當前以智能感測終端, 大數據, 雲計算, 人工智慧等為代表的資訊技術正加速創新, 萬物互聯智能化時代正在到來. 其中 '超越摩爾' 技術以感測器為核心, 結合射頻, 功率, 微能源等技術, 是未來實現萬物互聯的基礎. 縱觀我國超越摩爾領域現狀, 雖經曆多年的理論研究與技術驗證, 積累了大量寶貴的知識和經驗, 但在真正放進產品進行實際應用時往往存在與生產平台脫節的情況. 這都是源於MEMS產品的研發所涉及的技術鏈條較長, 且其 '非標' 特性使得它的研發與創新需要和產線有一段比較長的磨合期, 不同於CMOS的標準工藝, 可以說對產線 '嚴重依賴' . 而中試就是必經階段, 是目前國內感測器廠家共同面臨的挑戰, 據統計, 科技成果經過中試, 產業化成功率可達80%, 未經中試成功率僅有30%. 基於此背景, 工研院立足擁有國內一流整合電路研發和產業基礎的上海, 志在實施超越摩爾計劃, 爭取在這一領域與國際領先水平並行. 作為創新型功能平台, 8英寸研發中試線落戶嘉定, 填補了國內這一領域的空白.
研發中試線專註於 '超越摩爾' 產品與技術, 擁有近5000平方米的高等級微納加工超淨廠房, 可以全面開展表面, 體, 3D微納加工技術以及新工藝, 新器件, 新系統的研發和量產. 研發中試線著重開展表面矽, 體矽, 3D微納加工工藝的開發, 並根據 '超越摩爾' 產品和技術特點部署MEMS, 矽光子, 射頻, 矽基III-V族, 3D整合, MR磁, 功率及生物等相關工藝和量測設備, 提供全方位的產品研發, 小批量生產, 技術培訓, 設備驗證等服務, 為國內外客戶提供優秀的全程服務. 研發線的技術路線與設備選型參照了國內外主流代工廠的配置, 提升了研發的成功率, 有助於實現研發到量產無縫銜接.
'這次的通線成功標誌著中國在MEMS及先進感測器的研發和產業化進入一個全新的快速發展的階段. 未來研發中試線將持續發力, 在新材料, 新工藝, 新器件, 新系統重點技術領域開展研發, 進一步推動 '超越摩爾' 產業鏈的完善和物聯網創新應用發展. ' 上海微技術工研院總裁楊瀟表示.
以全球領先的8英寸 '超越摩爾' 研發中試線為支點, 工研院將持續打造集研發, 工程, 市場, 孵化的一體化功能平台, 為創新企業及合作夥伴提供全方位的服務和解決方案, 建設具有全球影響力的科技創新中心及 '超越摩爾' 產業群.