Les nouvelles du micro-réseau (texte / Mao Mao), dans l'industrie des semi-conducteurs, l'industrie des semi-conducteurs en amont de la chaîne industrielle joue un rôle central: sur le marché des équipements semi-conducteurs, les achats de 80% du total, l'équipement d'essai représentait environ 9%, l'équipement d'emballage environ 7%, d'autres équipements environ 4%, on peut voir que l'équipement de fabrication de plaquettes est le cœur de l'industrie des semi-conducteurs.
SEMI rapport montre que le premier trimestre de 2018, les revenus de l'équipement de fabrication de semi-conducteurs dans le monde entier de 17 milliards de dollars, soit une augmentation de 30%, atteignant un niveau record, selon la compréhension actuelle du réseau micro, équipement de fabrication de plaquettes, mais contient également huit appareils, qui sont gravés dispositif, un dispositif à film mince, l'appareil lithographique, le contrôle du procédé, l'équipement d'essai, l'implantation d'ions, le matériel de nettoyage, polissage mécano-chimique.
Le dispositif de nettoyage est une partie importante de la chaîne à travers l'industrie des semi-conducteurs, pour le nettoyage des matières premières et à chaque étape peut être présent sur les impuretés de produits semi-finis, les impuretés affectent la qualité du produit et éviter les performances des produits en aval. À l'heure actuelle, l'équipement de nettoyage de plaquettes dans l'équipement de fabrication représentant environ 5% des coûts d'achat, il est largement utilisé dans divers aspects clés du processus de fabrication de plaquette de silicium, la lithographie, la gravure, le dépôt, et analogues.
L'équipement de nettoyage de semi-conducteurs mondial est oligopolistique
L'information du public, en 2017 la taille du marché mondial des équipements de nettoyage de 2,7 milliards $, avec une augmentation du nœud de processus, la demande de matériel de nettoyage continuera d'augmenter le montant devrait atteindre 35-40000000000 $ 2020 années 2015-2020 CAGR En même temps, SEMI s'attend à ce que les compagnies de fabrication de puces de la Chine devraient dépasser la demande de 60 milliards de yuans pour le matériel de nettoyage d'ici 2020.
Selon les statistiques, le nombre de processus de nettoyage représente un tiers du processus de fabrication des puces, ce qui représente une part importante de la fabrication des puces: en supposant une capacité de production mensuelle de 100 000 DRAM, le rendement est réduit de 1%. , conduiront à une perte de 30 à 50 millions de dollars par an.Par conséquent, afin d'améliorer le rendement, les entreprises adopteront inévitablement plus de temps de nettoyage.
D'un point de vue technique, les techniques de nettoyage courantes comprennent le nettoyage à sec et le nettoyage à sec, dont plus de 90% des opérations de nettoyage sont effectuées par le nettoyage à l'eau. À l'heure actuelle, il existe des différences évidentes dans le nettoyage des équipements sur le marché Actuellement, l'équipement de nettoyage le plus important sur le marché est l'équipement de nettoyage des plaquettes, la station de nettoyage automatique et l'épurateur.
Sur l'ensemble du marché mondial des équipements de semi-conducteurs, l'ensemble de l'industrie présente une situation fortement monopolistique, forte et forte, et le matériel de nettoyage des semi-conducteurs est le même.Aujourd'hui, dans l'ensemble du marché des équipements de nettoyage, les entreprises japonaises dominent. La part est occupée par Japan Screen, 30% de la part de marché est occupée par Japan Tokyo Electron (Tokyo Electronics), d'autres fabricants incluent SEMES de Corée du Sud (beauté fine), les Etats-Unis Lam Research (Pan Lin) et ainsi de suite.
D'autre part, actuellement, dans les huit principaux équipements de fabrication de plaquettes, il existe des entreprises d'équipement domestique et, dans le cadre d'un seul équipement de procédé, peu d'entreprises nationales d'équipement se concurrencent entre elles. La localisation de l'équipement de traitement de base.En termes de matériel de nettoyage, il ya principalement Shengmei Semiconductor, North Huachuang et Zhichun Technology ont la disposition, et il y a une grande différence entre les produits des trois.
Shengmei Semiconductor est le plus fort dans l'équipement de nettoyage domestique
À l'heure actuelle, Shengmei Semiconductor, North Huachuang et Zhichun Technology sont responsables de la localisation des équipements de nettoyage, parmi lesquels Shengmei Semiconductor possède la plus forte résistance technique et peut effectuer une substitution domestique dans une plus grande partie du processus de nettoyage.
Sheng Semiconductor a été fondée en 1998, a été mis en place depuis 20 ans, et l'année dernière avec succès cotée sur le NASDAQ. Tout le long, Sheng Semiconductor principaux équipements de nettoyage simple plaquette, et a créé un nettoyage mégasonique en 2009 ( SAPS) la technologie, à un moment où Hynix est en proie à des problèmes de nettoyage de petites particules, dans lequel les possibilités, d'abord 12 pouces équipement de nettoyage à puce unique 45nm ACM pour entrer Hynix test Wuxi ligne de production, qui a commencé avec les États-Unis-Sheng Hynix Développez la coopération à long terme.
Selon le rapport de BOCI Securities, le bénéfice d'exploitation de Hynix s'élevait à 86%, 24% et 18,1% respectivement en 2015 et 2017. En 2017, Shengmei a vendu plus de 30 équipements de nettoyage, dont Hynix. Plus de 20 unités.En plus de Hynix, Shengmei est également entré dans le Yangtze River Storage, SMIC, Shanghai Huali, Changdian Technology et cinq autres clients.
D'un point technique de la force de vue, la force technique de Sheng Semiconductor a atteint 14nm, a déjà commencé et positive Dien Shi, Tokyo Electron, le Pan-Lin et d'autres entreprises à la concurrence. Il est à noter qu'en 2016, les Etats-Unis une fois créé à nouveau une puissance-Sheng choc bulle technologie de nettoyage mégasonique (TEBO). la société dispose de 22 brevets d'art, SAPS la demande de brevet d'art TEBO PCT 8.
La disposition de North Huachuang et Zhichun Technology dans le domaine de l'équipement de nettoyage
Contrairement au principal équipement de nettoyage à une seule puce de Shengmei Semiconductor, North Huachuang a réalisé la localisation de l'équipement de nettoyage par l'acquisition d'American Akrion En août 2017, North Huachuang a acquis Akrion pour 15 millions de dollars US. Entreprise spécialisée dans les équipements de nettoyage de plaquettes en Pennsylvanie, USA, principalement utilisée dans la fabrication de circuits intégrés, la fabrication de plaquettes de silicium, les MEMS et les emballages avancés. Base de clientèle, machine en ligne cumulative de plus de 1000 unités.
La machine de nettoyage à une seule puce développée par North Huachuang de 12 pouces est principalement utilisée pour le pré-nettoyage, le nettoyage régénératif, le nettoyage de l'interconnexion de cuivre et le nettoyage des tampons en aluminium dans le processus de puce de circuit intégré. Jusqu'à présent, North Huachuang a formé des lots de 8 à 12 pouces et des semi-conducteurs couvrant les semi-conducteurs dans les circuits intégrés, les emballages avancés, les dispositifs d'alimentation, les MEMS et les semi-conducteurs dans le domaine du nettoyage. Produits de nettoyage de tablettes.
En plus de Sheng Semiconductor et la CRE du Nord, pure technologie propre dans le dispositif semi-conducteur a également la distribution, et aussi à la principale cuve de lavage. La technologie elle-même est pur et gaz ultra-purs ne livraison de gaz chimique spécial, donc faire le mouillé le dispositif présente des avantages. 2015 grâce à la coopération avec les fabricants d'équipements de nettoyage internationaux, la science pure et la technologie a commencé la recherche humide du matériel de fabrication et de développement, fondé en 2017 en tant que filiale indépendante de AMEC pour mouiller la division des semi-conducteurs, engagé à créer haut de gamme humide Plateforme de développement de fabrication d'équipements.
Jusqu'à présent, pur R & D dans ces domaines a été très fructueuse, la société a été créée en 2017 creux humide Ultron B200 et le matériel de nettoyage Ultron B300 et Ultron S200 et S300 Ultron ligne de produit monolithique équipement de nettoyage humide, Et a déjà obtenu 6 commandes groupées.
Opportunités pour les fabricants d'équipement de nettoyage domestique
Selon les données SEMI montrent qu'en 2018 la partie continentale des dépenses Chine d'acquisition d'équipements Fab près de 12 milliards $, soit une hausse de 67%, dépassant la Chine Taiwan devenir le deuxième plus grand marché de l'équipement de semi-conducteurs du monde, et en 2019, le montant des achats d'équipements semi-conducteurs en Chine continentale devrait dépasser La Corée du Sud se classe au premier rang mondial avec 18 milliards de dollars, soit une augmentation de 58% en glissement annuel.
Sans aucun doute, l'énorme augmentation des dépenses en capital des usines continentales apportera d'énormes opportunités de marché pour les équipements produits dans le pays, et les équipements de nettoyage des semi-conducteurs ouvriront également de bonnes perspectives de développement. Opportunités dans la technologie de processus avancée.
Au fur et à mesure que le processus de la puce se rétrécit et que la mémoire 2D change en 3D, le processus de production devient compliqué, ce qui rend le nettoyage l'étape la plus répétitive dans la production de copeaux. Une façon d'améliorer le rendement consiste à augmenter le processus de nettoyage: dans le processus 80-60 nm, le processus de nettoyage est d'environ 100 étapes, et dans le processus 20-10 nm, le processus de nettoyage s'élève à plus de 200 étapes.
Bien que la force des fabricants d'équipements semi-conducteurs domestiques soit encore très faible sur le marché mondial des équipements semi-conducteurs, la voie du succès ne peut être atteinte du jour au lendemain.Il est possible de réaliser des percées partielles dans des domaines tels que le nettoyage des équipements. Le meilleur moyen pour les géants internationaux de rivaliser.