No vasto universo, uma liga de metal, que passa ultra-leve de sondas, o qual consiste em protões e neutrões forte força de bloqueio mútuo, devido a uma superfície lisa e pode reflectir os absolutos todas as ondas electromagnéticas, e é indestrutível ...... um nome de aeronaves 'drop' universo Liu Cixin mencionado no sci-fi romance "três corpos" em.
Na verdade, a busca da "suavidade absoluta" pelos seres humanos também foi transformada de uma fantasia científica para uma prática, como a tecnologia de polimento de ultraprecisão que promove a revolução dos circuitos integrados. Como descrito em "Três corpos", a química mais avançada atual A tecnologia de polimento mecânico-químico (CMP) também entrou em escala atômica.Quando as usinas da indústria de eletrônicos competem para subir ou alcançar o pico desse processo, só podemos olhar para cima.
Indústria eletrônica moderna, polimento de ultra-precisão é a alma
polimento físico antes de 80 anos a tecnologia de polimento mais comum do século passado, mas o rápido desenvolvimento da indústria eletrônica feitas exigências mais estritas do tamanho, material nivelamento do dispositivo. Quando a espessura de um milímetro de substrato precisam ser feitas várias dezenas de No caso de circuitos integrados de milhões de camadas, as antigas técnicas tradicionais de polimento estão longe dos requisitos.
Processo de polimento de ultraprecisão da China bloqueado pelos EUA e pelo Japão
'Caso fabricação de wafer, o polimento é o último elo do processo geral, visa melhorar o tratamento dos defeitos hora em um processo de wafer antes esquerda para obter o melhor grau de paralelismo.' CAS Instituto Centro Nacional de Nanociência o Dr. Wang Qi Repórter diário de ciência e tecnologia introduzido.
O nível atual da indústria de informação optoeletrônica, a safira, o silício monocristalino e outros materiais usados como substrato optoeletrônico são cada vez mais precisos e atingiram o nível nanométrico, o que significa que o processo de polimento também entrou na nanoescala. O grau de ultra precisão.
A importância da tecnologia de polimento de ultra-precisão na fabricação moderna, suas áreas de aplicação podem explicar diretamente o problema: fabricação de circuitos integrados, equipamentos médicos, autopeças, acessórios digitais, moldes de precisão, aeroespacial.
Wang Qi disse: "o moderno polimento ultra-precisão na indústria de eletrônicos para realizar a tarefa, não apenas o planarization de diferentes materiais, mas também a um material planarização multicamadas, tal pastilha de silício vários milímetros quadrados neste planarization mundial 'forma VLSI que consiste de transistores em 10000-1000000 exemplo computador já inventado pelo homem a partir de dezenas de toneladas agora virou-se para algumas centenas de gramas, sem polimento ultra-precisão não funciona, é a alma da tecnologia.'
A tecnologia principal está congelada e a demanda doméstica é controlada por pessoas
Zhejiang Jiang Jingsheng Electrical Co., Ltd. é um dos pioneiros de perseguir 'achatamento global da indústria fabricação de produtos eletrônicos da China, a empresa por muitos anos envolvidos na pesquisa processo de polimento e desenvolvimento diretor técnico Sun Ming disse a repórteres: 'Se o processo de polimento comparou a fazer panquecas, o nosso cartão O pescoço é o pote, os outros são antiaderentes e não podemos fazer isso.
Sun Ming chamado 'pot' é componentes principais polidor -. Ultra-precisão 'Disco' polimento exigências técnicas muito exigentes do material que constitui a máquina de polimento e disco, que é sintetizada por um material especial disco de aço, não só para atender Nano precisão automação de precisão, mas também tem coeficiente de expansão térmica precisa.
Quando a máquina de polimento está no estado de funcionamento de alta velocidade, se a acção de expansão térmica faz com que a deformação térmica do disco, planicidade e paralelismo do substrato não pode ser garantida. Este não pode ser permitida e ocorrência de erro não é termicamente milímetros deformadas ou alguns mícrons, e alguns nanômetros.
Atualmente, os Estados Unidos eo Japão e outros processos top polimento internacional tem de cumprir os 60 polegadas de precisão materiais de substrato de polimento requisitos (gênero de grandes dimensões), em que eles controlam a tecnologia de núcleo do processo de polimento ultra-precisão, segure firme a iniciativa no mercado global e, na verdade, compreender a tecnologia, irá controlar em grande parte o desenvolvimento da indústria de fabricação de produtos eletrônicos.
Sun Ming introduzido no Japão polimento disco máquina de moagem são personalizados, não produção em massa, limitando imitação direta de seu país; Wang Qi disse a repórteres que o equipamento de polimento US vendido para a China, os preços são geralmente de 10 milhões de yuan, ou mais, e ordens de venda ter sido o final de 2019, não tinha aceitado as ordens.
'Diante de um bloqueio tão apertado da tecnologia, temos pressa, Período de Primavera e Outono, pedra Luban impulso para os seres humanos inventaram civilização agrícola, agora temos o progresso industrial eletrônico, mas por um disco novamente preso seu pescoço, mas, em seguida, ansioso, agora nós temos de esperar, ou outro importados ou auto-desenvolvimento. ', disse Wang Qi.
Peaking technology, pedindo ajuda
De fato, no campo do polimento de ultraprecisão, a China não deixa de ter suas realizações.Com um conjunto de processos sintéticos altamente técnicos, o processo de polimento mecânico químico ultra-preciso deve ser composto de equipamentos e materiais (líquido de polimento), ambos indispensáveis.
Em 2011, o Dr. Wang Qi equipe 'ceria microesfera tecnologia de preparação do tamanho e materiais de referência' R & D ganhou o primeiro prêmio China Petroleum e da Federação da Indústria Química da invenção tecnológica, materiais de referência relacionados com instrumentos de medição de tamanho de partícula de nano-escala permitir o acesso a nível nacional e estadual O certificado de material padrão de primeira classe O efeito de teste de polimento de superprecisão do novo material de ceria superou os materiais estranhos tradicionais de uma só vez, preenchendo a lacuna no campo.
No entanto, Wang Qi disse: "Isso não significa que subimos ao topo deste campo. Para todo o processo, apenas o fluido de polimento e nenhuma polidora de superprecisão, só podemos vender materiais no máximo".
Sun Ming acredita que os requisitos específicos da moderna indústria de fabricação eletrônica podem ser claramente definidos para superar a direção do processo de polimento de ultraprecisão: "O processo de polimento precisa atender aos requisitos atuais da indústria eletrônica, pode ser resumido como grande precisão." O material de polimento é apenas a base.Com base nisso, também precisamos ir em duas etapas, primeiro para resolver o problema do disco e, em seguida, para resolver o problema da expansão da área de polimento.
Sun Ming introdução, os Estados Unidos, Japão, materiais e processo de produção de polimento de disco máquina tem sido um mistério. Em outras palavras, comprar e usar seus produtos, não significa que a imitação pode até copiar os seus produtos, que são duas coisas diferentes.
'Que materiais e processos utilizados para sintetizar um coeficiente de dilatação tão baixo térmica, alta resistência ao desgaste, disco de moagem superfície ultra-precisão, primeiro precisamos concentrar em resolver os problemas técnicos, para resolver este problema de uma vez e face polida de 60 polegadas não vai funcionar outro sonho. e esta tecnologia core, nunca pode esperar para receber das mãos de outras pessoas, para além da sua própria, não temos escolha. ', disse Sun Ming.