該禁令禁止SGL出售供採用了Veeco專利技術的無基座金屬有機化學氣相沉積系統 (MOCVD) 使用的晶圓承載器, 包括專為AMEC MOCVD系統設計的晶圓承載器.
Veeco公司董事長兼首席執行官John R. Peeler說: '這項裁決肯定了Veeco智慧財產權及其全球專利組合的實力. Veeco狠抓智慧財產權工作, 並堅決維護其在研發方面的重大投資, 包括其在美國, 歐洲和亞洲的專利, 特別是在中國. '
上述裁決立即生效, 禁止SGL在未得到Veeco明確授權的情況下出貨採用了Veeco專利技術的晶圓承載器. 這也意味著禁止SGL提供用於所有AMEC MOCVD系統的晶圓承載器.
法院還裁定, 儘管SGL有相反的論點, Veeco公司有關 '無基座MOCVD反應堆使用的Veeco晶圓載體專利受到SGL的侵犯且該專利有效' 的聲稱得到認同的可能性很大. SGL曾經辯稱, 其晶圓承載器是基於AMEC的規格. 這項裁決顯示, AMEC不尊重Veeco的智慧財產權.
在專利案件中, 初步禁令是很罕見的, 因為在陪審團對專利侵權作出判決之前頒布禁售令有非常嚴格的法律要求. 因此, 這一裁決顯示了SGL和AMEC侵犯Veeco智慧財產權的明確性質.
Veeco於2017年4月12日在紐約東區的聯邦法院對SGL Carbon, LLC和SGL Carbon SE展開了專利侵權訴訟. SGL生產用於無基座MOCVD系統的晶圓承載器. 除了臨時禁令之外, Veeco正在尋求永久性禁令以及經濟賠償等.
此外, Veeco公司11月1日宣布和ALLOS Semiconductors (ALLOS) 達成了一項戰略舉措, 展示了200mm矽基氮化鎵晶圓用於藍/綠光micro-LED 的生產. 維易科和ALLOS合作將其專有外延技術轉移到 Propel單晶圓MOCVD系統, 從而在現有的矽生產線上實現生產micro-LED.
'使用Propel反應腔, 我們就擁有了一項MOCVD技術, 這項技術能夠實現高產量的GaN外延, 滿足在200毫米矽生產線上生產micro-LED器件的所有要求, ' ALLOS Semiconductor的首席執行官Burkhard Slischka 這樣說.
'不到一個月時間我們就已經在Propel上對我們的技術進行了驗證, 並且獲得了無裂紋, 無回熔的晶圓, 翹曲度低於30微米, 晶體質量高, 厚度均勻性優異, 波長均勻性小於1納米. 同Veeco攜手, ALLOS期待著將該技術在micro-LED產業中更為推廣. '
Micro-LED顯示技術由<30x30平方微米的红, 绿和蓝(RGB)无机LED组成, 这些LED被转化为显示屏背板, 以形成亚像素. 与有机LED (OLED) 和液晶显示 (LCD) 相比, 这些高效的LED直接发射功耗更低, 却可以为移动显示器, 电视和可穿戴式计算机提供优异的亮度和对比度. Micro-LED 的制造要求优质, 均匀的外延晶圆, 以满足显示屏的产量和成本控制的要求.
'和競爭對手的MOCVD平台相比, Veeco的TurboDisc技術提供的製程窗口更大, 因此Propel能提一流的均勻性同時還能獲得優良的膜品質, ' 維易科高級副總裁兼MOCVD運營總經理Peo Hansson博士這樣說.
'將Veeco領先的MOCVD專業技術和 ALLOS的矽基氮化鎵外延晶片技術相結合, 使我們客戶能夠開發出低成本的micro-LED, 以便於在新的市場中開拓新的應用. '