高纯理念, 按不同工序环节, 设定对应的高纯环境要求, 设备材质要求, 施工安装要求等, 包括原料质量控制, 设备, 管道, 阀门装备质量控制, 设备系统洁净化安装质量控制, 系统投产前的洁净化处理及运行准备等等.

系统原料质量控制, 包括三氯氢硅, 氢气, 硅烷, 硅芯或晶种等关键原材料质量, 配套的纯水, 氮气, 氩气, 各种高纯化学试剂等.

重要操作过程控制, 包括原料提纯与输送, 多晶硅生产, 硅棒(颗粒硅)收获, 运输, 硅棒破碎, 腐蚀清洗, 干燥包装等. 按生产环节要求, 控制环境空气洁净度, 强化机械化, 自动化操作, 减少人为沾污.

按照多晶硅质量控制要求, 建立多晶硅质量控制体系, 包括进入还原炉的原料纯度与控制要求;还原过程精细化, 标准化操作;根据产品质量目标要求, 建立质量控制体系和质量预警体系, 控制过程物料与操作.

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