KLA-Tencor Surfscan SP7 lösen Voyager 1015 und Fehlerdetektionssystem

Heute, KLA-Tencor kündigte die Einführung von zwei neuen Produkten Fehlererkennung, moderne Technologie Knoten für Komponenten Logik und Speicher zwei wichtige Herausforderungen für die Ausrüstung und die Prozessüberwachung in Silizium-Chip-Herstellung zu adressieren und. VoyagerTM 1015 System liefert die neue Funktion der strukturierten Wafern zu detektieren, einschließlich einem Fall, in dem der Wafer nach der Photoresist-Entwicklung und vor der Aufarbeitung, sofort in einem Lithografiesystem geprüft. Surfscan® SP7 System blanke Wafern, glatt und rauh Folie bietet eine beispiellose Empfindlichkeit der Fehlererkennung, die für die Herstellung von Siliziumsubstraten für fortschrittliche Logik- und Speicherknoten 7 nm Elemente wichtig ist, aber auch das Problem der Früherkennung von kritischem Prozess in der Chipherstellung. die beiden neuen Detektionssysteme gerichtet durch den Mangel von der Quelle Erfassung Offset-Zeit zu beschleunigen innovative elektronische Bauteile zu vermarkten.

'In führenden IC-Technologie, Wafer-Chip-Hersteller und fast keinen Raum für Fehler', KLA-Tencor Senior Vice President und Chief Marketing Officer, sagte Oreste Donzella. „Der Schlüssel der nächsten Generation Chipgröße sehr klein ist, so dass das blanke Silizium Monitor-Wafer auf dem Wafer oder der Film, die in Ausbeuteverlust Defektgröße hat zur Folge haben kann kleiner werden als die Nachweisgrenze der vorhandenen Ausrüstung Überwachungssystems. Darüber hinaus sind sowohl die EUV oder 193i, das zweite Schlüsselfeld der Fehlererkennung, wie zuverlässig zu erfassen, . Verlust Photolithographie- Defekte in dem Verfahren unseres Forschungsteam neues Fehlerdetektionssystem eingeführt früh zu erhalten entwickelte zwei - für unstrukturierte / Monitor-Wafer, ein Verfahren zur Herstellung eines Wafer-Muster - ist Ingenieure lösen, schnell und genau diese Probleme einen entscheidenden Schub geben. "

Surfscan SP kein Muster Waferfehlerinspektionssystem verwendet eine wesentliche innovative Lichtquelle und Sensor-Architektur und implementiert genug Spiel wechselnde Empfindlichkeit, Auflösung und die vorherige Generation des marktführenden Systems Surfscan verglichen mit der epochalen Verbesserung. Diese noch nie da gewesenen Der Auflösungssprung stellt den Schlüssel zur Erkennung kleinster Killerfehler dar. Der neue Auflösungsbereich ermöglicht die Echtzeitklassifizierung vieler Fehlertypen (wie Partikel, Kratzer, Gleitlinien und Stapelfehler) - kein Bedarf an Surfscan entfernen Sie das Gerät Wafer oder den Systemdurchsatz beeinflussen. zur gleichen Zeit, eine genaue Steuerung der Spitzenleistungsdichte auch möglich ist, solche Surfscan SP7 dünne zarte feine EUV-Photoresist-Material zu erfassen.

Das Voyager 1015 Muster-Waferdefekt-Inspektionssystem kombiniert neue Lichtquellen, Signalerfassung und Sensoren, um die langfristige Lücke in der Nach-Entwicklungs-Inspektion (ADI) zu füllen.Dieses revolutionäre Laserstreudetektionssystem erhöht die Empfindlichkeit und verbessert gleichzeitig die Empfindlichkeit. Signalrauschen reduziert werden kann - wie das Detektionsergebnis verglichen erhält viel schneller als die beste alternative Surfscan SP7 als neuartiges, einzigartiges Steuerungssystem eine Voyager Leistungsdichte aufweist, kann eine Feinempfindlichen Material nach der Entwicklung des Photolacks durchgeführt. der Schlüssel zum hochvolumigen capture Defekten in der Lithographie-Systemen und anderen fab (Prozess) Modul auf der Leitung. so, dass der Prozess schnell zu identifizieren und das Problem beheben.

Die erste Reihe von Surfscan SP7- und Voyager 1015-Systemen wurde in den weltweit führenden Wafer-, Equipment- und Chiphersteller-Einrichtungen eingesetzt, zusammen mit KLA-Tencor's eDR-Elektronenstrahldefekt-Inspektions- und Analysesystem und Klarity-Datenanalysesystem. Identifikation der Ursachen von Prozesssteuerungsproblem dar. um die Wafer-Chip-Hersteller und Anforderungen für hohe Leistung und Produktivität, SP7 Voyager und Surfscan-Systeme gerecht zu werden angetrieben durch KLA-Tencor umfassendes globales Servicenetz.