图说: 硅片在 '淬炼' 成晶圆成品的100至200道工序中, 不可沾染微尘, 否则可能前功尽弃. 来源: 东方IC
一个产品, 从实验室到工厂, 最难走的一段路是中试. 因高成本低产出甚至无产出, 对许多实验室里的前沿技术来说, 中试期犹如一条看不见亮光的黑暗通道, 无缘靠利润和市场来维持. 记者昨天来到位于嘉定工业区北区的我国首条 '超越摩尔' 中试线, 探访这家立志突破我国半导体产业 '中试盲区' 的研发创新平台.
超洁净的 '悬空' 厂房
穿上抗静电的洁净服, 鞋子, 手套, 口罩后, 经过风淋房将身上的微尘全部吹走……每天, 上海微技术工业研究院MEMS技术工程总监徐元俊和他的同事们, 都把自己装扮成超洁净的 '白企鹅' , 才能进入8英寸 '超越摩尔' 研发中试线, 近5000平方米的十级洁净室, 要求一分钟内每立方英尺空间内, 大于0.2微米的微尘少于10颗! 超级洁净室共有4个区域, 分别为光刻区, 薄膜区, 刻蚀区和扩散区. 硅片在 '淬炼' 成晶圆成品的100至200道工序中, 不可沾染微尘, 否则可能前功尽弃.
为此, 整座厂房的设计费尽思量——层高8.8米的二楼分为3层, 整个 '中试线' 的主要设备似乎 '悬空' 在中间层——看不见的上下两层, 除铺设供应气体和化学品的管道外, 还布满了用于 '清洗' 空气的设施.
'8英寸' 产线国际领先
这样的精益求精, 只为我国在 '超越摩尔' 领域真正有所作为. 上海微技术工业研究院8英寸研发中试线厂长, 运营副总裁游家杰指着闪闪发光的硅片, 如数家珍: '一片8英寸晶圆直径达20厘米, 分布着几百颗到数万颗不等的元器件. ' 要知道, 在 '超越摩尔' 领域, 业界还普遍使用6英寸产线, 上海中试线却亮出了国际领先却少人问津的 '8英寸' .
在这条全新的试验线上, 每一位 '超越摩尔' 人心中都有一个信念: 喜庆十九大, 我国的科学创新必须从 '跟跑' 到 '领跑' , 前沿技术的中试环节要敢为人先!
纵观我国超越摩尔领域现状, 经历多年的理论研究与技术验证, 但实际应用与生产平台严重脱节. 这源于微机电系统产品研发涉及的技术链条较长, 其 '非标' 特性使得研发创新和生产之间匹配度不高, 需要漫长的磨合期.
贯通研发到测试 '闭环'
上月, 作为上海科创中心建设 '四梁八柱' 中的重要节点之一, 国内首条专注 '超越摩尔' 领域, 面向微机电系统的8英寸中试线亮相, 在国内半导体产业界引发了一场不小的 '创新地震' ——从前期研发到后期测试 '闭环' 有望被贯通.
一个月来, '超越摩尔' 中试线上灯火通明, 各岗位科技人员用实际行动迎接十九大的召开: 为本月底即将完成的第一批产品温度传感器紧张忙碌着. 一旦成功, 这条月产量3000片晶圆的中试线, 将为许多实验室里尖端的传感器技术, 铺设一条走向市场的 '光辉之路' .