В настоящее время производство еще не интегральная схема вафель 12 дюймов, 12 дюймов поликристаллический кремний полностью монополизирован иностранным электронный класс, 8 дюймов и ниже полупроводниковый кремний электронного класса поликремнии была достигнуто на внутреннем рынке. Желтая река Гидроэлектроэнергия поликремния была полностью удовлетворяет 8-дюймовые полированное Лист, требования к производству эпитаксиальных вафель, и был постоянно и неуклонно применен на 8-дюймовой производственной линии в Чжэцзян Jinruiqi с августа 2016 года. Использование превысило 600 тонн. Кроме того, China Silicon Hi-tech, Jiangsu Xinhua, Yichang CSG, Yunye все основные внешние распространения информации, электронный поликремния класса или проводить исследования, или для электронного класса поликремнии промышленности, которая показывает, что Китай электронного класса поликремния постепенная реализация широкого спектра приложений как раз за углом. к тому времени, с локализацией возможность поставок продолжает улучшаться, высокое качество Китая Ситуация о том, что поликремний сильно зависит от импорта, будет ослаблена.
Многие из них, в основном в следующих аспектах на основе технических трудностей, требования к чистоте поликристаллического кремния электронного продукта класса выше, и чем выше чистота, тем выше производственный процесс и очистки трудно контролировать примеси, электронное производство поликремнии класса необходимо преодолеть:
Прежде всего, необходимо использовать производственное оборудование и трубопроводы с контролируемыми примесями, а процесс установки строительного оборудования должен быть строго очищен для контроля чистоты производственной системы. Необходимо контролировать загрязнение производственной системы с начала строительства оборудования. Во-вторых, необработанные и вспомогательные материалы должны быть строго экранированы. Материалы, включая кремниевый порошок, водород, силиконовый сердечник, чистую воду, вспомогательный газ и т. Д., Контролируют содержание сырья в примесях в разумном диапазоне и устанавливают полную систему контроля качества сырья для предотвращения аномальных колебаний качества.
В-третьих, должны выполняться строгие операции чистоты, включая установку редукционной печи, сборку кремниевых стержней, дробление, очистку, сортировку и упаковку и т. Д., Для контроля за антропогенным и загрязнением окружающей среды, а также для контроля чистоты процесса обслуживания, чтобы предотвратить загрязнение производственной системы из-за технического обслуживания. ,
Наконец, мы должны создать систему контроля качества и контроля над сырьевыми и вспомогательными материалами, промежуточными продуктами, производственными операциями, контролем параметров процесса, последующей обработкой продукции и т. Д., А также испытательной лабораторией, которая соответствует стандартам SIMI, чтобы обеспечить контроль качества каждой линии связи. В управлении.