Première personne à la première personne de la technologie des puces: 60 ans retournant en Chine pour écrire une légende de la puce

La puce indépendante des semi-conducteurs est devenue un consensus clé dans le développement de l'industrie scientifique et technologique chinoise, mais une entreprise de semi-conducteurs travaille depuis 14 ans au développement de l'industrie scientifique et technologique chinoise et a réussi à développer le "plasma" il y a trois ans. La machine de gravure et sa réputation ont fait que le département du Commerce des États-Unis a retiré la technologie de la liste des «contrôles d'exportation de sécurité nationale», une grande victoire dans l'histoire de la recherche et du développement technologique des semi-conducteurs en Chine.

AMEC est un fonds de l'industrie des circuits intégrés nationaux (grand fonds) a été créé après la première entreprise à investir. En Janvier 2017 Etat du Comité Union d'experts sur la technologie présidentielle aux États-Unis (PCAST) a publié « pour assurer la direction des États-Unis à long terme dans l'industrie des semi-conducteurs » rapport, la conception de puce d'analyse, la fabrication, l'équipement, les matériaux et l'industrie de l'emballage de circuit intégré Chine, le nom de la société chinoise dans le rapport de 32 pages est la seule mention dans le micro (AMEC).

« Parrain de l'industrie de l'équipement domestique » Yinzhi Yao, l'histoire des affaires et le « père du semi-conducteur chinois » est très similaire à Richard Chang

En tant que l'un des fondateurs de Zhongwei Semiconductor, le Dr Yin Zhiwei, actuellement président de China Micro, est en train de lancer une entreprise dans l'industrie nationale des semi-conducteurs et a des antécédents très similaires avec le fondateur de SMIC, Zhang Yujing.

Zhang Yujing a fondé Shida Integrated Circuit (WSMC) de Texas Instruments aux États-Unis et SMIC à Shanghai.Yin Zhiyi a été retiré du matériel de demande américain à l'âge de 60 ans et est allé à Shanghai pour établir Zhongwei, et au cours des 11 dernières années. Dans les trois tours de procédures judiciaires contre les grandes entreprises internationales, il a pris sa retraite avec succès et mis une page légendaire dans l'histoire du développement des semi-conducteurs chinois.

DT Jun interview exclusive avec Yin Zhizhen, même s'il a contribué à l'excellence de la technologie de l'équipement semi-conducteur de la Chine, il est encore un style modeste et littéraire.

Figure 丨 Yin Zhizhen

Au début de l'interview, la première phrase de son '嘱咐' DT Jun n'était rien d'autre.J'espère que cette interview ne devrait pas être trop personnelle, car Zhongwei n'a pas été fondée par lui seul, et l'équipe entrepreneuriale qui est revenue en Chine des Etats-Unis. Il y a 15 personnes, et elles sont toujours des piliers importants de l'entreprise, dont Zhu Xinping, vice-président des affaires mondiales, Du Zhiyou, vice-président principal, Ni Tuqiang, vice-général, etc.

Yin Zhixuan a également souligné que Zhongwei est engagé dans le développement de la technologie industrielle et la concurrence commerciale, il ne veut pas l'élever au sommet de la politique et de la stratégie et faire un rendu excessif.

Cependant, si le lecteur connaît l'histoire de la vie de Yin Zhizhen, il peut comprendre sa carrière, le processus entrepreneurial, et pourquoi c'est l'une des normes importantes qui ne peuvent être ignorées dans le développement de l'industrie des semi-conducteurs en Chine.

Le développement des semi-conducteurs est comme un voyage, le capital, le talent, la politique est indispensable

Au cours des dernières années, l'industrie des puces est sur le point de devenir beaucoup de gens disent que l'industrie des semi-conducteurs de la Chine se développe depuis longtemps, mais cette année est une année de «bobinage».

Les remarques de Yin Zhi soulignent que l'industrie chinoise des semi-conducteurs est encore très faible, la plus grande contradiction étant la concurrence asymétrique: les entreprises chinoises représentent un dixième à un vingtième de celles des entreprises à capitaux étrangers. Un dixième, comment peut-il grandir et se développer dans cette situation concurrentielle asymétrique?

Yin Zhiyu a décrit le développement de l'industrie des puces semi-conductrices comme un voyage: Ding a trois piliers: le capital, les talents et les politiques: tant que les trois jambes sont solides et équilibrées, le trépied de l'industrie sera lancé avec succès. Le flocage, il semble que la situation soit très bonne, mais il y a trois sérieux déséquilibres: les fonds sont importants, les talents sont sérieusement insuffisants et les politiques de développement industriel doivent être encore améliorées et améliorées.

Cette vague de fonds est concentrée dans la fabrication de puces, représentant plus de 90% de l'investissement total, mais les équipements et matériaux représentent 80% du coût des usines de fabrication de puces et la part d'investissement est inférieure à 5%, ce qui constitue un sérieux déséquilibre.

Selon les statistiques SEMI, en 2017 la Chine a représenté 15% des ventes de semi-conducteurs mondiaux, se classant troisième dans le monde, devrait grimper à la deuxième dans le monde en 2019, mais l'équipement IC intérieur chinois taux maison est inférieur à 5%, est encore aux prises entre les géants .

Un autre problème est que la quasi-totalité des fonds sont investis des fonds propres, mais le manque de prêts à faible taux d'intérêt à long terme et le financement des projets de R & D, l'investissement en capital pur actions dans les lignes de production de puces, ne peut pas atteindre les rendements attendus.

En termes de politiques, les politiques d'investissement et de financement, l'impôt sur le revenu, l'importation et l'exportation, le droit du travail, la localisation de la chaîne industrielle, les incitations d'employés et les politiques d'introduction en bourse doivent être correctement ajustés. , la préparation du traitement, et devrait maintenant être entièrement réexaminée.

Yin Zhiwei a souligné que si ces trois déséquilibres peuvent être rapidement résolus, l'industrie nationale des puces à semi-conducteurs se développera à grande vitesse, santé et équilibre.

L'équipement clé des semi-conducteurs n'est pas seulement «machine lithographique», la demande pour «machine de gravure au plasma» en dessous de 7 nanomètres est en croissance rapide.

Micro-Semiconductor est l'équipement le plus critique dans la production de puces: fournisseur de machine de gravure plasma et équipement de film chimique.

Observant l'évolution de l'industrie des semi-conducteurs, de l'ordinateur 128K dans les années 1950 à l'appareil de mémoire de 128K dans les années 1980, au Flash 128G en 2015, la capacité de traitement de l'homme a diminué d'un billion de fois. Si vous retournez le téléphone mobile d'aujourd'hui il y a 50 ans, cela équivaut à 2 millions de bâtiments de cinq étages remplis de tubes.

La clé de la réalisation de la capacité de micro-traitement provient de près de dix processus clés dans le processus de fabrication des puces, à savoir le procédé thermique, Litho, gravure plasma (Etch), dépôt chimique en phase vapeur (CVD), pulvérisation physique. Membrane (PVD), implantation ionique (Ion Implant), polissage mécano-chimique (CMP), nettoyage, etc. Les appareils appartenant à ces procédures sont les fours à diffusion, les machines de lithographie, les machines de gravure plasma, les équipements de dépôt chimique en phase vapeur. , implanteurs ioniques, polissoirs chimiques et machines à laver.

D'une manière générale, l'équipement de semi-conducteurs est la machine à lithographie, comme s'il y avait une machine de lithographie, tous les problèmes de fabrication des puces sont résolus, mais le processus de fabrication des puces est extrêmement compliqué et seule la machine de lithographie ne peut terminer la production. Wafer.

Dans la fabrication de la puce, il y a trois des procédures les plus critiques sont la lithographie, la gravure par plasma, dépôt chimique en phase vapeur, le processus se répète le cycle de fabrication de plaquettes, les dispositifs sur une extension de la valeur de sortie maximale. Si, à la difficulté, la lithographie équipements techniques sont les plus hauts obstacles techniques, et la difficulté de gravure par plasma est difficile de milliers de développement de processus.

La technologie de traitement de semi-conducteur à 14 nm, 10 structures nm requises modèle dans la double technologie d'exposition (Double Patterning), la demande pour la conception intégrée et graver le film en une grande quantité, afin de répondre aux exigences d'une plus petite largeur, cette tendance laissant un aquafortiste du portefeuille et le processus de fabrication de puces de film chimique devient étape clé plus importante.

De plus, l'évolution de la technologie 2D NAND vers la technologie 3D NAND a également réduit la demande de lithographie, et la demande de gravure et de film chimique a augmenté, faisant de ces deux appareils le produit à la croissance la plus rapide du marché. Le taux de croissance annuel est supérieur à 16%, parmi lesquels la gravure plasma représente 22% de l'investissement total en équipement et dépasse officiellement la machine lithographique.

Les fables chinoises font que Yin Zhizhen ne veut pas aider les sociétés étrangères à se marier pour le reste de leur vie.

Parler de l'année à se joindre à la création de micro-histoire pour l'industrie des semi-conducteurs chinois pour créer son propre équipement technologique, Yinzhi Yao croit entrer dans une industrie, il est important de choisir les options segments de marché, la machine de gravure est sur la piste de marché à forte croissance, la demande annuelle de plus de 7 milliards $, et en 2025, il devrait atteindre 15 milliards $ pour faire le marché, la croissance naturelle de la micro-jamais vers le haut.

AMEC a actuellement complété par Applied Materials, recherche et développement Fanlin (Lam Research), le Japon TEL monopole étranger obstacles au marché du aquafortiste, de se faufiler dans les cinq premiers fournisseurs mondiaux, dans un certain nombre de clients internationaux, y compris TSMC, Intel, UMC, GlobalFoundries, SMIC, Hua Li, stockage Yangtze, Bosch et STMicroelectronics 40 lignes de production.

Yinzhi Yao est engagée dans le domaine des réacteurs de chimie physique pendant 50 ans avant 1980 aux États-Unis, engagés dans des réacteurs de recherche et de catalyseur et la production industrielle dans la pétrochimie et de l'Académie chinoise des sciences aux Etats-Unis après l'obtention d'un doctorat, a travaillé chez Intel, les fabricants de semi-conducteurs de développement international Fanlin, matériaux d'application.

il y a 14 ans, retraité de la Chine Applied Materials Yinzhi Yao avait l'air un siège Sprung fabuleux, le cœur ne veut pas apprendre la vie « Weirenzuojia » sentir semi-conducteurs d'Asie développée rapidement, la Chine plus grand changement, ils douzaine de personnes résolument déterminés à rentrer chez eux, comme la montée de l'industrie de la Chine IC à contribuer.

Sur les grandes baleines Crevettes, trois grandes entreprises internationales de brevet ont un coup de couteau à un miracle pour sortir

légende micro dans l'industrie des semi-conducteurs de la Chine, non seulement de briser le monopole des technologies clés, ses activités il y a 14 ans, avec la posture «Crevettes de face trois fois une « baleine » d'une action en contrefaçon de brevet à une grande épée, tous deux miraculeusement Passif à actif, a été invincible, est aussi une légende.

Le temps est revenu en 2007, quand la machine de gravure développée par Weigang cette année-là était sur le point d'entrer dans la ligne de production de fonderie la plus avancée au monde, son ancien club croyait qu'il y avait un voleur, donc au tribunal fédéral américain. Déposer une plainte.

Afin de prouver son innocence, Zhongwei a embauché un avocat spécialisé en litige de propriété intellectuelle aux États-Unis, qui a mis deux ans et demi pour enquêter de manière approfondie sur plus de 6 millions de documents et plus de 30 ordinateurs et documents. Les dessins, les données techniques et les secrets commerciaux des matériaux, le procès a finalement été réconcilié.

Parlant de cette histoire, et plus tard sur Internet, Yin Zhizhen a surtout souligné avec DT Jun qu'en ligne et ses collègues sont rentrés en Chine des Etats-Unis la même année, l'ordinateur a été inspecté par les autorités américaines, et les 6 millions de documents ont été confisqués. Le rendu de faux rapports est un effet secondaire de l'augmentation inutilement de la concurrence commerciale à d'autres niveaux.

Avant que le procès de Zhongwei et Yingcai n'ait été réglé, un autre concurrent américain: Fanlin R & D s'est tourné vers China Micro.

En 2009, Panlin R & D a intenté une action en contrefaçon de brevet à Zhongwei à Taiwan. Yin Zhisheng a déclaré que lorsque la société a été fondée, elle a examiné le brevet de l'autre partie et confirmé que son brevet était invalide. , n'a pas non plus enfreint ses brevets.

Après seulement huit mois de procès, Zhongwei a remporté le premier procès, et l'appel de l'autre partie a été rejeté quatre fois par le tribunal, ce qui montre que l'autre partie a volé les documents techniques du média et de la micro-confiance. Et a déclaré à la cour à Shanghai que la victoire finale dans le procès.

Le troisième litige de brevet est devenu féroce, et une fois que les produits de Zhongwei ont été soumis à un embargo.

Voyant ici, vous pouvez savoir que le processus entrepreneurial de China Micro est tout le long du chemin vers les grands enfants et, en 2017, le fabricant d'équipements LED Veeco poursuit le fournisseur de palettes en graphite MOCVD au tribunal de New York. Les palettes de graphite fournies à Zhongwei ont violé les brevets de Veeco, et Zhongwei a également immédiatement pris des contre-mesures et contre-attaqué les brevets de l'Office chinois des brevets et d'autres autorités nationales de brevets contre les brevets de Veeco.

Mais devant les tribunaux des États-Unis est toujours en instance de brevet Veeco est valide, si la violation micro-conception, les États-Unis ont annoncé la première interdiction de l'expédition sur des plateaux de graphite, de sorte que le micro ne peut pas obtenir l'offre, car le disque en graphite est un consommable, ce LED passe permettent aux clients d'utiliser l'équipement de micro-MOCVD est presque interrompu.

Après les micro soumis à l'approbation du brevet de Veeco est invalide et a poursuivi la cour d'infraction de conception de verrouillage du plateau Veeco dans le Fujian, la Haute Cour du Fujian dernière des importations chinoises de livraisons de matériel Veeco MOCVD mettre en œuvre l'interdiction, une série d'actions Veeco a dû faire des compromis et d'autres pourparlers de réconciliation avec le micro, en plus des litiges liés à la révocation, mais en outre convenu de partager les brevets et plateau micro graphite.

Seulement 18 mois pour enlever l'équipement domestique MOCVD 70% de part de marché, un autre miracle de l'équipement domestique

Quand il s'agit du développement de l'équipement MOCVD, la production de masse à la part de marché domestique balaie des milliers de troupes, est une autre fierté de la Chine et des États-Unis.

Le boom LED bleu a frappé le marché mondial en 2009. Le gouvernement a subventionné les entreprises LED et a encouragé l'implantation de lignes de production de LED, alors que le marché des équipements MOCVD était dominé par les deux sociétés étrangères Veeco et Aixtron en Allemagne.

Entre 2009 et 2010, pas moins de 54 entreprises et instituts de recherche en Chine prévoient de développer des équipements MOCVD, et ils veulent profiter de cette vague d'enthousiasme: au moins 25 d'entre eux ont commencé le développement, mais après 7 ans, le montant réel Seule la famille Zhongwei est produite.

Depuis 2016, le micro avec seulement 18 mois pour gagner plus de 70% du marché en Chine MOCVD marché de l'équipement, en remplacement de l'original des États-Unis, l'Allemagne et le contrôle à long terme de l'équipement industriel, la pose incroyable victoire!

Comment est le miracle de la création? Yinzhi Yao a dit, nous faisons la machine MOCVD avec le plus haut niveau de la technologie des semi-conducteurs, ainsi que les produits et la technologie dans les micro-CVD a fait est très similaire avec une autre société peut faire un « prototype », mais seulement prototype 20% le développement complet de l'appareil.

Trois sociétés internationales prises dans la procédure micro-contrefaçon, les temps et sortir, étape par étape, plus la guerre du Vietnam, Yinzhi Yao a souligné l'importance sérieusement les droits de propriété intellectuelle.

Pour faire des affaires mondiales doivent respecter les lois nationales, le respect des droits de propriété intellectuelle

Il a travaillé très tôt pour l'entreprise américaine, il a pris très au sérieux chaque changement de carrière, il n'a transmis aucune information à la nouvelle société et n'a jamais enfreint aucun brevet, il a également exigé que tous les employés rejoignent l'entreprise. C'est une industrie internationale: pour entrer dans cette industrie, nous devons respecter la Chine et nous devons respecter les lois des États-Unis pour être une entreprise mondiale.Si nous sommes sanctionnés en violation de la loi, nous ne devons pas limiter cela au niveau politique.

Yin Zhizhen croit que les Chinois ont un certain talent pour les circuits intégrés: tant que les efforts sont faits, le processus doit respecter les droits de propriété intellectuelle Après des décennies de développement industriel, beaucoup de développements technologiques des prédécesseurs ont été à l'avant. Il est impossible pour les gens de ne pas apprendre de leurs prédécesseurs, mais ils doivent respecter les droits de propriété intellectuelle des autres, détourner ou payer des redevances.

Depuis 2012, le taux de croissance annuel des revenus de Zhongwei est resté à 35% au cours des six dernières années et la croissance annuelle des revenus de ces deux années est supérieure à 50. Pour l'avenir de la Chine et des États-Unis, Yin Zhisheng espère Atteignant 10 milliards de yuans de chiffre d'affaires, il est entré dans les cinq premières entreprises internationales de matériel de traitement à grande échelle.

Yin Zhiwei a souligné que les circuits intégrés sont une industrie mondialisée et ne peuvent être transformés en une industrie monopolisée par un seul pays.Il est indéniable qu'au cours des dernières décennies, le développement technologique et la production à grande échelle de puces et d'équipements semi-conducteurs se sont étendus en Asie. L'essor de l'industrie des circuits intégrés ne peut que se produire après le développement du Japon, de la Corée du Sud et de Taïwan.

Comme l'a dit Yin Zhizhen, le démarrage de l'industrie chinoise des circuits intégrés est une nécessité historique et c'est une tendance qu'aucun pouvoir ne peut arrêter, mais il s'agit d'une industrie internationale qui doit être ouverte et ne doit pas être comme certaines personnes. Il est nécessaire d'accorder une attention particulière aux droits de propriété intellectuelle afin de protéger le développement sain de l'industrie, ce qui permettra à l'industrie des circuits intégrés de la Chine de se connecter véritablement au marché international et de rattraper le niveau mondial.

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