، وفي التكنولوجيا الرائدة IC والمصنعين رقاقة رقاقة ويكاد لا يوجد مجال للخطأ "نائب الرئيس والرئيس التنفيذي للتسويق وقال أوريستى Donzella KLA-TENCOR." الجيل القادم مفتاح حجم رقاقة صغيرة جدا، بحيث السيليكون العارية أصبح رصد الرقائق على الرقاقة أو فيلم، التي قد تؤدي إلى العائد حجم الخسائر عيب أصغر من الحد الكشف عن نظام مراقبة المعدات الموجودة. بالإضافة إلى ذلك، كل من فوق البنفسجي أو 193i، حقل المفتاح الثاني من كشف العيب هو كيفية اكتشاف موثوق . لانتاج العيوب ضوئيه فقدان قدم في وقت مبكر من عملية فريق البحث لدينا وضعت اثنين من نظام الكشف عن عيب جديد - للرقائق unpatterned / رصد، وهي طريقة من الزخرفة رقاقة - هو المهندسين بسرعة وبدقة على حل هذه المشاكل وتوفر دفعة رئيسية.
Surfscan SP يستخدم أي نظام التفتيش عيب نمط رقاقة مصدر الضوء واستشعار الهندسة المعمارية المبتكرة كبيرة، وتنفذ ما يكفي لتغيير قواعد اللعبة والحساسية، والقرار، والجيل السابق من نظام Surfscan الرائدة في السوق مقارنة مع تحسين صنع عهدا جديدا، وهذا لم يسبق له مثيل قرار قفزة كشف تلك حاسم الحد الأدنى العيوب القاتلة نطاق القرار الجديد قد يسمح لكثير من أنواع العيوب (مثل الجسيمات، وخدوش، وخطوط زلة وأخطاء التراص) للتصنيف في الوقت الحقيقي - دون Surfscan تتم إزالة الرقاقة من الجهاز أو تؤثر على معدل نقل النظام ، وفي نفس الوقت ، تتيح التحكم الدقيق في كثافة القدرة الذرّية لـ Surfscan SP7 الكشف عن مواد مقاومة للضوء رقيقة ودقيقة لـ EUV.
فوياجر 1015 نظام الرقائق نمط الكشف عن خلل في مصدر جديد للضوء، واقتناء أجهزة الاستشعار إشارة مزيج مثالي، لملء الفراغ لتطوير الكشف على المدى الطويل (ADI) منطقة في هذه الصناعة، وهذا الثوري نظام الليزر تشتت الضوء الكاشف أيضا في تعزيز حساسية الضوضاء إشارة يمكن تخفيض - بالمقارنة مع نتيجة الكشف الحصول عليها بسرعة أكبر كأفضل SP7 Surfscan بديلا في الرواية، ونظام مراقبة فريدة من نوعها وجود كثافة الطاقة المسافر، يمكن أن تكون المواد غرامة حساسة بعد أن قامت بتطوير مقاومة للضوء الخروج. الفحص عبر الإنترنت: يتيح التقاط صور عالية الدقة للعيوب الحرجة في أنظمة الطباعة الحجرية وغيرها من وحدات القوات المسلحة البوروندية تحديد المشكلات في العملية وتصحيحها بسرعة.
أول SP7 Surfscan وفوياجر 1015 أنظمة قيد الاستخدام في رقاقة الرئيسيين والمصنعين في العالم المعدات والمصانع رقاقة، ونظم التفتيش العيب وتحليل KLA-TENCOR EDR شعاع الالكترون، ونظم تحليل البيانات Klarity معا لمن تحديد الأسباب الجذرية للمشكلة التحكم في العملية. من أجل تلبية متطلبات المصنعين ورقاقة رقاقة لأنظمة SP7 Surfscan عالية الأداء والإنتاجية، والمسافر ومدعوم من KLA-TENCOR شبكة خدمة عالمية شاملة.