北方华创微电子获Micro-OLED设备订单 | 切入新型显示领域

集微网消息, 2018年3月, 北方华创微电子12英寸刻蚀机, PVD及立式退火炉获得合肥视涯显示科技有限公司的批量采购订单, 标志着北方华创微电子半导体设备技术成功延伸应用于硅基OLED (Micro-OLED) 这一新型显示领域.

视涯显示是一家从事硅基微型显示技术开发和生产的公司. 公司致力于开发全球领先的微型显示器件——Micro-OLED显示技术, 并计划在合肥建设12英寸晶圆厂, 生产Micro-OLED显示器件, 成为全球最大的Micro-OLED显示器件生产基地.

Micro-OLED是以单晶硅为有源驱动背板制作的OLED显示器件, 区别于常规的利用非晶硅, 微晶硅或者低温多晶硅薄膜晶体管 (LPTS) 为背板的AMOLED器件, 其像素为传统显示器件的1/10, 具有高分辨率, 高集成度, 低功耗, 体积小, 重量轻等优势. 随着VR/AR的广泛应用, Micro-OLED等新型显示技术得以快速发展. 据高盛预测, 到2025年, VR和AR的软硬件年销售额将达到800亿美元.

Micro-OLED是半导体技术与OLED显示技术完美结合的产物, 可利用半导体制造工艺来实现. 北方华创微电子利用半导体设备技术基础, 已经成功的将金属刻蚀, 介质刻蚀, 金属溅射, 氧化物溅射, 中低温退火等工艺设备应用于Micro-OLED显示领域, 相关设备可兼容多种衬底, 具备灵活的工艺整合能力, 满足新型显示领域客户多种制造工艺的要求.

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