В обширной вселенной космический зонд из металлического металла проходит со сверхсветовой скоростью, он состоит из протонов и нейтронов, которые заперты сильными взаимными силами. Поскольку поверхность абсолютно гладкая, она может отражать все электромагнитные волны и непобедима .... 3. Лю Цзисин упомянул космический корабль под названием «Капли воды» в научной фантастике «Три тела».
Фактически, стремление к «абсолютной гладкости» людей также трансформировалось из научной фантазии в практическую, например, с помощью технологии ультраточной полировки, которая способствует революции интегральных схем. Как описано в «Трех телах», самая современная химия Технология химической механической полировки (CMP) также вошла в атомную шкалу. Когда электростанции электроники конкурируют, чтобы подняться или достигнуть вершины этого процесса, мы можем только посмотреть вверх.
Современная электроника, ультраточная полировка - это душа
Физическая полировка является наиболее часто используемой технологией полировки до 1980-х годов, но быстрое развитие электронной промышленности предъявляет все более жесткие требования к размеру и плоскостности материальных устройств. Когда подложку толщиной в один миллиметр необходимо превратить в десятки В случае интегральных схем из миллионов слоев традиционные традиционные методы полировки далеки от требований.
Ультра-прецизионный полировальный процесс Китая, заблокированный США и Японией
В качестве примера возьмем изготовление вафель. Полировка - это заключительная стадия всего процесса. Цель состоит в том, чтобы улучшить микродефекты, оставленные пластиной перед обработкой пластины, для достижения наилучшего параллелизма ». Доктор Ван Ци, Национальный институт нанонауки, Китайская академия наук Science and Technology Daily репортер представил.
Сегодняшний уровень оптоэлектронной информации, сапфир, монокристаллический кремний и другие материалы, используемые в качестве оптоэлектронных материалов подложки, все более и более точны и достигнут нанометрового уровня. Это означает, что процесс полировки также вошел в наномасштаб. Степень сверхточной точности.
Важность технологии ультраточной полировки в современном производстве, ее области применения могут напрямую объяснить проблему: производство интегральной микросхемы, медицинское оборудование, автозапчасти, цифровые аксессуары, прецизионные формы, аэрокосмическая промышленность.
Ван Ци сказал: «Задача технологии ультраточной полировки в современной электронной промышленности заключается не только в планировании различных материалов, но и в планировании многослойных материалов, так что несколько миллиметров квадратного кремния через эту« глобальную плоскостность » Формирование мега-транзисторов, состоящих из десятков тысяч до миллионов транзисторов, например, человеческие компьютеры в настоящее время превращаются из десятков тонн в несколько сотен граммов. Невозможно сверхчистовой полировки. Это технологическая душа.
Основная технология заморожена, а внутренний спрос контролируется людьми
Чжэцзян Цзян Цзиншэн Electrical Co., Ltd. является одним из пионеров чеканка «глобального уплощение» электроники обрабатывающей промышленности Китая, компания на протяжении многих лет занимается научно-исследовательской процесс полировки и технического директора по развитию ВС Мин заявил журналистам: «Если процесс полировки уподобить делать блины, наша карта шейка горшок, другие антипригарная кастрюля дна, но мы не можем.
ВС Мин называются «горшок» является полировочными компоненты ядра -. Сверхточная «Disc» полирования очень требовательных технических требований материала, составляющего полирующей машину и диска, который синтезируется с помощью специального материала стального диска, а не только для удовлетворения наноразмерная точность автоматизированной операции, более точно, чтобы иметь коэффициент теплового расширения.
Когда полировальная машина работает в высокоскоростном режиме, если тепловое расширение приводит к термической деформации шлифовальной плиты, не может быть гарантирована плоскостность и параллельность подложки. Однако ошибка тепловой деформации, которая не может быть разрешена, не составляет нескольких миллиметров или нескольких микрометров. Это несколько нанометров.
В настоящее время мировые технологии полирования, такие как США и Япония, уже могут удовлетворять требованиям точной полировки 60-дюймовых материалов подложки (которые имеют негабаритные размеры). Они контролируют основную технологию ультраточных полирования и прочно поддерживают инициативу мирового рынка. Фактически, захватив эту технологию, она в значительной степени контролировала развитие электронного производства.
По словам Сан Мина, шлифовальные круги японских полировальных машин изготавливаются на заказ, и они не подлежат массовому производству, что напрямую ограничивает имитацию других стран. Ван Ци также сообщил журналистам, что полировальное оборудование Соединенных Штатов продается Китаю, а цены обычно составляют более 10 миллионов юаней. Заказы на продажу были размещены до конца 2019 года. До сих пор не было принято никаких заказов.
«Перед лицом такой узкой технической блокады мы спешим. В весенний и осенний период Любань изобрел камень для людей и помог сельскохозяйственной цивилизации. В наши дни наш прогресс в электронной промышленности снова застрял на шее с помощью шлифовального круга. Но опять же, теперь мы Приходится ждать, чтобы импортировать или проводить независимые исследования и разработки », - сказал Ван Ци.
Пиковая технология, прося о помощи
На самом деле, в области ультраточной полировки, Китай не лишен своих достижений. В качестве набора высокотехнологичных синтетических процессов ультратонкая химическая механическая полировка должна состоять из оборудования и материалов (полировочной жидкости), которые являются обязательными.
В 2011 году «Стандартная справочная информация по размерам диоксида цезия и стандарт ее подготовки», разработанная доктором Ван Ци, получила первый приз за техническое изобретение от Федерации нефтяной и химической промышленности Китая, а соответствующий материал нанометрового размера получил национальную лицензию на измерительный прибор и государство Сертификат о стандартном материале первого класса. Эффект супер-точной полировки нового материала из оксида алюминия превзошел традиционные посторонние материалы одним махом, заполнив пробел в поле.
Тем не менее, Ван Ци сказал: «Это не значит, что мы поднялись на вершину этого поля. Для всего процесса, только для полировки и без сверхчистого шлифовального станка, мы можем продавать материалы не более».
Sun Ming считает, что конкретные требования современной промышленности по производству электроники могут быть четко определены для преодоления направления ультраточного полирования: «Процесс полировки должен отвечать текущим требованиям электроники, можно резюмировать как сверхточную, крупную величину. Полирующий материал - это только основа. Исходя из этого, нам также нужно сделать два шага, сначала решить проблему с диском, а затем решить проблему расширения области полировки.
Согласно Sun Ming, состав материала и процесс производства полировальных дисков в Соединенных Штатах и Японии всегда были загадкой. Другими словами, покупка и использование их продуктов не означает, что они могут копировать или даже копировать свои продукты. Это две разные вещи.
«Какие материалы и процессы могут быть использованы для синтеза такой низкой скорости теплового расширения, высокой износостойкости и сверхточных шлифовальных дисков на шлифовальной поверхности, это техническая проблема, с которой мы должны сначала сосредоточиться, и как только эта проблема будет решена, 60-дюймовая поверхность для полировки не будет Тогда это мечта, и такую базовую технологию нельзя ожидать от других. У нас нет выбора, кроме как полагаться на самих себя », - сказал Сан Минг.