台积电18厂用再生水陈美伶: 符合先进制程所需

台积电南科先进制程新厂, 首度将再生水运用工业生产引发疑虑, 国发会主委陈美伶表示, 已借由督导平台关注, 为配合产业生产需求, 再生水标准符合南科相关先进制程所需.

陈美伶同时强调, 一旦有异常情况会启动紧急供水措施, 对于制程及良率将有更高保障.

台积电晶圆18厂落脚南科, 政府承诺会稳定供应水电, 提出运用再生水方案, 由于目前半导体晶圆生产都是用纯水, 台积电晶圆18厂使用再生水, 市场关注是否会影响晶圆厂的生产品质与良率.

国家发展委员会主委陈美伶接受中央社记者访问时表示, 各项产业生产用水需配合产业生产需求, 对于南科先进制程用水需求及标准, 讨论使用再生水时即与用水端商议过供水品质及标准, 以两段式RO (逆渗透) 作为供水规划, 相关水质应可符合南科相关先进制程所需.

陈美伶解释, 去年就已成立的 '南科先进制程环境建置案进度督导平台' , 是针对整个台南科学园区的先进制程成立, 跨中央相关部会及台南市政府, 主要是解决影响产业经营的关键问题.

陈美伶说, 为协助业者排除投资障碍, 行政院长赖清德主持多次加速投资台湾专案会议, 就是为解决目前产业遇到的问题, 除了南科先进制程, 目前也针对中科园区议题解决处理中.

此外, 南科管理局副局长苏振纲受访时指出, 南科先进制程不只台积电部分, 也有许多厂商需要使用到再生水, 在会议中也针对这项议题协调处理, 确保厂商使用需求.

苏振纲说, 针对厂商遇到的产业需求, 从去年下半年就陆续召开会议并追踪进度, 因为先进制程厂商都是台湾重大投资, 除搜集厂商需求细节, 也需要掌握进度, 与中央部会与地方政府间进行协调.

台积电5纳米新厂晶圆18厂, 是全球第一家进入5纳米制程的晶圆厂, 资本投资新台币5000亿元, 计划在2020年投入生产.

台积电3纳米, 5纳米厂先后确定落脚南部科学工业园区, 面对水, 电需求, 台南市政府先在去年4月启用曾文净水场, 每天增加2万吨供水, 也将永康污水处理厂升级再生水厂, 预计2020年, 每天可供应1.5万吨工业用水.

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