北方華創微電子獲Micro-OLED設備訂單 | 切入新型顯示領域

集微網消息, 2018年3月, 北方華創微電子12英寸刻蝕機, PVD及立式退火爐獲得合肥視涯顯示科技有限公司的批量採購訂單, 標誌著北方華創微電子半導體設備技術成功延伸應用於矽基OLED (Micro-OLED) 這一新型顯示領域.

視涯顯示是一家從事矽基微型顯示技術開發和生產的公司. 公司致力於開發全球領先的微型顯示器件——Micro-OLED顯示技術, 並計劃在合肥建設12英寸晶圓廠, 生產Micro-OLED顯示器件, 成為全球最大的Micro-OLED顯示器件生產基地.

Micro-OLED是以單晶矽為有源驅動背板製作的OLED顯示器件, 區別於常規的利用非晶矽, 微晶矽或者低溫多晶矽薄膜晶體管 (LPTS) 為背板的AMOLED器件, 其像素為傳統顯示器件的1/10, 具有高解析度, 高整合度, 低功耗, 體積小, 重量輕等優勢. 隨著VR/AR的廣泛應用, Micro-OLED等新型顯示技術得以快速發展. 據高盛預測, 到2025年, VR和AR的軟硬體年銷售額將達到800億美元.

Micro-OLED是半導體技術與OLED顯示技術完美結合的產物, 可利用半導體製造工藝來實現. 北方華創微電子利用半導體設備技術基礎, 已經成功的將金屬刻蝕, 介質刻蝕, 金屬濺射, 氧化物濺射, 中低溫退火等工藝設備應用於Micro-OLED顯示領域, 相關設備可相容多種襯底, 具備靈活的工藝整合能力, 滿足新型顯示領域客戶多種製造工藝的要求.

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