今年7月, 中微向福建高院正式起訴 'Veeco上海' , 指控其TurboDisk EPIK 700型號的MOCVD設備侵犯了中微的基片托盤同步鎖定的中國專利, 要求其停止侵權並主張上億元侵權損害賠償.
在中微起訴後, Veeco上海對該涉案的中微專利向專利複審委提起無效宣告請求; 與此同時, 還有一位自然人也對該涉案專利提起無效宣告請求. 針對涉案專利的兩個無效宣告請求, 專利複審委先後分別開庭審理, 雙方代理人進行充分答辯, 專利複審委於今日對兩個無效宣告案分別作出了審查決定, 均確定認中微專利為有效專利.
不過值得注意的是, Veeco 也沒有坐以待斃, 就在11月2日, Veeco 美國宣布, 美國紐約東區地方法院同意了Veeco公司針對SGL Carbon, LLC (SGL) 的一項初步禁令請求, 該公司是中微半導體設備有限公司 (AMEC) 的晶圓承載器供應商. 據統計, 目前國內前三大 LED 晶片廠商今年採購的機台裡, Veeco 和中微半導體各佔一半. 業內人士評論稱, 此次禁令可能會讓中微損失不少.
對此, 中微表示, 法院法官在未能有機會全面了解專利無效證據, 未對Veeco 美國的專利有效性和基片托盤是否真正侵權作出明確判斷的情況下, 極其罕見地發出了禁止基片托盤供應商給中微提供托盤的臨時禁運令. 中微正在採取多項有效措施全力減少禁令的影響.
中微資深副總裁, 首席運營官兼MOCVD產品事業部總經理杜志遊博士說: '我們對美國紐約東區地方法院作出臨時禁令表示非常遺憾. 我們相信我們的供應商最終會贏得這場專利訴訟; 我們還相信中微也會贏得對Veeco上海的專利訴訟, Veeco上海要為其侵權行為付出代價. '