В то же время NXT: 2000i стал наивысшим оверлейным продуктом ASML, достигнув того же уровня 1,9 нм, что и 3400B (2,4 нм для 5 нм и 3,5 нм для 7 нм). ASML начнется в конце этого квартала. Twinscan NXT: 2000i выпускается по нераскрытой цене. В настоящее время литографическая машина NXE: 3400B EUV оценена в 120 миллионов долларов, а традиционная машина для иммерсионной литографии ArF (14-нм узел) оценена в 72 миллиона долларов США, NXT: 2000i определенно между ними.
Наконец, краткое введение в ASML, которое родилось из литографической команды Philips по литографии в Нидерландах, составляло 70% мирового рынка литографических машин в 2017 году. Это абсолютный брат, за которым следуют Canon, Nikon и Shanghai Microelectronics.
Интегральная схема претерпевает различные процессы, такие как подготовка материала, маскирование, фотолитография, травление, очистка, легирование, механическая полировка и т. Д. В процессе изготовления, среди которых процесс фотолитографии является наиболее важным и является передовым производственным процессом всей отрасли интегральных схем. Важным показателем является передача между рисунком маски и рисунком кремниевой подложки во время процесса производства чипов.