macchine litografia ASML spedizione Nuovo NXT2000i: per il processo DUV 7nm / 5 nm

I media stranieri hanno riferito, ASML macchina litografia ha iniziato la spedizione il nuovo NXT TWINSCAN dominante: 2000i DUV (NXT: 2000i bis pezzo fase profonda ultravioletta macchina litografia), e può essere utilizzato per i nodi 7nm 5nm NXT :. 2000i sarà NXE: 3400B efficace macchina litografia EUV complemento, dopo TSMC / GF si basano sulla prima generazione di processo 7nm DUV.

Nel frattempo, NXT: 2000i è diventato anche precisione di sovrapposizione di ASML (sovrapposizione) un prodotto di ottima, e raggiungere lo stesso fine ASML 3400B inizierà questo trimestre ammontano 1.9nm (5nm richiesta 2.4nm licenza, 7nm richiede almeno 3.5nm). produzione TWINSCAN NXT: 2000i, prezzo attualmente riservate, NXE :. Quota 3400B macchina litografia EUV è $ 120 milioni un convenzionale ArF litografia a immersione (nodo 14nm) offerta è tra $ 72 milioni NXT: 2000i è sicuramente la via di mezzo.

Infine, una breve introduzione di ASML, Philips nato fuori dal suo team R & D della litografia, litografia a 2017 parti di mercato globale del 70%, è assolutamente un fratello, seguita poi da Canon, Nikon e Shanghai microelettronica.

Il circuito integrato sperimentando preparazione del materiale, una maschera, fotolitografia, etching, pulizia, doping, una pluralità di passo lucidatura meccanica nel processo di produzione, il più critico di cui il processo di fotolitografia, è l'intero processo di produzione dell'industria circuito integrato grado avanzato importante indice, cioè, il modello di maschera nel processo di produzione di chip tra il motivo trasferimento al substrato di silicio.

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