В то же время, NXT: 2000i также стала точность наложения ASML (в оверлей) высший продукт и достичь той же цели ASML 3400B начнет эту сумму четверть 1.9nm (5nm требуется лицензия 2.4nm, 7нм требует, по крайней мере, 3.5nm). производство Twinscan NXT: 2000i, в настоящее время не указано цена, NXE :. Цитата 3400B EUV литографии машины составляет $ 120 млн в обычный ArF иммерсионной литографии (14nm узел) предложение от $ 72 млн, NXT: 2000i определенно между ними.
Наконец, краткое введение в ASML, которое родилось из литографической команды Philips по литографии в Нидерландах, составляло 70% мирового рынка литографических машин в 2017 году. Это абсолютный брат, за которым следуют Canon, Nikon и Shanghai Microelectronics.
Интегральная схема претерпевает различные процессы, такие как подготовка материала, маскирование, фотолитография, травление, очистка, легирование, механическая полировка и т. Д. В процессе изготовления, среди которых процесс фотолитографии является наиболее важным и является передовым производственным процессом всей отрасли интегральных схем. Важным показателем является передача между рисунком маски и рисунком кремниевой подложки во время процесса производства чипов.