A micro-rede news (text / Mao Mao), na indústria de semicondutores, a indústria de equipamentos de semicondutores na cadeia mais a montante desempenha um papel fundamental.No mercado de equipamentos de semicondutores, em termos de processo, as compras de equipamentos de fabricação de wafer representam aproximadamente 80% do total, equipamentos de teste representaram cerca de 9%, equipamentos de embalagem representaram cerca de 7%, outros equipamentos representaram cerca de 4%, e pode ser visto que o equipamento de fabricação de wafer é a parte principal de toda a indústria de equipamentos de semicondutores.
relatório SEMI mostra que o primeiro trimestre de 2018, de semicondutores em todo o mundo receitas de equipamentos de fabricação de 17 mil milhões de dólares, um aumento de 30%, atingindo um recorde de alta, de acordo com o entendimento atual do micro rede, equipamentos de wafer de fabricação, mas também contém oito dispositivos, que são gravados Equipamentos, equipamentos de filmagem, equipamentos de litografia, controle de processos, equipamentos de teste, implante de íons, equipamentos de limpeza, polimento químico-mecânico.
Entre eles, o equipamento de limpeza é uma parte importante da cadeia da indústria de semicondutores, usada para limpar matérias-primas e impurezas que podem existir em produtos semi-acabados em cada etapa, para evitar impurezas que afetam a qualidade dos produtos acabados e a jusante. O custo de aquisição é de cerca de 5%, que é amplamente utilizado na produção de wafers de silício monocristalino, litografia, gravura, deposição e outros processos-chave.
O equipamento global de limpeza de semicondutores é oligopolístico
De acordo com informações públicas, o mercado global de equipamentos de limpeza será de US $ 2,7 bilhões em 2017 e, com o aumento dos processos, a demanda por equipamentos de limpeza continuará aumentando, alcançando entre US $ 3.5 e US $ 400 milhões em 2020 e a média anual de crescimento composto em 2015-2020. Em 6,8% Ao mesmo tempo, a SEMI espera que as empresas de manufatura de chips da China superem a demanda de 60 bilhões de yuans por equipamentos de limpeza até 2020.
Segundo as estatísticas, o número de processos de limpeza é responsável por um terço de todo o processo de fabricação de chips, que é uma parte importante da fabricação de chips.Por exemplo, assumindo uma capacidade de produção mensal de 100.000 linhas de produção DRAM, o rendimento é reduzido em 1%. Isso levará a uma perda de 30 a 50 milhões de dólares por ano, portanto, para melhorar o rendimento, as empresas inevitavelmente adotarão mais tempo de limpeza.
Do ponto de vista técnico, as técnicas comuns de limpeza incluem limpeza úmida e lavagem a seco, entre as quais a limpeza a úmido continua sendo o principal na indústria, representando mais de 90% das etapas de limpeza. Atualmente, existem diferenças óbvias no equipamento de limpeza no mercado Atualmente, o equipamento de limpeza mais importante no mercado é o equipamento de limpeza de bolacha, a estação de limpeza automática e o purificador.
Durante todo o mercado global de equipamentos de semicondutores, a indústria apresenta um alto grau de monopólio, forte sempre o vencedor da situação, e específico para o equipamento mundial de limpeza de semicondutores é o mesmo. No momento, todo o mercado de equipamentos de limpeza, as empresas japonesas manter uma dominante, cerca de 60% do mercado share ocupado pela tela japonês (Dien Shi), 30% da quota de mercado no Japão elétron Tóquio (elétron Tokyo) ocupam, outros fabricantes, incluindo a Coreia do semas (coisa bem bom), Estados Unidos Lam Research (Pan Lin) e assim por diante.
Por outro lado, atualmente, nos oito principais equipamentos de fabricação de wafer, existem empresas de equipamentos nacionais e, dentro do escopo de um único equipamento de processo, poucas empresas nacionais de equipamentos competem entre si. A localização dos equipamentos de processo do núcleo.Em termos de equipamentos de limpeza, há principalmente Shengmei Semiconductor, North Huachuang e Zhichun Tecnologia têm layout, e há uma grande diferença entre os produtos dos três.
Shengmei Semiconductor é o mais forte em equipamentos de limpeza doméstica
Atualmente, a Shengmei Semiconductor, a North Huachuang e a Zhichun Technology são responsáveis pela localização dos equipamentos de limpeza, entre os quais a Shengmei Semiconductor possui a mais forte resistência técnica e pode alcançar a substituição doméstica em uma grande parte do processo de limpeza.
Sheng Semiconductor foi fundada em 1998, foi criada há 20 anos, e no ano passado com sucesso listadas na NASDAQ. Tudo junto, Sheng Semiconductor equipamentos de wafer único de limpeza principal, e criou uma limpeza Megasonic em 2009 ( SAPS), a Hynix está sendo afetada pelo problema de limpeza de partículas pequenas.Uma vez, o primeiro equipamento de limpeza de 45cm da Shengmei entrou no teste de linha de produção da Hynix Wuxi, e a Shengmei também começou com a Hynix. alargar a cooperação a longo prazo.
relatório BOCI Valores salientou, 2015--2017 a empresa tinha as receitas foram 86%, 24% e 18,1% da Hynix, a partir de 2017, ACM vendeu um total de mais do que 30 de equipamento de limpeza, que serve para a Hynix mais de 20 unidades. Além Hynix, Mei Sheng também entrou no armazenamento Yangtze, SMIC, Xangai Huali, tecnologia de energia de longo e de outros cinco clientes.
A partir de um ponto técnico de força vista, a força técnica do Sheng Semiconductor atingiu 14nm, já começou e positivo Dien Shi, Tokyo Electron, o Pan-Lin e outras empresas para competir. Vale ressaltar que em 2016, os Estados Unidos mais uma vez criou uma força-Sheng bolha choque limpeza Megasonic (TEBO) tecnologia. a empresa tem 22 patentes da arte SAPS, a arte pedido de patente PCT TEBO 8.
Norte CRE e tecnologia pura no layout equipamentos de campo de limpeza
Sheng Semiconductor com equipamento principal diferente de limpeza wafer único, norte CRE conseguir um equipamento de limpeza da calha feita por aquisição Akrion da empresa norte-americana em agosto de 2017, a Norte CRE Akrion a aquisição da empresa de US $ 15 milhões. É relatado que, Akrion está localizada empresa Pensilvânia focada em negócios de equipamentos de limpeza wafer da empresa, principalmente para a fabricação de circuitos integrados, fabricação de wafer de silício, MEMS e área de embalagens avançada, a empresa acumulou muitos anos de tecnologia de limpeza e uma ampla gama de mercados e Base de clientes, máquina on-line cumulativa com mais de 1.000 unidades.
Instituto Norte CRE 12 polegadas produtos de limpeza de um único chip auto máquina de limpeza são aplicados ao pré-processo de um chip de circuito integrado, o processo de limpeza a regeneração, de lavagem e de cobre alumínio almofadas de interligação de limpeza, e após a aquisição Akrion, Norte de limpeza CRE a linha de produto é ainda adicionado. até agora, no campo CRE Norte limpeza, foi formada para cobrir o campo aplicado ao circuito integrado semicondutor, a embalagem avançado, os dispositivos de alimentação, MEMS e iluminação de semicondutores e de lote único 12/08 polegadas Produtos para máquinas de limpeza de comprimidos.
Além da Shengmei Semiconductor e da North Huachuang, a Zhichun Technology também tem um layout em equipamentos de limpeza de semicondutores, e também é baseada na limpeza de cavidades.Para a tecnologia pura é fazer transporte de gás ultra-puro e gás químico especial. O equipamento possui certas vantagens.Em 2015, através da cooperação com fabricantes internacionais de equipamentos de limpeza, a Zhichun Technology iniciou o desenvolvimento de equipamentos de processo úmido.Em 2017, estabeleceu uma subsidiária para a Micro Semiconductor como uma divisão independente de lei de semicondutores dedicada à criação de métodos úmidos avançados. Plataforma de desenvolvimento de fabricação de equipamentos.
Até agora, puro R & D nestas áreas tem sido muito proveitosa, a empresa foi formada em 2017 calha molhar Ultron B200 e B300 equipamento de limpeza Ultron e Ultron S200 e S300 Ultron monolítico molhado linha de produtos de limpeza do equipamento, E já obteve 6 ordens de lote.
Oportunidades para fabricantes de equipamentos domésticos de limpeza
De acordo com dados semi mostram que em 2018 a China continental Fab gastos equipamentos públicos perto de US $ 12 bilhões, um aumento de 67%, superando a China Taiwan se tornar o segundo maior mercado de equipamentos de semicondutores do mundo, e em 2019, é esperado que a quantidade de aquisição de equipamentos de semicondutores na China continental para exceder Coreia do Sul ficou em primeiro lugar no mundo para US $ 18 bilhões, um aumento de 58%.
Sem dúvida, o enorme aumento nos gastos de capital das fábricas continentais trará enormes oportunidades de mercado para equipamentos produzidos internamente, e equipamentos de limpeza de semicondutores também trarão boas perspectivas de desenvolvimento.Além das oportunidades de mercado, equipamentos de limpeza de semicondutores domésticos também enfrentarão Oportunidades em tecnologia de processo avançada.
À medida que o processo do chip encolhe e a memória 2D muda para 3D, o processo de produção torna-se complicado, tornando a limpeza o passo mais repetitivo na produção de chips Além disso, o rendimento da fabricação de wafer diminuirá com a largura da linha. Uma das maneiras de aumentar o rendimento é aumentar o processo de limpeza.No processo de 80-60nm, o processo de limpeza é de cerca de 100 etapas e, no processo de 20-10nm, o processo de limpeza aumenta para mais de 200 etapas.
Embora a força dos fabricantes de equipamentos de semicondutores domésticos ainda seja muito fraca no mercado global de equipamentos de semicondutores, o caminho para o sucesso não pode ser alcançado de um dia para o outro, talvez seja um passo a passo para alcançar avanços parciais em equipamentos de limpeza. A melhor maneira para os gigantes internacionais competirem.