imec发布一款微型光机系统技术 (MOMS) 的压力传感器

奈米和数字技术研究与创新中心 imec 在 imec 科技论坛 医疗大会上, 发布了一款基于微型光机系统技术 (MOMS) 的压力传感器. 该款传感器能在大压力范围下展现出色的测量精度, 且具有体积紧凑, 抗电磁干扰 (EMI) 等特性及多任务功能, 可用于需要高质量感测的应用场合, 特别是医疗和生命科学领域.

压力传感器用于测量如高度和深度等参数, 或用于目前基于MEMS或光纤技术的流量感测, 这些技术各有利有弊. MEMS的压力传感器因为良好的性能和小尺寸而非常受欢迎. 光纤传感器适用于恶劣环境, 可以透过EMI或高温来表征, 但是它们整合度更低, 复杂性更高且价格昂贵.

Imec新型的MOMS的压力传感器结合了两者的优势, 并具有高精度. 此外, 它显示出高抗EMI干扰能力并支持多路复用. imec研究人员已经证明在大范围内的均方根 (rms) 精度低于1Pa, 可以容易地达到100kP.