تصنيع الدوائر المتكاملة المتقدمة مبنية حول الطباعة الحجرية
صناعة الدوائر المتكاملة لها "أجهزة الجيل، جيل العملية والمعدات والمواد جيل قال، وهو ما يعني أنه عندما الصناعة بأكملها إلى العصور، وتقنيات النانو المتناهية الصغر تلفيق تعتمد أكثر على إدخال مواد جديدة وقدرة المعالجة لتعزيز معدات تجهيز الصغيرة لتحقيق طفرة تكنولوجية، وعمليات التصنيع والمعدات والمواد أكثر عمقا لتناسب معا، وغالبا ما تحتاج العديد من عمليات التصنيع تدور حول المعدات والمواد الأساسية. الحجرية هي درجة من الدقة الدوائر المتكاملة تصنيع المعدات الأكثر تعقيدا، أصعب، أغلى.
وقال هناك خبراء الطباعة الحجرية للصحفيين: "في عمليات تصنيع الدوائر المتكاملة المتقدمة والتي شريحة غالبا ما تحتاج إلى الذهاب من خلال العشرات من عملية ضوئيه، تحتاج دائما لاستخدام الطباعة الحجرية لتصميم رقائق الدوائر الرسومات حتى تفعل لذلك، كثيرا ما يقول الناس بعض عقدة عملية نانومتر، وغالبا ما يتم تحديد من قبل الطباعة الحجرية والعمليات المتصلة به، أو أنه هو جوهر عامل. آلة الطباعة الحجرية قرار يمكن أن تفعل الكثير، والتكامل كم هي عقدة عملية الدائرة ".
لأنه عندما الطباعة الحجرية وهذا مهم جدا، المشاريع الصناعية في استثمار رأس المال في كل عام، حوالي 30٪ سيتم استثمارها -40٪ على الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية قد ذهب من خلال التطور الطويل: الاتصال 1960 الطباعة الحجرية، والقرب الطباعة الحجرية، وآلة الطباعة الحجرية الإسقاط في 1970s، 1980s السائر، خطوة مسح آلة الطباعة الحجرية، وبعد ذلك إلى آلات الطباعة الحجرية الغمر، وحاليا ظهرت فقط في فوق البنفسجي على الطباعة الحجرية السوق (فوق البنفسجي)، لا يزال أداء الجهاز في الزيادة.
خط إنتاج الدوائر المتكاملة التيار الحالي آلة الطباعة الحجرية: طبقة الأساسية لعملية الدوائر الحجرية المتكاملة، أكثر من عقدة 28nm يستخدم طول موجي 193nm الطباعة الحجرية الجافة، والعقد 28nm، 10nm باستخدام الطول الموجي من الطباعة الحجرية 193nm الغمر، أما بالنسبة للدعم تصنيع 10nm IC، وصناعة وتحاول تبني فوق البنفسجي آلة الطباعة الحجرية، والجيل القادم من ارتفاع العددية الطباعة الحجرية فوق البنفسجي الفتحة قيد التطوير حاليا، ومن المرجح أن تكون المتقدمة التي يمكن أن تدعم 5nm، 3nm السنوات المقبلة 2--3 و العمليات التالية. طبقة غير الحرجة باستخدام 248nm الطول الموجي دي يو الطباعة الحجرية، والطباعة الحجرية I-لاين (365nm الطول الموجي).
وقال كانغ صحفيين أشباه الموصلات الخبراء كبير، عقدة 10nm عملية التصنيع وتحت "التكنولوجيا 193nm الطول الموجي الغمر الطباعة الحجرية آلة + التعرض المتعدد (الزخرفة متعددة، MP) 'هو أكثر انتشارا استخدام في الوقت الراهن، و7nm لتحقيق عملية الإنتاج 10nm. ومع ذلك، فإن استخدام التعرض متعددة سيجلب القضايا، وهما، بالإضافة إلى تكاليف ارتفاع قناع الطباعة الحجرية، ولكن يؤثر أيضا على العائد، أكثر من خطوة واحدة العملية للحد من الغلة أكثر من مرة، والثاني هو تمديد عملية دورة، والتعرض متعددة لا يؤدي إلا إلى زيادة عدد مرات الظهور، و زيادة عدد عمليات حفر وCMP. استخدام آلة الطباعة الحجرية فوق البنفسجي لا تحتاج التعرض لأخطار متعددة، وهو نمط غرامة يمكن أن يتعرض المطلوبين، مزايا واضحة من حيث دورة الإنتاج، ومدى تعقيد OPC، ومراقبة عملية، والغلة، الخ وقد بدأت سوق الشحن مجموعة متنوعة من النماذج حاليا فوق البنفسجي سامسونج، قال TSMC سيكون لها استخدام آلة الطباعة الحجرية فوق البنفسجي في عملية 7nm.
درجة الطباعة الحجرية الدولية للاحتكار تخطيط الصعب
وعلى الرغم من الطباعة الحجرية وهذا مهم جدا في إنتاج الدوائر المتكاملة، ولكن صناعة الطباعة الحجرية ودولة حكرا للغاية، لا يمكن إلا أن 3-4 الشركات العالمية تصنيع، فهي هولندا، ASML (ASML)، نيكون اليابانية (نيكون ) وكانون (كانون) وشنغهاي الدقيقة الصين (SMEE) التي ASML في مركز مهيمن، وأكثر من 7 في المئة في سوق الاحتكار، مثل آلات الطباعة الحجرية 193nm الغمر، ASML تشغل أكثر من 90٪ من حصة السوق ؛. 248nm دي يو الطباعة الحجرية ، ASML المحاسبة لأكثر من 50٪، فوق البنفسجي آلة الطباعة الحجرية ASML ليست سوى احتكار، I-الخط سوق الطباعة الحجرية هو في الأساس ASML، كانون ونيكون ثلاثة المشاركة.
وتظهر الاحصاءات ان الصين تطور الطباعة الحجرية لم تبدأ في وقت متأخر. ومنذ البداية من 1970s كانت هناك الآلات الدقيقة، جامعة تسينغهوا، أكاديمية علوم في معهد البصريات، القسم CLP الأبحاث 45 الاستثمار. والمجلد الأول في العالم في عام 1978 وجاءت ز من نوع خط الإنتاج خطوة إسقاط الطباعة الحجرية بعد الولايات المتحدة، 45 استثمروا خطوة أعمال التطوير بواسطة آلة خطوة إسقاط الطباعة الحجرية، التي وضعت في عام 1985، وهي الأولى من نوعها 1.5μm ز خط خطوة إسقاط الطباعة الحجرية لها ، أطلقت في عام 1994 مع قرار من 0.8μm متدرج آلة الطباعة الحجرية الإسقاط، وعرض في 2000 مع قرار من 0.5μm عملية الطباعة الحجرية خطوة الإسقاط. في عام 2002، وضعت الدولة في شنغهاي، شنغهاي الدقيقة المعدات المحدودة (SMEE) تحمل المشاريع البحثية الطباعة الحجرية الخمسية العاشرة، القسم CLP 45 سوف تشارك المهام البحثية خطوة إسقاط الطباعة الحجرية وتطوير فريق كما انتقلت كلها الى شنغهاي، للمشاركة في الوقت الحاضر، شنغهاي هو الأكثر تقدما تكنولوجيا الالكترونيات الدقيقة الطباعة الحجرية وحدة تطوير آلة والإنتاج.
من التقدم في عملية التنمية للعرض، مهمة الصين 90nm الطباعة الحجرية تطوير النموذج الأولي من قبل مجموعة خاصة من الخبراء في موقع اختبار 02 التنفيذ منظمات مكتب الإدارة. العقد عملية 193nm الطول الموجي الغمر الطباعة الحجرية 28nm قيد التطوير. وعلى الرغم من هذه السنوات جعلت بعض النتائج، ولكن التكنولوجيا الطباعة الحجرية في بلدنا لا يزال بعيدا وراء المعايير الدولية.
تحتاج إلى معالجة "عدم وجود الناس يفتقرون إلى المال المتراكم" محنة
فائقة متطلبات الدقة، هي واحدة من الأسباب تكنولوجيا الطباعة الحجرية الرئيسية من الصعب تحقيق انفراجة في وقت قصير لا يوجد مثل استعارة حية في هذه الصناعة: الطباعة الحجرية المنقوشة مع دائرة على رقاقة السيليكون، كما لو أن اثنين بوينغ 747 طائرة في نفس الوقت بسرعة 1000 كيلومترا في الساعة الرحلة على حبة صغيرة من حروف الأرز! هذا هو الراقية الجدول آلة الطباعة الحجرية، وعندما وصلت سرعة عالية الحركة متزامن للمرحلة قناع دقة تزامن مستوى النانومتر التي يمكن تصنيعها مع هذه الشريحة عالية الدقة ، فإن متطلبات الدقة لآلة الطباعة الحجرية نفسها أعلى.
بالإضافة إلى التحديات التقنية، وقال خبراء للصحفيين ان تطوير آلات الطباعة الحجرية، وهناك العديد من الصعوبات. ويمكن تلخيص مع "قلة من الناس يفتقرون إلى المال المتراكم" لوصف. أولا وقبل كل شيء، وتطوير كثافة الطباعة الحجرية ارتفاع الاستثمار. إنتل الأصلي، TSMC، سامسونج من أجل تعزيز ASML فوق البنفسجي آلة الطباعة الحجرية لتسريع التنمية، بتكلفة قدرها 3.8 مليار يورو حققت حصتها 23٪، وبالإضافة إلى ذلك استثمرت 1380000000 يورو في السنوات الخمس المقبلة لدعم تطوير التكنولوجيا ASML فوق البنفسجي. على مر السنين، على الرغم من أهمية الطباعة الحجرية آلة المتقدمة التي يمكن أن تكون 02 استثمار خاص من آلات الطباعة الحجرية، مقارنة مع الشركات العالمية، وأقل بكثير جدا. ثانيا، هناك الكثير من الثغرات في نظام الطباعة الحجرية الدعم المحلي ودعم تطوير الصناعات الأساسية، الأمر الذي يحد أيضا الضوء تطوير محفورة الجهاز. وأخيرا، والانضمام إلى قاعدة المواهب البحوث الطباعة الحجرية ووالتدريب الصعب صغير جدا، دورة تدريبية طويلة، ولكن نتائج دورة آلة الطباعة الحجرية طويل، وسوء معاملة الأشخاص تسبب أيضا مستويات عالية من هجرة الأدمغة خطير، مما تكثيف الحالة الخلفية لآلات الطباعة الحجرية المحلية.
وبالإضافة إلى ذلك، قالت الصحية الكبيرة التي تطور آلة الطباعة الحجرية ليست سوى جزء صغير من النجاح، من أجل تشكيل عملية الطباعة الحجرية المقابلة، وضع القناع أيضا مصنع مع أقنعة مطابقة، مواد مقاومة للضوء المواد النباتية الشركة المصنعة لمعدات ومواد وضعت جنبا إلى جنب مع التكنولوجيا وهلم جرا. هذا يدل على الدقة وآلات الطباعة الحجرية منهجية والتكنولوجيا ذات الصلة، ولكن أيضا يزيد من التحدي المتمثل في العمل.
على الرغم من أن تواجه التنمية في الصين مع الآلات العديد من المشاكل الطباعة الحجرية، ولكن مع التطور السريع للالمحلية النقالة والالكترونيات، والاتصالات، والالكترونيات والسيارات، والشبكات وغيرها من الأسواق الاستخدام النهائي، لكنها وفرت أيضا فرصة نادرة لتطوير صناعة الأجهزة المنزلية. كيف يأتي إلى اختراق سلسلة قصيرة متن الطائرة عندما أشار الخبراء إلى: "في وقت مبكر من عملية التنمية الطباعة الحجرية ينبغي أن تلتزم بنشاط لتطوير الراقية، وانخفاض النهائي للمنتج لتحقيق مسار في أقرب وقت ممكن السبيل الوحيد لدعم R كامل وفريق D، وتراكم من المواهب، والهندسة. تجربة، وتشكيل حلقة حميدة. بالإضافة إلى ذلك، فإنه ينبغي أن يؤدي الاهتمام الوطني على آلة الطباعة الحجرية ل، والاستمرار في زيادة الاستثمار في آلات الطباعة الحجرية، والبحث والتطوير لتحسين الظروف لجذب المواهب، وتجدر الإشارة إلى أن الاستثمار المستمر في حين أن الاستثمار لتجنب مدخلات نبض الممارسات الخاطئة.
وأشار كبير خبراء الصين الشعبة الكهربائية ليو بن أيضا: "علاقة طويلة الأمد هي في غاية الأهمية والمصب رقاقة صانع، التي أصبحت مفتاح التنمية على المدى الطويل من أشباه الموصلات الصين صناعة معدات موجود ولم يتم حلها نهائيا" الجزء المنبع من سلسلة صناعة أشباه الموصلات ، وتطوير صناعة معدات أشباه الموصلات، ودون دعم من الدولة. ومنذ وضع صناعة المعدات الصناعية، وحدات تصنيع المعدات لا يمكن أن يكون بنفس القوة والعالم قد حان لموردي المعدات. ولذلك، فإن تطوير صناعة المعدات تتطلب تمويلا ضخما R & D الاستثمار وبناء فريق المهنية والتقنية وإقامة علاقات طويلة الأمد مع شركات صناعة الرقائق الالكترونية المصب.