중국의 획기적인 칩 기술 독점 첫 사람 : 칩 전설 쓰기 위해 중국으로 돌아온 60 세

중국의 과학 기술 산업 발전에있어 반도체 칩 독립 연구 개발 (R & D)은 핵심 합의점이되었지만, 반도체 장비 업체는 14 년 전부터 중국의 과학 기술 산업 발전을 위해 열심히 노력해 왔으며 3 년 전 '플라즈마'개발에 성공했다. 에칭 기계와 그 명성 덕분에 미 상무부는이 기술을 '국가 안보 수출 통제'목록에서 제외 시켰고 이는 중국 반도체 기술 연구 및 개발 역사상 큰 승리이며 중위 반도체 (Zhongwei Semiconductor)가 이룩한 성과입니다.

AMEC은 미국 대통령 기술에 대한 전문가의 연합위원회 (PCAST)의 2017 국가는 '반도체 산업의 장기 미국의 리더십을 보장하기 위해'발표 한 최초의 회사가 월.에 투자 한 후 설립 된 국가 집적 회로 산업 자금 (대형 기금)입니다 보고서에 따르면 중국 집적 회로의 칩 설계, 제조, 장비, 재료 및 포장 산업이 분석되었으며, 32 페이지에 언급 된 중국 기업은 중 웨이 (Zhongwei, AMEC)뿐입니다.

'국내 장비 산업의 대부'음과 Zhiwei, 기업가 정신의 역사와 '중국 반도체의 아버지'장 Yujing은 매우 유사합니다

설립자 반도체 마이크로 중 하나는, 박사 Yinzhi 야오 마이크로은 현재 기업가 정신의 과정에서 국내 반도체 장비 산업의 의장 역할을하고, SMIC의 설립자 인 리처드 창은 매우 비슷한 배경을 가지고있다.

대만에서 세계 집적 회로 (WSMC)의 생성에 텍사스 ​​인스트루먼트 장뿐만 아니라, SMIC 상하이의 창조, Yinzhi 야오 마이크로 상하이에 설립 된 미국 기업의 퇴직 어플라이드 머 티어 리얼 즈에서 60 세에 있지만, 반면 지난 십일년에서 국제 기업이 성공적으로 나가 전쟁에서 법적 절차에서 세 차례에, 반도체의 역사를 중국의 전설을 기록했다.

며칠 전 DT Yinzhi 야오 6월 독점 인터뷰, 중국의 반도체 장비 기술의 우수성의 성과에 기여, 그는 여전히 겸손 세련된 문체에도 불구하고.

그림 丨 음 Zhizhen

시작과의 인터뷰에서, 그는 DT는 첫 번째 문장에 불과하다 군주하지만 그는 미국 기업 팀에서 중국으로 돌아왔다, 설립 마이크로의 사람이 아니기 때문에,이 인터뷰가 너무 개인적인 이야기를 연연하지 않았 으면 '질문'을 15명는 모두 함께 일이다, 지금까지 등, 마이크로 성공 오늘날의 글로벌 비즈니스 Zhu의 Xinping, 뒤 수영의 수석 부사장, 니켈 부사장 부사장을 포함한 회사의 모든 중요한 중추와 국가를 강화하고있다.

음과 Zhixuan 또한 Zhongwei 산업 기술 개발 및 상업 경쟁에 종사하고있다 강조했다. 그것은 정치와 전략의 높이에 그것을 제기하고 과도한 렌더링을하고 싶지 않아요.

그러나 독자가 음과 Zhizhen의 인생 이야기를 아는 경우, 그는 자신의 경력, 기업 프로세스 및 왜 중국의 반도체 산업의 발전에 무시할 수없는 중요한 표준 중 하나인지 이해할 수 있습니다.

반도체 개발은 여행, 자본, 인재와 같으며 정책은 필수 불가결합니다.

최근 몇 년 사이에 칩 산업이 종결되고 있으며 많은 사람들이 중국의 반도체 산업이 오랫동안 발전해 왔다고 말하지만 올해는 '굴곡'의 해다.

Yinzhi 야오 진지하게 중국의 반도체 산업은 여전히 ​​매우 약하다는 지적, 가장 큰 모순은 중국 기업의 규모는 2 1/10 밖에 외국 제조 업체, 외국 R & D 투자의 십분에 20 분의 1 비대칭 경쟁이다 십분의 일이 비대칭 경쟁 구도에서 그, 어떻게 성장할 수 있는가?

Yin Zhiyu는 반도체 칩 산업의 발전을 마치 여행처럼 묘사했으며, Ding은 자본, 재능 및 정책이라는 세 가지 다리를 가지고 있으며, 3 개의 다리가 강하고 균형 잡힌 한 업계의 삼각대가 성공적으로 출시 될 것입니다. 몰려 드는 상황은 매우 좋지만 세 가지 심각한 불균형이있는 것 같습니다 : 자금이 풍부하고 재능이 심각하게 부족하며 산업 발전을 촉진하는 정책이 더 개선되고 업그레이드되어야합니다.

칩 제조에서 자본 축적이 파, 90 % 이상의 총 투자, 장비 및 재료의 다음 필드는 5 %, 심각한 불균형을 차지 투자를 공유하지, 칩 제조 공장의 비용의 80 %를 차지했다.

SEMI 통계에 따르면 2017 년 세계 반도체 매출액의 15 %를 차지한 중국은 2019 년 세계 2 위로 부상 할 것으로 예상되지만 중국의 자국 IC 장비 자체 생산 비율은 5 % 미만으로 거인들 사이에서 여전히 고심하고있다. .

또 다른 문제는 자본 투자의 거의 대부분이 자기 자본이지만 장기 저리 융자와 R & D 프로젝트 자금이 부족하다는 것이다. 단순한 자기 자본이 칩 생산 라인에 투입되어 기대 수익을 달성 할 수 없다.

정책, 투자 및 자금 조달 정책에서 소득세, 수출입, 노동법, 산업 연계 지방화, 종업원 인센티브 및 IPO 상장 정책을 적절히 조정할 필요가있다. 많은 관련 정책은 개혁 개방 초기부터 기술 도입을 촉진하는 것이다. , 처리의 준비, 그리고 지금 완전히 다시 검토해야합니다.

Yin Zhiwei는 이러한 세 가지 불균형을 신속하게 해결할 수 있다면 국내 반도체 칩 산업은 빠른 속도로 건강과 균형을 이루게 될 것이라고 강조했다.

반도체의 주요 장비는 '리소그래피 장비'뿐 아니라 7 나노 미터 이하의 '플라즈마 에칭 장비'에 대한 수요가 급속히 증가하고 있습니다.

Micro-Semiconductor는 플라즈마 에칭 장비 및 화학 필름 장비 공급 업체 인 칩 생산에서 가장 중요한 장비입니다.

1950 년대 128K 튜브 컴퓨터에서 1980 년대 128K 메모리 장치에 이르기까지 2015 년에 128G 플래시에 이르기까지 반도체 업계의 발전을 살펴보면 인간의 미세 처리 기능은 1 조 배나 줄어들었다. 50 년 전 오늘날의 휴대폰을 다시 돌려 받으면 튜브로 가득 찬 5 층짜리 건물 200 만 개에 해당합니다.

마이크로 프로세싱 능력 실현의 열쇠는 열 공정, 리소 (Litho), 플라즈마 에칭 (Etch), 화학 기상 증착 (CVD), 물리적 스퍼터링과 같은 칩 제조 공정의 10 가지 핵심 프로세스에서 비롯됩니다. (PVD), 이온 주입 (이온 주입), 화학적 기계적 연마 (CMP), 세정 등이있다. 이러한 공정에 속하는 장치는 확산로, 리소그래피 기계, 플라즈마 에칭 기계, 화학 기상 증착 장비, 물리적 스퍼터링 장비이다. , 이온 주입기, 화학 연마기 및 세탁기.

일반적으로 반도체 장비의 경우, 리소그래피 기계가있는 것처럼 가장 먼저 떠오르는 것은 리소그래피 기계가있는 것처럼 모든 칩 제조 문제가 해결되지만 칩 제조 공정은 극도로 복잡하고 리소그래피 기계 만 생산을 완료 할 수 없습니다. 웨이퍼.

칩 제조에는 리소그래피 (lithography), 플라즈마 에칭 (plasma etching), 화학 기상 증착 (chemical vapor deposition) 등 3 가지 가장 중요한 프로그램이 있으며, 웨이퍼 제조 과정에서 반복되고, 디바이스의 출력 값도 가장 높다. 기술은 기술적으로 가장 어려운 장치이며, 플라즈마 에칭의 어려움은 수천 개의 공정을 개발하는 어려움에서 비롯됩니다.

14 nm의 이중 (더블 패터닝) 노광 기술에 템플릿을 필요 10 개 나노 구조의 폭의 요구 사항을 충족시키기 위해 통합 설계 및 다량으로 막을 에칭에 대한 요구, 이러한 추세에 반도체 공정 기술 그것은 에칭 기계와 화학 필름의 조합이 칩 제조 공정에서 중요한 단계가되도록합니다.

또한 2D NAND를 3D NAND 기술로 발전 시킴에 따라 리소그래피에 대한 수요가 줄어들 었으며 에칭 및 화학 필름에 대한 수요가 증가하여이 두 디바이스를 시장에서 가장 빠르게 성장하는 제품으로 만들었습니다. 이 중 연간 성장률은 16 % 이상이며, 그 중 플라즈마 에칭은 총 장비 투자의 22 %를 차지하고 공식적으로 리소그래피 장비를 능가합니다.

중국의 우화 우화는 인민 Zhizhen이 외국 기업들이 나머지 평생 동안 결혼하는 것을 돕지 않으려 고합니다.

올해에 대해 이야기하는 것은 자신의 기술 장비를 만드는 중국의 반도체 산업을위한 마이크로 역사의 창조에 참여, Yinzhi 야오 업계를 입력 믿고, 옵션 시장 세그먼트를 선택하는 것이 중요 기계를 식각하여, 높은 성장 시장 트랙 이상의 연간 수요이다 $ (7) 억 2025하여이 시장을 위해 $ 150 억에이를 것으로 예상되고, 마이크로 적 상승의 자연 성장.

AMEC은 현재 TSMC, 인텔, UMC 등 국제 고객의 번호로, 상위 5 개 글로벌 업체로 짜내는 어플라이드 머 티어 리얼 즈, Fanlin 연구 개발 (램 리서치 (Lam Research)), 일본 TEL 외국 독점 에칭 시장 장벽 돌파했다 글로벌 파운드, SMIC, 아 리 장강 저장 보쉬 및 마이크로 일렉트로닉스 (40)의 생산 라인.

Yinzhi 야오, 연구용 원자로 미국에서 중국 과학 아카데미 박사 학위를 취득 후, 인텔에서 근무하고있다 석유 화학에서 촉매와 산업 생산에 종사, 미국 1980 년 전에 50 년 동안 물리 화학 원자로의 분야에 최선을 다하고 있습니다 Pan-Ran Development, Applied Materials 및 기타 국제 반도체 제조업체들과 협력하고 있습니다.

십사년 전에, 어플라이드 머 티어 리얼 즈에서 은퇴 중국 Yinzhi 야오는 좌석 팹 꼬셔보고, 마음이 생명 'Weirenzuojia'느낌 아시아 반도체 빠르게, 중국 더 큰 변화를 개발 배울 내키지입니다, 이들 중 12 명 이상이 중국으로 돌아와 새로운 중국 IC 산업에 기여하기로 결정했습니다.

큰 고래에 작은 새우, 3 개의 국제적인 큰 공장 특허, 큰 칼은 모든 기적을 자른다

차이나 마이크로의 중국 반도체 업계 전설은 핵심 기술의 독점에 대한 획기적인 발판 일뿐만 아니라 14 년간의 사업 기간 동안 '작은 새우'형태의 대형 고래에 대한 대규모 특허 침해 소송에 의해 공격 받았다. 능동태에 수동적이고, 천하무적 인, 또한 전설이다.

그 해 Weigang이 개발 한 식각 기계가 세계에서 가장 발전된 파운드리 생산 라인에 진입하려고했던 2007 년으로 돌아온 그의 오래된 클럽은 도둑이 있다고 믿었습니다. 미국 연방 법원에도 마찬가지였습니다. 소송을 제기하십시오.

자신의 결백을 증명하기 위해, 마이크로은 600 개 이상의 만 개 문서와 30 개 이상의 컴퓨터와 문서를 찾을한다, 마이크로의 철저한 조사를 미국에게 최고의 지적 재산권 소송 변호사를 고용 2 년 반 동안 자료의 도면, 기술 데이터 및 영업 비밀, 소송은 마침내 화해했습니다.

그는 다시 중국 사업에 미국에서 그의 동료는, 미국 당국이 육백 만 모든 파일을 압수 컴퓨터의 재고가있을 때 특히 DT Yinzhi 야오 월에,이 역사의 말하기, 나중에 인터넷에서보고는, 인터넷에서 강조 거짓 보고서의 렌더링은 불필요하게 다른 수준으로 비즈니스 경쟁을 유발하는 부작용입니다.

Zhongwei와 Yingcai의 소송이 해결되지 않았 으면 다른 미국 경쟁자 인 Fanlin R & D가 China Micro로 향했습니다.

마이크로. Yinzhi 야오에 대해 대만 특허 침해 소송에서 2009 년 Fanlin R & D는 회사가 연구에 서로의 특허를 설립 한 특허는 특허의 상대가 유효한 경우에도 무효 확인 될 때 ​​말했다, 마이크로 디자인은 동일하지 않습니다 또한 특허를 침해하지 않았다.

소송은 여덟 개 이상의 개월, 첫 번째 인스턴스에서 승리 마이크로은 다른 네 항소 법원에 의해 거부되었다.이 과정에서, 마이크로 다른 기술 문서는 기밀 마이크로을 훔치는 것을 더 결정적인 증거를 파악 상해에서 법원에 소송의 최종 승리라고 말했습니다.

세 번째 특허 소송은 치열 해졌고, 중 웨이 제품은 일단 금지되었습니다.

여기에서 볼 수 있듯이 차이나 마이크로의 기업가 적 과정이 모두 큰 아이들에게 진행되고 있음을 알 수 있으며, 2017 년 LED 장비 제조업체 인 Veeco는 뉴욕 지방 법원에서 MOCVD 흑연 팔레트 공급 업체를 고소했습니다. 중 웨이 (Zhongwei)에 공급 된 흑연 팔레트는 Veeco의 특허를 침해했으며, 중 웨이 (Zhongwei)는 즉시 Veeco의 특허에 대한 중국 특허청 및 기타 국가 특허의 특허를 반박하고 반격했다.

흑연 디스크는 소모품이기 때문에 그러나 미국 법원에서이 여전히 미국은 흑연 트레이에 첫 출하 금지에 발표 마이크로 디자인 침해 여부, Veeco의 특허가 유효 보류, 그래서 마이크로 공급을받을 수 없습니다 이 변화로 인해 중소형 MOCVD 장비를 사용하는 LED 고객의 생산이 거의 중단되었습니다.

의 Veeco의 특허의 승인을 위해 제출 한 마이크로 후 복건, 금지를 구현 Veeco의 MOCVD 장비 출하량 중국의 수입의 마지막 복건 고등 법원에 무효 소송을 제기의 Veeco 트레이 잠금 디자인 침해 법원, 행동의 일련의 Veeco은 타협을했습니다 China Micro와의 화해 협상 외에도 관련 소송 철회 외에도 China Micro와 흑연 팔레트 특허를 공유하기로했다.

국내 MOCVD 장비 시장 점유율 70 %, 국내 장비의 또 다른 기적

MOCVD 장비의 개발에 관해서는, 국내 시장 점유율에 대량 생산은 수천명의 군대를 휩쓸고 중국과 미국의 또 하나의 긍지입니다.

2009 년에는 청색 LED 붐이 글로벌 시장을 강타했으며 정부는 LED 업체들에게 보조금을 지급하고 LED 생산 라인 설립을 장려했는데 당시 MOCVD 장비 시장은 Veeco와 Aixtron 두 외국 회사가 주도했다.

2009 년과 2010 년 사이에 중국의 54 개 기업과 연구 기관에서 MOCVD 장비를 개발할 계획이며,이 열정의 물결을 이용하기를 원합니다. 적어도 25 명이 개발을 시작했지만 7 년 후 실제 금액 Zhongwei 가족 만 생산됩니다.

2016 년 이래로 China Micro는 원래 미국과 독일에 의해 통제 된 산업을 대체하여 불과 18 개월 만에 중국의 MOCVD 장비 시장에 70 % 이상을 투자했으며 엄청난 승리를 거두었습니다!

기적은 어떻게 만들어 졌습니까? Yin Zhiwei는 우리가 MOCVD 기계를 만들기 위해 최고 수준의 반도체 기술을 사용한다고 말했고이 제품은 Micron이 수행 한 CVD 기술과 매우 유사합니다. 다른 회사는 '프로토 타입'을 만들 수 있지만 프로토 타입은 장치 개발의 20 %를 완료하십시오.

국제 대형 공장의 침해 소송에서 세 번, 두 번째, 전신 퇴각, 단계로 강해, 더 강렬, 음과 Zhizhen은 지적 재산권에 중요성을 첨부 중요성을 강조합니다.

글로벌 비즈니스를 수행하려면 국가 법을 존중하고 지적 재산권을 존중해야합니다.

그의 초기 몇 년 동안 매우 심각한되어, 미국의 대기업에서 일하는 모든 경력 전환을 치료 절대적으로 어떤 특허를 침해하지 않을 것이다, 새로운 회사에 어떤 정보를 전달하지 않는다, 이것은 또한 그는 집적 회로 강조 마이크로 가입을 모든 직원이 필요 중국을 준수해야합니다 업계를 입력 할 수있는 국제 산업이며, 미국은 제재 조치가 불법이 있다면, 우리는 정치적 수준이 과장 한 수, 글로벌 사업을 할, 법을 준수해야합니다.

Yinzhi 야오 중국 사람들이 한 노력이 만들어 질 것 같이, 집적 회로에 대한 어떤 재능을 가지고 있지만 프로세스가 추가 뒤에 지적 재산권에 대한 존경, 수십 년 아래 산업 개발, 앞에왔다 선행 연구의 R & D 결과를 많이해야한다고 생각 사람들은 그들의 전임자로부터 배울 수 있지만, 우회, 또는 지불하는 로열티을 위해, 다른 사람의 지적 재산권을 존중해야합니다.

2012 년부터 마이크로 지난 6 년간의 연간 매출 성장은 마이크로 미래의 기대에 50 % 이상, Yinzhi 야오가 2028 년 희망을 표현 지난 2 년 동안 상위 및 하위 35 %의 연간 매출 성장을 유지하고있다 매출 규모면에서 국제 공정 장비 회사의 상위 5 개 회사에 1백억위안에 도달했습니다.

Yin Zhiwei는 집적 회로가 세계화 된 산업이며 어느 한 국가에서 독점적으로 산업으로 탈바꿈 할 수는 없다고 강조하면서 최근 수십 년 동안 기술 개발과 칩 및 반도체 장비 산업의 대규모 생산이 아시아로 확대되었음을 부인할 수 없습니다. 집적 회로 산업의 부상은 일본, 한국 및 대만의 발전 이후에 발생할 것입니다. 아무도 이러한 경향을 막을 수 없습니다.

인첸 지젠 (Yin Zhizhen)이 말했듯이 중국의 IC 산업의 탈출은 역사적인 필요성이며 아무런 힘도 멈추지 않는 추세이지만 국제 산업이기 때문에 개방적이어야하며 어떤 사람들과 같아서는 안됩니다. 산업의 건전한 발전을 보호하기 위해 지적 재산권에 세심한주의를 기울여야하며, 중국의 집적 회로 산업은 진정으로 국제 시장과 연결되어 세계 선진 수준을 따라 잡을 수 있습니다.

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