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今年英特爾, 台積電, 三星, Globalfoundries等半導體公司的製程工藝已經進化到了10nm, 7nm節點, 國產最先進的工藝依然是28nm工藝, 差距在三代以上.
國內半導體工藝為什麼發展不起來? 很多人會說中國缺少先進的光刻機, 特別是EUV光刻機, 而不能引進的緣由是美國歐盟禁售EUV給中國. 這實際上也是一個流傳多年的謠言了, EUV光刻機很快就要進入中國了, 日媒報道稱中芯國際已經向ASML訂購了一台EUV光刻機, 單價1.2億美元 (編者注: 約合7.65億元) , 預計明年初交付.
在半導體工藝進入10nm節點之後, 製造難度越來越大, 傳統的193nm紫外光刻機也難以為繼, EUV極紫外光刻機成為突破製程工藝的關鍵.
光刻機曾經也是日本佳能, 尼康公司的重要產品, 不過現在的高端光刻機已經被ASML壟斷, 在EUV光刻機上更是獨一份. 日經新聞亞洲版今天報道稱, 中芯國際 (SMIC) 已經向ASML公司訂購了一台EUV光刻機, 單價1.2億美元, 預計在2019年初交付.
此前英特爾, 三星, 台積電以及GF都向ASML下了EUV訂單, 其中台積電訂購了大約10台, 三星訂購了大約6台, 英特爾今年會引入3台EUV光刻機, GF也下了訂單, 不過日經新聞沒提到具體數量.
中國公司能買先進的光刻機? 很多人聽到這個消息可能不太相信, 因為網上一直有傳聞稱中國公司因為瓦森那協定的關係一直被禁止採購先進光刻機. 對於這個問題, 網上有很多爭議也有很多解答了, 日經新聞報道的中芯國際採購EUV光刻機其實也不是新聞了.
去年台媒電子時報採訪過中ASML中國區總經理金泳璿, 後者闢謠稱ASML光刻機並沒有禁運問題, 該公司對所有客戶都一視同仁, 不存在有錢買不到的問題. 他還透露了已經有中國客戶洽談購買EUV光刻機, 如果訂單確認的話, 那麼最快在2019年就會有EUV光刻機進入中國晶圓廠, ASML對此表示樂觀.
兩邊對比的話, 這家中國公司就是中芯國際, 雖然該公司的14nm工藝要到2019年初才能量產, 不過國內有需求EUV光刻機的幾乎只有他們了, 2017年中芯國際表示他們已經在預研7nm工藝了, 訂購一台EUV光刻機做研究也是很正常的.
