máquinas de litografía ASML envío nueva NXT2000i: para el proceso de DUV 7 nm / 5 nm

Los medios extranjeros informaron, máquina de litografía ASML ha comenzado a enviar el nuevo NXT Twinscan dominante: 2000i DUV (NXT: 2000i bis pieza etapa de la máquina de litografía ultravioleta profunda), y se puede utilizar a los nodos 7 nm de 5 nm NXT :. 2000i será NXE: 3400B La máquina de litografía EUV es un complemento efectivo, después de todo, la primera generación de 7m de TSMC / GF se basa en el proceso DUV.

Mientras tanto, NXT: 2000i también se convirtió en la precisión de superposición de ASML (superposición) el producto de mayor, y alcanzar el mismo fin ASML 3400B comenzará esta cantidad trimestre 1,9 nM (2,4 nM licencia requerida 5 nm, 7 nm requiere al menos 3,5 nm). producción Twinscan NXT: 2000i, actualmente precio no revelado, NXE :. Cita 3400B máquina de litografía EUV es de $ 120 millones de dólares al ArF litografía de inmersión convencional (nodo de 14nm) oferta es de entre $ 72 millones, NXT: El 2000i definitivamente está entre los dos.

Por último, una breve introducción de ASML, Philips nace de su equipo D de la litografía investigación y desarrollo, la litografía 2017 la cuota de mercado mundial del 70%, es absolutamente un hermano, seguido después por Canon, Nikon y Shanghai microelectrónica.

El circuito integrado experimentar preparación de la materia, una máscara, fotolitografía, ataque químico, la limpieza, el dopaje, una pluralidad de paso de pulido mecánico en el proceso de producción, el más crítico de los cuales el proceso de fotolitografía, es todo el proceso de fabricación de la industria de circuito integrado grado avanzado índice importante, es decir, el modelo de máscara en el proceso de fabricación de chips entre el dibujo de transferencia al sustrato de silicio.

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