中微半導體設備8日宣布, 福建法院同意了中微針對Veeco上海的禁令申請, 該禁令立即生效執行, 不可上訴. 該禁令禁止Veeco上海進口, 製造, 向任何協力廠商銷售或許諾銷售侵犯中微第CN 202492576號專利的任何化學氣相沉積裝置和用於該等裝置的基片托盤. 該禁令涵蓋TurboDisk EPIK 700, EPIK 700 C2 和EPIK 700 C4機型的MOCVD設備, 以及在該等MOCVD設備中使用的基片托盤. 中微於2017年7月向大陸法院正式控告Veeco上海專利侵權, 申請對Veeco上海發布永久禁令, 並賠償中微經濟損失人民幣1億元以上. 另外, 中微將於美國當地時間2017年12月8日向美國專利商標局(USPTO)專利審理暨訴願委員會(PTAB)遞交無效Veeco美國專利(US 6,726,769)的請求. 該項關於可分離基片托盤技術的專利申請於2001年, 此前被Veeco美國公司用於在美國起訴中微的基片托盤供應商專利侵權. 中微除了在美國對該涉案專利提起專利無效請求, 還對其大陸同族專利和韓國同族專利均提交了專利無效請求. 針對Veeco美國起訴中微供應商的另一個涉案美國專利(US 6,506,252), 中微正在準備無效宣告材料, 將很快向美國專利審判和上訴委員會提起專利無效請求. 中微董事長兼CEO尹志堯表示, 深信中微將會贏得對Veeco上海的專利訴訟, 也深信最終會贏得在美國的專利訴訟. 中微資深副總裁, COO兼MOCVD產品事業部總經理杜志遊則說, 非常高興地看到法院作出這樣的裁定. 中微一貫嚴肅認真地保護智慧財產權, 絕不容忍任何侵犯中微智慧財產權的行為. 長期觀察並追蹤此案的芯謀(IC WISE)首席分析師顧文軍則分析指出, 此次法院判處Veeco上海在大陸禁售EPIK 700 model MOCVD設備, 是因為之前法院判處其侵犯中微的專利. 但是廠家之間, 官司打來打去互相傷害都不會受益, 坐下來談判才是正道. 預料未來此案仍將有進一步發展.
