«در تکنولوژی پیشرو IC، تولید کنندگان تراشه ویفر و تقریبا هیچ جایی برای خطا، 'ارتش آزادیبخش-TENCOR معاون رئيس جمهور ارشد و مدیر ارشد بازاریابی و Oreste Donzella گفت." کلید نسل بعدی اندازه تراشه بسیار کوچک است، به طوری که سیلیکون لخت ویفر مانیتور بر روی ویفر یا فیلم، که ممکن است در عملکرد اندازه نقص از دست دادن نتیجه کوچکتر از حد تشخیص موجود در سیستم نظارت بر تجهیزات تبدیل شده است. علاوه بر این، هر دو EUV یا 193i، زمینه کلید دوم تشخیص نقص است چگونه قابل اعتماد تشخیص نقص در افت عملکرد در اوایل فرایند لیتوگرافی معرفی شده است. تیم تحقیق و توسعه ما دو سیستم شناسایی نقص جدید را توسعه داده است: یکی برای ورقه های الگوی نوری / مانیتور و یکی برای ورقه های الگو مهندسان برای حل این مشکلات به سرعت و با دقت کمک های حیاتی ارائه می کنند.
SP Surfscan هیچ الگوی ویفر سیستم بازرسی نقص با استفاده از یک منبع نور نوآورانه و سنسور معماری قابل توجهی، و اجرا به اندازه کافی بازی در حال تغییر حساسیت، وضوح تصویر و نسل های قبلی سیستم Surfscan بازار پیشرو در مقایسه با بهبود عصر گیری این بی سابقه ای جهش وضوح تشخیص آن مهم حداقل نقص قاتل دامنه قطعنامه جدید ممکن است برای بسیاری از انواع نقص (مانند ذرات، خش، خطوط لغزش و گسل انباشته) برای طبقه بندی در زمان واقعی اجازه می دهد - بدون Surfscan حذف ویفر دستگاه و یا توان عملیاتی سیستم را تحت تاثیر قرار. در همان زمان، کنترل دقیق از چگالی توان اوج همچنین ممکن است به تشخیص چنین SP7 Surfscan نازک ظریف EUV خوب مواد مقاوم در برابر نور.
ویجر 1015 سیستم ویفر الگو تشخیص نقص منبع جدید نور، و ترکیب کاملی کسب سیگنال سنسور، برای پر کردن خالی برای توسعه بلند مدت تشخیص (ADI) منطقه صنعت. این انقلابی سیستم لیزر آشکارساز پراکندگی نور نیز در بالا بردن حساسیت سر و صدا سیگنال را می توان کاهش می یابد - در مقایسه با نتیجه تشخیص بسیار با سرعت بیشتری به عنوان بهترین SP7 Surfscan جایگزین به عنوان رمان، سیستم کنترل منحصر به فرد داشتن چگالی قدرت ویجر به دست آمده، می تواند مواد حساس ریز پس از توسعه مقاوم در برابر نور انجام شده است. در خط. کلید را به نقص ضبط با حجم بالا در سیستم های چاپ سنگی و دیگر FAB (روند) ماژول به طوری که روند را به سرعت شناسایی و تصحیح مشکل.
اولین SP7 Surfscan و ویجر 1015 سیستم در حال حاضر در استفاده در ویفر پیشرو، تولید کنندگان در جهان تجهیزات و کارخانه تراشه، و پرتو الکترونی EDR KLA-TENCOR بازرسی نقص و تجزیه و تحلیل سیستم ها، و سیستم های تجزیه و تحلیل داده Klarity با هم به از شناسایی علل ریشه ای مشکل های کنترل فرآیند. به منظور دیدار با تولید کنندگان تراشه ویفر و الزامات مورد نیاز برای عملکرد بالا و بهره وری، ویجر و سیستم های SP7 Surfscan طراحی شده توسط ارتش آزادیبخش-TENCOR شبکه جامع خدمات جهانی است.