中國對設備廠商的影響力上升, 半導體供應鏈越趨完整

EUV終於進入量產階段, 部分尖端晶片製造商計劃在2018年或最遲2019年初採用. ASML總裁兼執行長Peter Wennink在2017年表示, 「EUV進入大量晶片製造的準備工作將進一步加快」.

ASML 2017年營收達到13.4億美元, 並在第四季額外接單10台EUV系統, 目前ASML手中累積未出貨的EUV設備訂單高達28台.

ASML指出, 隨著該公司持續支援中國不斷擴展的半導體產業, 2016年半導體製造設備對中國的銷售額增加了20%以上, 除了出貨在中國營運的外資晶圓廠, ASML還計劃於2018年向5家中國本土客戶供貨.

EUV營收佔比創新高, ArF-immersion仍是黃光設備市場規模最大宗產品

晶圓製造導入EUV的消息延宕多時, 由於先進位程僅採用浸潤式曝光機(ArF-immersion)進行黃光製程難以繼續為廠商帶來成本效益, 半導體廠商不得不致力於將EUV的導入成為現實, 也因此EUV對ASML的營收佔比上升是可預期的結果, 先進位程導入EUV.

雖然減少前段晶體管製程key-layer的光罩數目, 將大幅減少ArF-immersion在Key-layer的使用, 但晶體管微縮使得金屬導線線寬也進一步微縮, 基於成本考量廠商仍會採用ArF-immersion進行部分金屬導線製程, 加上存儲器廠商的產能持續擴增, ArF-immersion仍是受廠商仰賴的黃光設備.

中國對設備廠商的影響力上升

▲ASML於中國當地的營收及積壓待配訂貨統計source: 拓墣產業研究院

如圖所示, ASML出貨於中國當地的黃光設備營收貢獻逐年提升, 2017年已達7.2億美元, 佔ASML總營收11.3%, 雖然相對台灣, 韓國及美國佔比仍小, 但已是5年前的2.1倍, 成長不可謂不大, 加上中國當地的積壓待配訂貨(Backlog)也創下新高達到8億美元.

顯然可見中國對半導體製造業的投資力道未見停歇, 對ASML而言, 中國的影響力越來越大, 同樣的中國對其他半導體設備業及相關材料廠商也是如此, 未來可預見中國的半導體供應鏈越趨完整.

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