Como todos sabemos, motores de aeronaves e máquina de litografia representam o nível superior de desenvolvimento tecnológico da humanidade, ele pode ser considerado como uma jóia brilhante da coroa da indústria. No momento, motor de aviação da China já fez progressos, então, a nossa máquina de litografia substancial ? Qual é o status desse desenvolvimento saudou uma nova era de 'bombas e um satélite' nível 'artefato' nosso país pode apanhar com a Europa e América, em particular, é uma tecnologia de mídia disse recentemente: 'o cartão de nossos pescoços - desses? detalhes deixe principais itens de litografia olhar duro da China de volta', eu analisar os últimos desenvolvimentos da litografia. o chamado litografia, de fato, quase como uma câmera de acordo com o princípio da informação pública, mas é o filme é pintado de cola sensível à luz (também conhecido como fotorresiste ) bolacha de silício. microfilme vários padrões de circuitos projectados pela exposição à radiação laser para o fotorresistente, porções expostas do fotorresistente bolacha de silício reagir ser permanentemente gravada sobre uma bolacha de silício, que é a etapa mais importante da produção de chips Uma vez que a máquina de litografia pode ser usada na embalagem final do chip e na produção de dispositivos de tela plana, a máquina de litografia aqui geralmente se refere à máquina de litografia frontal para produção de chips.
Devido à tecnologia extremamente complicada da antiga máquina de litografia, após anos de competição, a ASML (Asma), que foi desenvolvida pela antiga empresa holandesa Philips, é a maior empresa, ocupando a maior parte do mercado, e duas empresas de litografia no Japão ( Nikon e Canon basicamente se retiraram do mercado de litografia.Mesmo os EUA tecnologicamente mais avançados não podem atualmente produzir uma máquina de litografia completa por si só, exigindo apenas a tecnologia mais crítica, e possuindo ASML (Asma). Principais direitos de controle Alguns comentários dizem: "Como o equipamento mais importante no processo de fabricação de circuitos integrados, a máquina de litografia é muito importante. Os fabricantes de chips querem melhorar o processo. Sem ela, a tecnologia de semicondutores da China não pode ser atualizada. A proibição da máquina de litografia é um fator importante ". Na verdade, já em 1971, o Departamento de Instrumento de Belas-Artes da Universidade de Tsinghua desenvolveu com sucesso a" câmera de passo e repetição automática de posicionamento de interferência a laser ", que é a litografia da etapa frontal. Na época, a atual gigante de litografia ASML ainda não foi estabelecida, pode-se dizer que ela está no mesmo nível da tecnologia de litografia na Europa e na América do Sul. Depois de entrar na década de 1980, o país desacelerou o semicondutor.
No século 21, a China re-lançou R & D máquina front-litografia, e montou uma companhia especial de pesquisa e desenvolvimento - Xangai Microelectronics Equipment Co., Ltd. (SMEE) foi empresas estrangeiras arrogantes dizer: 'Mesmo os desenhos e metadados todos os dispositivos para você, e você montá-lo para fora'. Xangai Microelectronics equipamentos Co., Ltd. integrou a inovação, finalmente, desenvolvido pela primeira vez de 90 nanômetros high-end projeção litografia da China em 2007, tornando-se o quarto mundo para dominar a luz high-end De acordo com a divulgação de informações públicas, como o protótipo usa um grande número de componentes de chave estrangeira para integração, depois de saber que a máquina litográfica foi desenvolvida na China, as empresas estrangeiras realizaram o embargo aos componentes principais e o protótipo tornou-se uma exibição. , não pode ser colocado em produção comercial.A empresa tem de investir no desenvolvimento de produtos para a máquina de litografia pacote de baixa tecnologia e máquina de litografia de painel plano, e ocupou com sucesso 80% do mercado de máquinas de litografia de embalagem doméstica, para resolver A empresa sobreviveu à crise, mas os principais problemas da produção de chips da China não foram resolvidos.
Embora o número de bens tesouro não-amor: China orientada para a exportação lutador por que cada vez mais difícil encontrar compradores 20 de junho Presidente da Nigéria, o governo Buhari assinou um dotações lei de 2018, a Força Aérea da Nigéria não só mantém o orçamento aprovado para a compra de pagar três? após a 12,79 bilhões de nairas JF-17 lutador (cerca de US $ 35 milhões) parcela, o orçamento revisto também um adicional de 170 bilhões de nairas (cerca de US $ 47 milhões). isso também significa que experimentou os altos e baixos, Xiaolong Os lutadores finalmente têm um segundo usuário, talvez todos tenham tais dúvidas em seus corações, de modo que o nosso 歼 -7 vendeu tão bem naquele ano, depois disso, parece que as saídas do caça caíram repentinamente do clímax para o vale, para hoje, nós realmente precisamos de exportar com sucesso apenas três aeronaves alegrar esta questão, "bainha" estamos preocupados que essas coisas exportações de combate chineses (ver conteúdo completo número público de pesquisa micro-canal: sinamilnews) ?.
Diante de uma situação tão difícil, o nosso país não é desencorajado, penteando cuidadosamente a máquina front-litografia tecnologia de núcleo, decidimos lançar uma grande cooperação nacional de ciência e tecnologia, investiu pesadamente em pesquisa e rachadura assumiu este período difícil. O primeiro obstáculo o sistema de litografia óptica da máquina de exposição, dezenas de peças da panela grande em lentes de série, componentes de controle de precisão óptica dentro de poucos nanômetros, grupos de lentes de um ASML estabelecido pela produção exclusiva de instrumentos Zeiss ópticas Alemanha. a tecnologia pesquisa conjunta pelo fabricante do satélite lente de sensoriamento remoto de Changchun Instituto de óptica e precisão Engenharia da Universidade Nacional de Tecnologia equipes de inovação óptica de defesa, etc., tem havido uma série de avanço resulta. desenvolvido com sucesso uma litografia de projeção contendo ópticas asféricas do sistema óptico de exposição, e em Xangai Microelectronics 90nm máquina litografia para obter a máquina para satisfazer as exigências do limite de resolução litografia processo de 85nm de resultados de exposição e o controlo total da litografia de imersão de 28 nm, bem como os níveis mais elevados de exposição ao sistema de litografia óptica, o volume de produção nó 110nm KrF exposição do sistema óptico, vale a pena mencionar que os comprimentos de onda mais curtos do extremo ultravioleta projecção EUV sistema óptico exposição litografia quebrar com sucesso, para se obter exposição litografia projecção EUV resistir a linha de padrão largura de 32 nm.
O segundo obstáculo é a máquina a laser fonte de luz de litografia, de acordo com fontes não oficiais, Shanghai fonte de luz microeletrônica litografia, porque não há produção nacional, é causada empresas ocidentais não podem estrangular segurar comercial. Fonte de luz laser excimer Litografia precisa estreitar largura, alta energia e alta frequência de pulso, esses parâmetros mutuamente contraditórias, o desenvolvimento é extremamente difícil, neste momento, após a combinação fusão, uma empresa japonesa únicas fontes de produção independentes do mundo, o resto foram adquiridas pela empresa ASML. Academy of Sciences e outros optoeletrônicos Presumo alinhador ArF excimer laser tarefa fonte de luz após o desenvolvimento, depois de nove anos esforços foram concluídos Guoneishoutai '65 nano passo ArF dupla exposição digitalização estágio fonte de luz da peça litografia 'e imersão '45 tarefas de fabricação nm desenvolvimento da fonte de luz de exposição e tarefa do pequeno volume de construção capacidade de produção'. 20-40 watts e 90 fonte ArF luz de exposição litografia nm para tarefas de produção em massa. o terceiro obstáculo é a máquina de litografia palco da peça, o design gráfico para a produção de wafer de silício no, e milhares de milhões de transístores pode ser integrado em 2 a 3 cm polegada de terra, fase bolacha em alta velocidade requerida para atingir 2nm (correspondente ao diâmetro de três cabelo extremo
Presidente da Nikon Corporation do Japão para visitar nosso país, quando ele disse que tal frase: 'sistema óptico litografia embora seja difícil, eu acredito que você pode desenvolvê-lo, mas (duplo) mesa peça Nabuxialai eu tenho medo, porque este o sistema é muito complicado. 'Universidade de Tsinghua e de outras unidades através de nossos esforços de investigação, não só para fazer a estação de trabalho para atender às necessidades de litografia de 90nm, por 28-65 nm litografia apoio estação de trabalho dupla também foi desenvolvido, tornando a China tornar-se estado dual estágio máquina de litografia segunda peça desenvolvidos do mundo. o quarto obstáculo é um sistema de litografia de imersão, no processo de 65 nm, o sistema óptico de exposição não pode satisfazer as necessidades, necessidade premente de novas tecnologias. TSMC arte foi estudado, utilizando água como uma lente, o feixe de laser transmitido através da 'água' como intermediário, encurtado para um comprimento de onda mais curto, e em cooperação com ASML de, 45nm desenvolvida máquina de litografia de imersão. o invento é fazer A máquina de litografia de comprimento de onda original de 193 nm continua a durar, o processo de chip pode ser tão baixo quanto 7 a 14 nanômetros, as empresas TSMC e ASML se tornaram empresas líderes em seus respectivos campos.
Após anos de pesquisa da Universidade de Zhejiang, desenvolveu um sistema de controle de imersão protótipo, para prestar apoio técnico para o desenvolvimento da máquina de litografia de imersão na China. O projeto vai promover o desenvolvimento bem sucedido da litografia doméstico ultrapassou Canon e Nikon máquinas de litografia, tornar o mundo O segundo lugar na empresa de produção de máquinas de litografia Com o desenvolvimento bem sucedido das quatro tecnologias-chave acima, a ASML tem que restabelecer uma parceria com a Shanghai Microelectronics e afirmou que nunca vendeu a máquina de litografia mais avançada da China. 'embargo', está pronto para exportar o país litografia mais avançada, creio eu, dar o nosso país 5-8 anos, o nosso país vai ficar na tecnologia Micron, posição tecnologia de ponta do mundo, então, a indústria de chips da China dará início a uma Crepúsculo