原標題: 整合電路材料和零部件產業技術創新戰略聯盟秘書長石瑛: 精準政策扶持 注重本土配套體系建設
近年來, 我國半導體製造材料技術和產品質量取得長足發展, 特別是在02專項重點支援和國家整合電路產業投資基金及扶持整合電路產業優惠政策的帶動下, 產業發展更是日新月異.
CMP工藝用拋光液, 目前基本上可以和國外公司互相取長補短, 某些產品, 如銅和阻擋層拋光液和國外產品水平相當, 已經具備進一步發展並取得突破的基礎. 濺射靶材方面, 從靶材的品種到靶材的應用, 都能夠滿足主流整合電路製造的需求, 躋身於國際領先的濺射靶材供應商之林指日可待. 超高純電子特氣方面, 蝕刻氣體技術水平基本與國際持平, 某些品種國內產品還佔據了主流地位, 甚至在國際上也佔有一定份額, 如離子注入用的離子源, 超高純磷烷, 砷烷已經解決國內自主配套問題. 化學品方面, 處於突破前期, 很多大的化工企業轉向電子化學品領域, 不少專業性電子化學品公司陸續上市, 這些公司成長起來後, 技術將有所突破.
雖然國內半導體材料企業在近兩年有了長足發展, 但進入下遊代工企業的配套體系還有很長的路要走, 要縮短這段路程, 需多管齊下.
一方面, 半導體製造廠要意識到建立穩定的本土配套供應鏈體系對企業發展的重要性, 不形成本地化供應鏈, 不管是整合電路製造安全, 還是未來的技術升級, 都將處在不可控的狀態. 另一方面, 未來半導體技術的發展, 工藝製造和材料企業必須聯合攻克難關, 很多情況下, 材料技術突破給半導體製造工藝發展帶來新的可能. 國內整合電路製造材料供應能力, 技術水平, 管理水平的提升, 不僅是材料企業本身的問題, 需要產業鏈上下遊的互動, 只有下遊用戶給了機會, 上遊的材料企業才有成長的可能. 因此, 國內的整合電路政策及項目, 要多鼓勵上下遊企業緊密結合, 相互合作, 營造健康的半導體製造環境.
為避免國內矽材料, 工業化學品, 特種電子氣體等領域企業之間的同類產品的產能重置, 即所謂同質化競爭, 首先在於市場導向的引導. 其次, 整合電路材料和零部件產業技術創新戰略聯盟也在嘗試, 讓業內企業定期坐到一起溝通交流, 並及時發布引導性資訊, 使聯盟內的企業充分知曉半導體材料領域產品供需水平, 了解競爭態勢, 評估自身發展方向.
整合電路用材料是所有材料中技術含量最高的, 也是最難攻克的, 現階段還需要國家政策進行扶持, 而這個政策要有針對性, 應該精確瞄準整合電路產業上下遊的供應鏈鏈條上的薄弱環節, 在稅收方面予以支援, 比如研發資金可以抵稅或者稅收返還等.