Advanced fabbricazione dei circuiti integrati vengono distribuiti in tutto il processo di fotolitografia
L'industria circuito integrato ha 'dispositivi di generazione, generazione processo, attrezzature e materiali generazione' detti, il che significa che quando l'intero settore in ere, tecniche di micro-nano fabbricazione basano più sull'introduzione di nuovi materiali e capacità di elaborazione per migliorare l'attrezzatura microelaborazione per ottenere progressi tecnologici, processi di fabbricazione e apparecchi e materiali più profondità a combaciare, molti processi produttivi devono spesso ruotano intorno attrezzature e materiali chiave. litografia è il grado di precisione del circuito integrato di fabbricazione più complessa, più difficile, attrezzature più costose.
Ci esperti litografia ha detto ai giornalisti: 'In avanzati processi di fabbricazione di circuiti integrati che, un chip spesso la necessità di passare attraverso decine di processo di fotolitografia, sempre necessario utilizzare la litografia per la progettazione di circuiti wafer grafica fino a fare così, le persone spesso dicono certo nodo processo nanometri, è spesso determinato dalla litografia e suoi processi correlati, o che è il nucleo di una macchina litografica risoluzione fattore. può fare molto, integrazione nodi di processo del circuito di fare molto '.
Perché quando la litografia è così importante, le imprese manifatturiere in investimenti di capitale ogni anno, circa il 30% -40% saranno investiti nel corso litografia litografia è passato attraverso una lunga evoluzione: contatto 1960 la litografia, la vicinanza di litografia, macchina proiezione litografica nel 1970, 1980 stepper, macchina litografia passo-scansione, e poi a macchine litografia ad immersione, e attualmente è appena apparso in EUV sul mercato litografia (EUV), le prestazioni del dispositivo continua ad aumentare.
Il circuito integrato linea di produzione tradizionale corrente macchina litografia: strato chiave per un processo di litografia circuito integrato, oltre nodo 28nm utilizza una lunghezza d'onda di 193nm litografia a secco, nodi 28nm-10nm usando lunghezza d'onda di 193nm litografia a immersione, come per il supporto 10nm IC fabbricazione, l'industria ha cercato di adottare macchina litografia EUV, la prossima generazione di alta numerico litografia EUV apertura è attualmente in fase di sviluppo, i prossimi anni 2--3 sono suscettibili di essere sviluppati che possono supportare 5nm, 3nm e i seguenti processi. strato non critico utilizzando 248nm lunghezza d'onda DUV litografia e la litografia i-Line (365nm lunghezza d'onda).
Kang detto ai giornalisti esperti semiconduttore grandi, nodo 10nm processo produttivo e sotto 'tecnologia macchina 193nm lunghezza d'onda litografia a immersione + esposizione multipla (Patterning multipla, MP)' è attualmente più diffuso utilizzo e 7nm conseguire processo produttivo 10nm. Tuttavia, l'uso di esposizione multipla porterà i due problemi, vale a dire, più il costo del rialzo maschera litografica, ma influisce anche resa, più di una fase del processo è quello di ridurre la resa più di una volta, il secondo è di estendere il processo ciclo, esposizione multipla non solo aumentare il numero di impressioni, e aumentare il numero di processi di incisione e CMP. mezzo della macchina litografia EUV non è necessario esposizioni multiple, una multa modello può essere esposto voleva, evidenti vantaggi in termini di ciclo di produzione, la complessità di OPC, controllo di processo, resa, etc. . il mercato ha iniziato a consegnare una varietà di modelli attualmente EUV Samsung, TSMC ha detto che avrà l'uso della macchina per litografia EUV nel processo 7nm.
laurea litografia Internazionale del monopolio del layout difficili
Anche se la litografia è così importante per la produzione di circuiti integrati, ma l'industria litografica è altamente stato monopolizzato, solo 3-4 produttori al mondo possono fabbricare, sono i Paesi Bassi, ASML (ASML), la giapponese Nikon (Nikon ), Canon (Canon) e la cinese Shanghai Microelectronics (SMEE), in cui ASML in posizione dominante, oltre il 7 per cento di un mercato di monopolio, come le macchine litografiche ad immersione 193nm, ASML occupano più del 90% della quota di mercato ;. 248nm litografia DUV , ASML che rappresentano oltre il 50%; EUV macchina litografia ASML è solo un monopolio, mercato litografia I-Line è fondamentalmente ASML, Canon, Nikon tre condivisione.
Le statistiche mostrano che lo sviluppo litografia la Cina non è iniziata in ritardo. Dall'inizio degli anni 1970 ci sono strumenti di precisione, Tsinghua University, l'Accademia delle Scienze dell'Istituto di Ottica, CLP sezione di ricerca 45 investimenti. Come primo volume al mondo nel 1978 g-tipo di linea di produzione passo proiezione litografica venuto dopo gli Stati Uniti, 45 hanno investito passo lavoro di sviluppo da macchina passo proiezione litografica, sviluppato nel 1985, la prima del g-linea passo proiezione litografica tipo 1.5μm , lanciato nel 1994 con una risoluzione di 0.8μm graduale macchina di proiezione litografica, introdotta nel 2000 con una risoluzione di 0.5μm pratico litografia step-proiezione. nel 2002, lo stato istituito a Shanghai, Shanghai Microelectronics Equipment Co., Ltd. (SMEE) sopportare quinquennale progetti di ricerca litografia decimo, Sezione CLP 45 si impegnerà le attività di ricerca e sviluppo passo proiezione litografia della squadra nel suo complesso si trasferisce a Shanghai, per partecipare. Allo stato attuale, Shanghai è la più avanzata tecnologia microelettronica litografia sviluppo della macchina e unità produttive.
Dal corso di vista dello sviluppo, compito Cina 'a 90 nm litografia prototipo di sviluppo' da un gruppo speciale di esperti in loco di test 02 Attuazione organizzazioni Management Office. Nodi di processo 193nm lunghezza d'onda litografia a immersione 28nm in fase di sviluppo. Anche se questi anni ha fatto alcuni dei risultati, tuttavia la tecnologia litografica nel nostro paese è ancora molto indietro gli standard internazionali.
Devono essere affrontate 'la mancanza di persone non hanno soldi accumulati' situazione
Ultra-alta requisiti di precisione, è una delle tecnologie principali cause litografia è difficile da ottenere una svolta in poco tempo v'è una metafora così vivido nel settore: la litografia incisa con un circuito su un wafer di silicio, come se le due Boeing 747 aereo allo stesso tempo ad una velocità di 1000 chilometri all'ora di volo su un piccolo chicco di caratteri riso! questa è la fascia alta tavola macchina litografica, quando un movimento sincrono ad alta velocità dello stadio maschera raggiunto precisione di sincronizzazione a livello di nanometri da fabbricare Con un chip di alta precisione, i requisiti di precisione della macchina litografica stessa sono ancora più elevati.
Oltre ai problemi tecnici, gli esperti ha detto ai giornalisti che lo sviluppo di macchine litografiche, ci sono molte difficoltà. Può essere riassunta con 'la mancanza di persone non hanno denaro accumulato' da descrivere. Prima di tutto, lo sviluppo di intensità litografia investimenti elevati. Originale Intel, TSMC, Samsung al fine di promuovere macchina litografia ASML EUV per accelerare lo sviluppo, al costo di 3,8 miliardi di euro ha raggiunto la sua quota del 23%, e inoltre ha investito 1,38 miliardi di euro nei prossimi cinque anni per sostenere lo sviluppo della tecnologia ASML EUV. nel corso degli anni, anche se l'importanza della litografia macchina sviluppata che può essere 02 speciale investimento di macchine litografiche, rispetto alle aziende internazionali, il meno troppo. in secondo luogo, ci sono un sacco di lacune nel sistema di litografia sostegno interno sostenere lo sviluppo delle industrie di base, che limita anche la luce sviluppo inciso macchina. Infine, unire la base di talenti per la ricerca litografia è molto piccolo, formazione difficile, ciclo di formazione è lunga, ma l'esito del ciclo della macchina litografica è lungo, scarsa trattamento delle persone, anche causato alti livelli di grave fuga di cervelli, ulteriormente Intensificato lo stato arretrato delle macchine litografiche domestiche.
Inoltre, grande salute detto che lo sviluppo della macchina litografica è solo una piccola parte del successo, per formare un corrispondente processo di litografia, la maschera anche sviluppato un impianto con maschere di corrispondenza, materiale materiale photoresist vegetale il produttore di attrezzature e materiali sviluppato in collaborazione con la tecnologia e così via. questo dimostra la precisione e macchine litografiche sistematici e della relativa tecnologia, ma anche aumentare ulteriormente la sfida del lavoro.
Anche se lo sviluppo della Cina è di fronte a macchine molti problemi litografia, ma con il rapido sviluppo del Mobile Domestico elettronica e comunicazioni, elettronica automotive, networking e altri mercati di uso finale, ma anche fornito una rara opportunità per lo sviluppo del settore delle attrezzature domestico. Come si tratta di sfondamento catena di bordo corto quando esperti ha sottolineato: 'in anticipo del processo di sviluppo di litografia dovrebbe aderire a sviluppare attivamente high-end, di fascia bassa del prodotto per ottenere il percorso più breve tempo possibile l'unico modo per tenere in piedi l'intero team R & D, l'accumulo di talento, di ingegneria. esperienza, formando un circolo virtuoso. Inoltre, si dovrebbe portare all'attenzione nazionale sulla macchina litografica, continuano ad aumentare gli investimenti in macchine litografia, ricerca e sviluppo per migliorare le condizioni per attrarre il talento, si deve rilevare che gli investimenti continui mentre gli investimenti per evitare ingressi impulsi abusiva.
Electric Division Cina principale esperto Liu Bin ha anche sottolineato: 'rapporto a lungo termine è produttore molto importante ea valle chip, che è diventata la chiave per lo sviluppo a lungo termine di semiconduttori settore delle attrezzature della Cina esiste e non è stato finalmente risolto' la parte a monte della catena industria dei semiconduttori , lo sviluppo del settore attrezzature per semiconduttori, senza il sostegno dello stato. Dal momento che lo stato della sua industria attrezzature industriali, macchine industriali unità non può avere la stessa forza e il mondo maturo per fornitori di apparecchiature. Pertanto, lo sviluppo del settore delle attrezzature richiede un finanziamento enorme di R & S investimenti, team building professionale e tecnica e di stabilire relazioni a lungo termine con i produttori di chip a valle.