当前以智能传感终端, 大数据, 云计算, 人工智能等为代表的信息技术正加速创新, 万物互联智能化时代正在到来. 其中 '超越摩尔' 技术以传感器为核心, 结合射频, 功率, 微能源等技术, 是未来实现万物互联的基础. 纵观我国超越摩尔领域现状, 虽经历多年的理论研究与技术验证, 积累了大量宝贵的知识和经验, 但在真正放进产品进行实际应用时往往存在与生产平台脱节的情况. 这都是源于MEMS产品的研发所涉及的技术链条较长, 且其 '非标' 特性使得它的研发与创新需要和产线有一段比较长的磨合期, 不同于CMOS的标准工艺, 可以说对产线 '严重依赖' . 而中试就是必经阶段, 是目前国内传感器厂家共同面临的挑战, 据统计, 科技成果经过中试, 产业化成功率可达80%, 未经中试成功率仅有30%. 基于此背景, 工研院立足拥有国内一流集成电路研发和产业基础的上海, 志在实施超越摩尔计划, 争取在这一领域与国际领先水平并行. 作为创新型功能平台, 8英寸研发中试线落户嘉定, 填补了国内这一领域的空白.
研发中试线专注于 '超越摩尔' 产品与技术, 拥有近5000平方米的高等级微纳加工超净厂房, 可以全面开展表面, 体, 3D微纳加工技术以及新工艺, 新器件, 新系统的研发和量产. 研发中试线着重开展表面硅, 体硅, 3D微纳加工工艺的开发, 并根据 '超越摩尔' 产品和技术特点部署MEMS, 硅光子, 射频, 硅基III-V族, 3D集成, MR磁, 功率及生物等相关工艺和量测设备, 提供全方位的产品研发, 小批量生产, 技术培训, 设备验证等服务, 为国内外客户提供优秀的全程服务. 研发线的技术路线与设备选型参照了国内外主流代工厂的配置, 提升了研发的成功率, 有助于实现研发到量产无缝衔接.
'这次的通线成功标志着中国在MEMS及先进传感器的研发和产业化进入一个全新的快速发展的阶段. 未来研发中试线将持续发力, 在新材料, 新工艺, 新器件, 新系统重点技术领域开展研发, 进一步推动 '超越摩尔' 产业链的完善和物联网创新应用发展. ' 上海微技术工研院总裁杨潇表示.
以全球领先的8英寸 '超越摩尔' 研发中试线为支点, 工研院将持续打造集研发, 工程, 市场, 孵化的一体化功能平台, 为创新企业及合作伙伴提供全方位的服务和解决方案, 建设具有全球影响力的科技创新中心及 '超越摩尔' 产业群.