海歸團隊發力 關鍵設備技術持續突破
3月28日, 在瀋陽拓荊科技有限公司位於渾南區水家900號的新廠區, 走進企業的超潔淨工區內, 穿戴隔離防護服的技術人員正在採用特殊化學方法, 在矽晶片表面鍍一層固態薄膜. 拓荊公司的核心產品之一PECVD (電漿體化學氣相沉積設備) 是晶片製造生產線上的關鍵設備之一, 以前完全被少數發達國家壟斷, 在千人計劃專家, 海歸博士薑謙等專家的帶領下, 拓荊僅用5年就實現了首台設備的投產應用, 成為國內IC領域唯一的PECVD設備供應商.
在薑謙的引領下, 去年以來拓荊科技繼續保持快速發展, 其自主研發的十一五重大專項產品12英寸PECVD設備在北京中芯國際量產已突破百萬片, 這標誌著我國自主研發的薄膜設備線上表現優異, 可以取代進口設備, 也標誌著中國在 '國芯崛起' 的路上邁出了堅實的一步. 與此同時, 拓荊自主研發的原子層薄膜沉積系統 (ALD) 設備也進入國內先進的整合電路製造廠商上海整合電路研發中心, 應用於先進的14-10納米研發線, 這標誌著我國已掌握了與國際並肩的ALD設備製造技術, 預示著ALD設備將在晶片國產化的進程中扮演愈加重要的角色.
企業加速發展
產業集群效應凸顯
'拓荊科技是瀋陽整合電路產業整體發展的一個縮影, 目前, 瀋陽已經聚集了一批優質的整合電路裝備生產龍頭企業, 他們各具特色, 並在國內整合電路產業嶄露頭角. ' 市科技局相關負責人介紹說, 在瀋陽, 瀋陽富創精密公司成為國內唯一IC裝備精密零組件全製程工藝解決方案提供商, 形成了以鋁合金零部件製造技術為核心, 面向半導體和航空兩大領域, 成為中國精密, 超精密製造的典範; 瀋陽中科儀的真空幹泵已經在國內12英寸主流生產線上得到推廣應用, 實現了進口替代, 成為國內唯一能夠為整合電路工藝設備製造廠商和FAB工廠批量生產真空幹泵的廠家; 瀋陽芯原微電子的勻膠顯影設備已經佔領國內市場份額均超過60%, 成為中國半導體生產線上的主力設備……
'整合電路裝備生產製造業企業加速聚集的同時, 瀋陽擁有中科院自動化所等科研院所, 高校的人才優勢, 是全國整合電路領域重要的裝備產出基地. 未來可以預見, 整合電路裝備產業將成為瀋陽建設東北亞先進裝備智能製造中心的一張亮麗新名片. ' 市科技局負責人介紹說, 在整合電路裝備製造方面, 隨著國內首個12英寸半導體薄膜設備生產基地, 瀋陽IC裝備精密零部件公共製造平台等項目的相繼落地, 瀋陽整合電路裝備生產集群的效應將不斷凸顯, 整合電路產業鏈條將不斷完善, 未來發展潛力無限.
政府有形之手
推動產業能級倍增
整合電路產業技術門檻高, 投資大, 壟斷多, 突破與追趕並不容易, 需要政府 '有形之手' 聚合各方面的力量. 近兩年間, 瀋陽市相繼出台政策支援整合電路產業發展, 2017年年初, 瀋陽著手對2013年印發的《瀋陽市人民政府關於加快推進IC裝備產業發展的實施意見》進行修訂, 並對接市經信委出台的《瀋陽整合電路裝備及相關產業發展規劃 (2017-2025年) 》, 於12月24日以市政府名義發布了《瀋陽市人民政府關於加快推進IC裝備及相關產業發展的實施意見》, 從科技創新, 產業發展, 環境營造, 人才培育四個方面提出加快推進IC裝備及相關產業發展的相關工作, 進一步指導瀋陽市整合電路裝備及相關產業創新發展.
'下一步, 瀋陽將以國家整合電路裝備高新技術產業化基地為支撐, 突出瀋陽整合電路產業集群發展, 將壯大現有企業, 引進上下遊關聯企業以及衍生產業發展作為發展方向, 為瀋陽裝備製造業轉型升級奠定堅實基礎. ' 據介紹, 根據瀋陽市對整合電路及相關產業的規劃, 到2020年, 瀋陽整合電路產業發展規模將達到100億元, 其中整機裝備製造達到30億元, 零部件及配套達到60億元, 材料達到10億元. 通過進一步做強整合電路裝備本土龍頭企業, 併購國內外相關企業, 持續拓展瀋陽整合電路產業空間, 打造產業高地, 未來, 瀋陽將成為面向全球整合電路裝備產業鏈的研發, 生產和供應基地.