imec發布一款微型光機系統技術 (MOMS) 的壓力感測器

奈米和數字技術研究與創新中心 imec 在 imec 科技論壇 醫療大會上, 發布了一款基於微型光機系統技術 (MOMS) 的壓力感測器. 該款感測器能在大壓力範圍下展現出色的測量精度, 且具有體積緊湊, 抗電磁幹擾 (EMI) 等特性及多任務功能, 可用於需要高質量感測的應用場合, 特別是醫療和生命科學領域.

壓力感測器用於測量如高度和深度等參數, 或用於目前基於MEMS或光纖技術的流量感測, 這些技術各有利有弊. MEMS的壓力感測器因為良好的性能和小尺寸而非常受歡迎. 光纖感測器適用於惡劣環境, 可以透過EMI或高溫來表徵, 但是它們整合度更低, 複雜性更高且價格昂貴.

Imec新型的MOMS的壓力感測器結合了兩者的優勢, 並具有高精度. 此外, 它顯示出高抗EMI幹擾能力並支援多路複用. imec研究人員已經證明在大範圍內的均方根 (rms) 精度低於1Pa, 可以容易地達到100kP.