新安晚報, 安徽網, 大皖客戶端記者獲悉, 此次合作的目的是加強雙方在MEMS相關領域的技術研究和應用, 實現研發與產業結合, 以國際上同行業先進技術為標杆, 創新成果擁有自主智慧財產權, 做到技術水平達國際先進, 國內領先, 同時培養高素質人才, 推動行業整體技術水平提高.
院士工作站將開展MEMS技術研發和產業化, 進行包括高精度大量程MEMS慣性器件的設計研究, 低應力MEMS製造工藝及工藝一致性研究, 低功耗高信噪比慣性器件配套ASIC電路設計研究, 異質材料的低應力高密度整合封裝技術研究, 大批量高精度MEMS器件晶圓級測試技術, 基於多MEMS感測器數據的導航定位演算法研究在內的多項研究工作, 並計劃在相關領域申請多項國家專利, 實現MEMS技術的領先地位.
清華大學院士工作站的建立不僅利用專家, 專業知識為中國兵器工業搭建了技術創新的服務平台, 提升了技術合作的質量和效率, 也同時為蚌埠工業技術水平的提升做出了巨大的貢獻, 更是強有力地推動了我省及國家科技發展, 實現了專家, 企業的共贏.
夏映雪 程晉陽 新安晚報, 安徽網, 大皖客戶端記者李勇