한편, NXT : 2000i는 또한 ASML의 오버레이 정확도 (오버레이) 가장 높은 제품이되었고, ASML 3400B이 분기 금액 1.9nm를 시작합니다 같은 끝에 도달 (가 5nm 필요한 라이센스 2.4nm는 7nm 적어도 3.5nm 필요). 생산 Twinscan NXT : 2000i는 현재 공개되지 않은 가격, NXE는 :. 견적 3400B EUV 리소그래피 기계는 $ (120) 백만 기존의 ArF 액침 리소그래피이다 (14nm 노드) 제안은 $ (72) 만 NXT 사이 : 2000i를 확실히 사이에있다.
마지막으로 네덜란드 필립스의 리소그래피 R & D 팀에서 태어난 ASML에 대한 간략한 소개는 2017 년 세계 리소그래피 머신 시장의 70 %를 차지했습니다. 캐논, 니콘, 상하이 마이크로 일렉트로닉스가 뒤 따르는 절대 형제입니다.
집적 회로는 제조 공정에서 재료 준비, 마스킹, 포토 리소그래피, 에칭, 세정, 도핑, 기계적 연마 등과 같은 다양한 공정을 거치며, 그 중에서 포토 리소그래피 공정이 가장 중요하며, 이는 전체 집적 회로 산업의 선진 제조 공정이다. 중요한 지표, 즉 칩 제조 과정에서 마스크 패턴과 실리콘 기판 패턴 사이의 전달.