新安晚报, 安徽网, 大皖客户端记者获悉, 此次合作的目的是加强双方在MEMS相关领域的技术研究和应用, 实现研发与产业结合, 以国际上同行业先进技术为标杆, 创新成果拥有自主知识产权, 做到技术水平达国际先进, 国内领先, 同时培养高素质人才, 推动行业整体技术水平提高.
院士工作站将开展MEMS技术研发和产业化, 进行包括高精度大量程MEMS惯性器件的设计研究, 低应力MEMS制造工艺及工艺一致性研究, 低功耗高信噪比惯性器件配套ASIC电路设计研究, 异质材料的低应力高密度集成封装技术研究, 大批量高精度MEMS器件晶圆级测试技术, 基于多MEMS传感器数据的导航定位算法研究在内的多项研究工作, 并计划在相关领域申请多项国家专利, 实现MEMS技术的领先地位.
清华大学院士工作站的建立不仅利用专家, 专业知识为中国兵器工业搭建了技术创新的服务平台, 提升了技术合作的质量和效率, 也同时为蚌埠工业技术水平的提升做出了巨大的贡献, 更是强有力地推动了我省及国家科技发展, 实现了专家, 企业的共赢.
夏映雪 程晋阳 新安晚报, 安徽网, 大皖客户端记者李勇