電子グレードのポリシリコン製造は多くの技術的困難を克服する必要があります

現在、世界的な電子グレードのポリシリコンを主ワッカー、韓国OCI、米国ヘムロック、REC、日本のトクヤマ、6メーカー三菱、米国ヘムロックについて9000トン、ドイツワッカー約6,000トンで、日本トクヤマについて5500トンで供給され、日本の住友は約1,500トン、日本と米国の三菱は約2,500トン、RECは約1300トンです。

現在、生産はまだ国内で達成された回路ウェーハに12インチ、多結晶シリコンが完全に外国電子グレードによって独占さ12インチ、8インチ半導体シリコン電子グレードのポリシリコンの下に統合されていません。黄河水力ポリシリコンは、8インチのポリッシュを満たす十分にされていますタブレット、ウェーハ製造要件、および2016年8月に浙江省Jinrui香港に継続的に安定して生産ラインのアプリケーションでは8インチ以上の600トンの量を持っている。加えて、シリコン技術を、江蘇省新華、宜昌CSG、Yunyeすべてのコアの外部情報の普及、電子グレードのポリシリコンや研究を行う、または角を曲がったところに用途の広い範囲の中国は電子グレードのポリシリコンプログレッシブ実現することを示している電子グレードのポリシリコン業界のため。その後で、ローカライズ供給能力を向上させるために続けて、中国の高品質ポリシリコンが輸入に大きく依存している状況は緩和されるだろう。

電子グレードのポリシリコン製品の純度要件の技術的困難に基づいて、主に以下の点で、多くの不純物を制御するために、より高い生産および精製工程が難しく、純度が高い、と高く、電子グレードのポリシリコン生産は克服する必要があります。

まず、不純物が生産設備、配管、機器および製造プロセスは厳密に汚染制御システムを必要とするデバイスの構造の最初から、すなわち、構造及び設置、生産システムの清浄度の制御を、洗浄されなければならない制御されなければならない。次に、スクリーニングは、厳密に生でなければなりませんシリコンパウダー、水素、シリコンコア、純水、補助ガスなどの材料は、不純物の合理的な範囲で原料の含有量を管理し、異常な品質変動を防ぐための完全な原料品質管理システムを確立します。

再び、厳しい清浄度は、生産システムのメンテナンスの汚染を防止するために、還元炉のインストール、シリコン棒収穫、粉砕、洗浄、選別、包装プロセス、ヒトおよび環境汚染の制御、修復プロセスに要求清浄度の制御、を含む動作を実行する必要があります。

最後に、我々は、制御性のあらゆる面の品質を確保するために、標準的な臨床検査を装備したSIMIに沿ったもので、全体のプロセスの製品品質の監督と制御システムの処分に、原材料、中間製品、製造作業、プロセスパラメータのコントロールから構築する必要がありますコントロールしています。

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