圖說: 矽片在 '淬鍊' 成晶圓成品的100至200道工序中, 不可沾染微塵, 否則可能前功盡棄. 來源: 東方IC
一個產品, 從實驗室到工廠, 最難走的一段路是中試. 因高成本低產出甚至無產出, 對許多實驗室裡的前沿技術來說, 中試期猶如一條看不見亮光的黑暗通道, 無緣靠利潤和市場來維持. 記者昨天來到位於嘉定工業區北區的我國首條 '超越摩爾' 中試線, 探訪這家立志突破我國半導體產業 '中試盲區' 的研發創新平台.
超潔淨的 '懸空' 廠房
穿上抗靜電的潔淨服, 鞋子, 手套, 口罩後, 經過風淋房將身上的微塵全部吹走……每天, 上海微技術工業研究院MEMS技術工程總監徐元俊和他的同事們, 都把自己裝扮成超潔淨的 '白企鵝' , 才能進入8英寸 '超越摩爾' 研發中試線, 近5000平方米的十級潔淨室, 要求一分鐘內每立方英尺空間內, 大於0.2微米的微塵少於10顆! 超級潔淨室共有4個區域, 分別為光刻區, 薄膜區, 刻蝕區和擴散區. 矽片在 '淬鍊' 成晶圓成品的100至200道工序中, 不可沾染微塵, 否則可能前功盡棄.
為此, 整座廠房的設計費盡思量——層高8.8米的二樓分為3層, 整個 '中試線' 的主要設備似乎 '懸空' 在中間層——看不見的上下兩層, 除鋪設供應氣體和化學品的管道外, 還布滿了用於 '清洗' 空氣的設施.
'8英寸' 產線國際領先
這樣的精益求精, 只為我國在 '超越摩爾' 領域真正有所作為. 上海微技術工業研究院8英寸研發中試線廠長, 運營副總裁遊家傑指著閃閃發光的矽片, 如數家珍: '一片8英寸晶圓直徑達20厘米, 分布著幾百顆到數萬顆不等的元器件. ' 要知道, 在 '超越摩爾' 領域, 業界還普遍使用6英寸產線, 上海中試線卻亮出了國際領先卻少人問津的 '8英寸' .
在這條全新的試驗線上, 每一位 '超越摩爾' 人心中都有一個信念: 喜慶十九大, 我國的科學創新必須從 '跟跑' 到 '領跑' , 前沿技術的中試環節要敢為人先!
縱觀我國超越摩爾領域現狀, 經曆多年的理論研究與技術驗證, 但實際應用與生產平台嚴重脫節. 這源於微機電系統產品研發涉及的技術鏈條較長, 其 '非標' 特性使得研發創新和生產之間匹配度不高, 需要漫長的磨合期.
貫通研發到測試 '閉環'
上月, 作為上海科創中心建設 '四梁八柱' 中的重要節點之一, 國內首條專註 '超越摩爾' 領域, 面向微機電系統的8英寸中試線亮相, 在國內半導體產業界引發了一場不小的 '創新地震' ——從前期研發到後期測試 '閉環' 有望被貫通.
一個月來, '超越摩爾' 中試線上燈火通明, 各崗位科技人員用實際行動迎接十九大的召開: 為本月底即將完成的第一批產品溫度感測器緊張忙碌著. 一旦成功, 這條月產量3000片晶圓的中試線, 將為許多實驗室裡尖端的感測器技術, 鋪設一條走向市場的 '光輝之路' .