台積電18廠用再生水陳美伶: 符合先進位程所需

台積電南科先進位程新廠, 首度將再生水運用工業生產引發疑慮, 國發會主委陳美伶表示, 已藉由督導平台關注, 為配合產業生產需求, 再生水標準符合南科相關先進位程所需.

陳美伶同時強調, 一旦有異常情況會啟動緊急供水措施, 對於製程及良率將有更高保障.

台積電晶圓18廠落腳南科, 政府承諾會穩定供應水電, 提出運用再生水方案, 由於目前半導體晶圓生產都是用純水, 台積電晶圓18廠使用再生水, 市場關注是否會影響晶圓廠的生產品質與良率.

國家發展委員會主委陳美伶接受中央社記者訪問時表示, 各項產業生產用水需配合產業生產需求, 對於南科先進位程用水需求及標準, 討論使用再生水時即與用水端商議過供水品質及標準, 以兩段式RO (逆滲透) 作為供水規劃, 相關水質應可符合南科相關先進位程所需.

陳美伶解釋, 去年就已成立的 '南科先進位程環境建置案進度督導平台' , 是針對整個台南科學園區的先進位程成立, 跨中央相關部會及台南市政府, 主要是解決影響產業經營的關鍵問題.

陳美伶說, 為協助業者排除投資障礙, 行政院長賴清德主持多次加速投資台灣專案會議, 就是為解決目前產業遇到的問題, 除了南科先進位程, 目前也針對中科園區議題解決處理中.

此外, 南科管理局副局長蘇振綱受訪時指出, 南科先進位程不只台積電部分, 也有許多廠商需要使用到再生水, 在會議中也針對這項議題協調處理, 確保廠商使用需求.

蘇振綱說, 針對廠商遇到的產業需求, 從去年下半年就陸續召開會議並追蹤進度, 因為先進位程廠商都是台灣重大投資, 除搜集廠商需求細節, 也需要掌握進度, 與中央部會與地方政府間進行協調.

台積電5納米新廠晶圓18廠, 是全球第一家進入5納米製程的晶圓廠, 資本投資新台幣5000億元, 計劃在2020年投入生產.

台積電3納米, 5納米廠先後確定落腳南部科學工業園區, 面對水, 電需求, 台南市政府先在去年4月啟用曾文淨水場, 每天增加2萬噸供水, 也將永康汙水處理廠升級再生水廠, 預計2020年, 每天可供應1.5萬噸工業用水.

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