قامت شركة توبان اليابان بتطوير تكنولوجيا الضوئيات لآلات الطباعة الحجرية التابعة للاتحاد الأوروبي (EUV) لسنوات عديدة ، وخلال السنوات الخمس الماضية (2014 ~ 2108.04) ، نشر توببان توببان 37 ورقة تتعلق بتكنولوجيا الفوتوشوب الأساسية في الاتحاد الأوروبي. عدة مرات أكبر عدد من المنافسين في هذه الصناعة تظهر عمق البحث والتطوير.
وقد أعلن ASML فوق البنفسجي الطباعة الحجرية NEX: تم تحقيقه 3400B في معلما بعض المختبرات في 140 للساعة الواحدة، ومصدر الطاقة هو 246 واط، في نفس الوقت، يتم الحصول ASML الجهاز فوق البنفسجي الطباعة الحجرية أيضا في صناعة أشباه الموصلات 7 نانومتر المستخدمة، بما في ذلك الجيل الأول من تكنولوجيا النانو 7 من سامسونج، والجيل الثاني من 7 نانومتر TSMC وغيرها المستوردة في 2019، تحية رسميا فوق البنفسجي الطباعة الحجرية عصر صناعة أشباه الموصلات.
أعلن توبان أيضا أنه قد شحنت أكثر من 300 اختبار مع الضوئية الرئيسية فوق البنفسجي إلى العملاء، وأعتقد أن مستقبل التعاون الوثيق بين الشركات والموردين رقاقة الضوئية الرئيسية، يمكن أن يساعد الجهاز فوق البنفسجي الطباعة الحجرية بسرعة إلى حجم الإنتاج في السوق.
إن الحياة الماضية والحاضرة لمصنع توببان شنغهاي في اليابان هي ابتكارات في تعاون الصين شبه الموصلي بين الصين والدول الأجنبية.
توبان دخلت في عام 1961، وصناعة أشباه الموصلات الضوئية الرئيسية، بدأت الصين شنغهاي مصنع الإنتاج في عام 1995. مصنع الصين توبان شنغهاي، المعروف سابقا باسم دوبونت شعبة دوبونت تخطيط الضوئية الرئيسية صناعة أشباه الموصلات في الصين هي مرحلة مبكرة للغاية في الوقت المناسب، حتى في وقت سابق من العديد من مصانع أشباه الموصلات الصينية الأولى ، بعد أن باعت دوبونت مصنع شنغهاي إلى اليابان في عام 2004 ، انسحبت تدريجيا من الصناعة.
أكاديمية الصينية للعلوم، هو أيضا المواد الشهير عالم زو العام كما تشارك في بناء محطة دوبونت القناع في شنغهاي، شنغهاي هوا هونج NEC، غريس، هو الشاهد من تطوير صناعة أشباه الموصلات في الصين.
زو يتذكر، زيارة إلى الولايات المتحدة في عام 1993، دوبونت مقرها في نيويورك وزار مصنع لتكنولوجيا دوبونت، توسيع المفاوضات التجارية مع دوبونت، التحولات والانعطافات، تم تأسيس مشروع مشترك قناع شنغهاي دوبونت رسميا في عام 1995.
بعد شنغهاي دوبونت في السنوات الأولى، والولايات المتحدة هي الرائدة في إدارة وإنشاء الخسائر التي تكبدتها في السنوات السابقة، فإن مجلس الإدارة بعد المداولة، المرسلة من كوريا الجنوبية إلى شركة مشتركة منصب المدير العام للمصنع، بالاعتماد على الخبرة واستراتيجية في الخارج لخفض النفقات، مصنع شنغهاي في أوائل عام 2000 وبدأت في تحقيق ربح ، وفي الوقت نفسه رفعت مستوى تصنيع تكنولوجيا الضوئيات في الصين إلى 0.25 ميكرون لتحسين جودة التسليم والإنتاج الضخم.
وأشار إلى أن زو حساسية، توبان الطباعة شنغهاي مصنع في الماضي والحاضر، والتنمية التعاونية الصينية والأجنبية الأدلة أشباه الموصلات مبتكرة.
وأشار كذلك إلى أن أمام أشباه الموصلات المحلي مزدهرة في جميع أنحاء القوات المسلحة البوروندية في كل مكان، ولكن هذه التكنولوجيا الضوئية الرئيسية الراقية المحلية لا تزال ضعيفة، تعتمد في الغالب على الواردات الأجنبية، أثار الأمل للمجلس في المستقبل لملء الثغرات التكنولوجيا الراقية لتعزيز التنمية الصناعية، ل صعود التنمية الصناعية في الصين لا ينفصل عن التعاون المحلي والأجنبي والجهود المشتركة من المنبع والمصب.
تريد توبان الراقية في 28 / 14nm ، وتنتج تكنولوجيا DRAM في الصين للقفز في حصة السوق
قامت المطبات اليابانية بنقل التكنولوجيا المتطورة بشكل متتابع إلى مصنع TPCS في شانغهاي ، حيث قدم المصنع معدات تكنولوجيا ضوئية 90nm في عام 2015 ، وسيبدأ إنتاج تقنية 65 / 55nm في عام 2018 ، ثم يدخل في عملية المنطق في عام 2018. 28 / من المتوقع أن يستثمر إنتاج الضوئيات من 14 نانومتر ، وعملية DRAM 1X / 1Y ، 150 مليون دولار أمريكي للقفز الكامل لحصة السوق في السوق الصينية.
وفي الوقت نفسه ، ستنتج اليابان Toppan أعلى منتجات تكنولوجيا الضوئية محليًا في الصين ، مما سيساعد على تقصير فترة التسليم وتوفير خدمات قريبة من الموقع ، والهدف هو زيادة حصة السوق الضوئية في الصين إلى 70٪ بحلول نهاية عام 2020.
بالإضافة إلى ارتفاع معدلات الاستثمار في التكنولوجيا العملية، توبان أيضا قبل عدة سنوات إلى الضوئية الرئيسية لآلة فوق البنفسجي الطباعة الحجرية باستخدام الطاقة العالية، مصدر الضوء قصيرة الطول الموجي، يتم نقل نمط الدائرة إلى الرقاقة، والطول الموجي من مصدر الضوء فوق البنفسجي من الأشعة فوق البنفسجية العميقة الحالي دي يو ناقصة حوالي 15 مرة من الطول الموجي للضوء المصدر، فمن الممكن لتحقيق تخفيض حجم ميزة تستمر الأغراض.
ويستخدم فوق البنفسجي الطباعة الحجرية الضوئية الرئيسية للالخام وتصنيع الآلات وغرامة الدقيقة الضوئية تكنولوجيا تصميم ويطبق على سطح الركيزة، واختبار أكثر من 300 على ارتفاعات مختلفة، والتباعد، والشكل، مزيج من المواد وغيرها، لتحقيق خفض ناجحة الزائدة الضوء المنعكس، ومشكلة خط متفاوتة العرض دائرة الحد من الفقر، تؤدي إلى تشكيل الدائرة أشباه الموصلات الدقيقة.
إن الفرق بين الصورة الضوئية EUV والضوئية التقليدية هو أن الضوئية التقليدية تبث بشكل انتقائي ضوء طول موجي 193 نانومتر لإسقاط مخطط الدائرة على الرقاقة ، ولكن عند استخدام الليثوغرافيا الضوئية EUV عند طول موجة 13.5 نانومتر جميع المواد الضوئية غير شفافة ، لذا فإن الصورة الضوئية ذات المرآة المركبة المتعددة المغلفة تعكس نمط الدائرة على الرقاقة.