In weiten Universum, eine Metalllegierung, ultra-Licht, das auf Raumsonden, die starken Kraft Protonen und Neutronen bestehen aus gegenseitiger Verriegelung aufgrund einer glatten Oberfläche und kann die absoluten alle elektromagnetischen Wellen reflektieren, und es ist unzerstörbar ...... ein Name 'drop' Universum Liu Cixin Flugzeuge in dem sci-fi novel "drei~~POS=TRUNC" genannt in.
Tatsächlich wurde das Streben nach "absoluter Sanftheit" durch den Menschen auch von einer wissenschaftlichen Fantasie in eine praktische verwandelt, wie zum Beispiel die Ultra-Präzisionspoliertechnologie, die die Revolution der integrierten Schaltkreise fördert.Wie in der "Drei-Körper", der aktuell fortschrittlichsten Chemie Auch die Chemical Mechanical Polishing (CMP) -Technologie hat sich auf atomarer Ebene durchgesetzt: Wenn die Kraftwerke der Elektronikindustrie darum kämpfen, den Höhepunkt dieses Prozesses zu erreichen, können wir nur nach oben schauen.
Moderne Elektronikindustrie, Ultrapräzisionspolieren ist die Seele
Physikalisches Polieren vor 80 Jahren die häufigste Poliertechnologie des letzten Jahrhunderts, aber die rasante Entwicklung der Elektronik-Industrie hatte strengere Anforderungen an der Größe, Flachheit Material der Vorrichtung. Wenn die Dicke von einem Millimeter des Substrats müssen mehrere Zehn gemacht werden wenn die Schaltung Wan Schicht integriert, hat der traditionelle alte Polierprozess gewesen, die Anforderungen nicht erfüllt weit kann.
Chinesischer Ultrapräzisionspolierprozess ist blockiert amerikanisch und japanische Importpreise mehr als zehn Millionen Geräte
‚Fall der Waferherstellung, ist das Polieren das letzte Glied des Gesamtprozesses, zielt darauf ab, die Verarbeitung von kleinen Defekten in einem Wafer-Prozess zu verbessern, bevor verließ den besten Grad der Parallelität zu erhalten.‘ CAS Institut National Center for Nanoscience Dr. Wang Qi Science and Technology Daily Reporter eingeführt.
Die heutige optoelektronische Informationsindustrie, der Saphir, das einkristalline Silizium und andere Materialien, die als optoelektronische Substratmaterialien verwendet werden, werden immer präziser und haben das Nanometerniveau erreicht, so dass der Polierprozess auch in die Nanometerskala gelangt ist. Der Grad der Ultrapräzision.
Die Bedeutung der Ultrapräzisionspoliertechnologie in der modernen Fertigung, ihre Anwendungsgebiete können das Problem direkt erklären: Herstellung von integrierten Schaltkreisen, medizinische Ausrüstung, Autoteile, digitales Zubehör, Präzisionsformen, Luft- und Raumfahrt.
Wang Qi sagte: "Die Mission der Ultrapräzisionspoliertechnik in der modernen Elektronikindustrie besteht nicht nur darin, verschiedene Materialien zu planieren, sondern auch mehrschichtige Materialien zu planarisieren, so dass durch diese" globale Flachheit "einige Millimeter quadratisches Silizium entstehen Die Bildung von Mega-Transistoren, die aus Zehntausenden bis Millionen von Transistoren bestehen, zum Beispiel, menschliche Computer wurden heutzutage von Dutzenden von Tonnen zu einigen hundert Gramm umgewandelt. Kein Superpräzisionspolieren ist möglich. Es ist eine technologische Seele.
Die Kerntechnologie ist eingefroren, und die Binnennachfrage wird von Menschen kontrolliert
Zhejiang Jiang Jingsheng Electrical Co., Ltd ist einer der Pioniere der globalen Abflachung "der chinesischen Elektronik verarbeitenden Industrie jagen, das Unternehmen für vielen Jahren engagiert in der Polierprozess Forschung und Entwicklung technischer Direktor Sun Ming sagte Reportern:‚Wenn der Poliervorgang verglichen Pfannkuchen zu tun, unsere Karte Der Hals ist der Topf, die Töpfe anderer sind nicht klebend, und wir können es nicht tun.
Sun Ming genannt ‚Topf‘ ist Polierer Kernkomponenten -. ‚Disc‘ Ultra-Präzisions-Polier sehr anspruchsvolle technische Anforderungen des Materials, welche die Poliermaschine und Scheibe, die durch ein spezielles Stahlscheibenmaterial synthetisiert wird, nicht nur gerecht zu werden Nano-Präzisions-Präzisions-Automation, sondern auch genaue Wärmeausdehnungskoeffizienten.
Wenn die Poliermaschine im Hochgeschwindigkeitsbetrieb ist, kann, wenn die Wärmeausdehnung zu einer thermischen Verformung der Schleifplatte führt, die Ebenheit und Parallelität des Substrats nicht garantiert werden, jedoch kann der thermische Verformungsfehler, der nicht auftreten darf, nicht mehrere Millimeter oder mehrere Mikrometer betragen. Es ist ein paar Nanometer.
Gegenwärtig können die weltweit führenden Polierverfahren wie die USA und Japan die Präzisionspolieranforderungen für 60-Zoll-Substratmaterialien (die überdimensioniert sind) bereits erfüllen: Sie steuern die Kerntechnologie von Ultrapräzisions-Polierprozessen und greifen die Initiative des globalen Marktes fest an. In der Tat hat diese Technologie die Entwicklung der Elektronikfertigung weitgehend kontrolliert.
Sun Ming eingeführt in Japan Polierscheibe Maschine Schleifen angepasst werden, nicht die Massenproduktion seines Landes direkte Nachahmung zu begrenzen; Wang Qi sagte Reportern, dass die US Polieren Ausrüstung nach China verkauft, die Preise sind in der Regel 10 Millionen Yuan oder mehr, und Kundenaufträge wurden bis Ende 2019 erteilt. Bestellungen wurden noch nicht angenommen.
‚Angesichts dieser engen Blockade der Technologie, wir eilen, Frühling und Herbst-Periode, Stein Luban Schub für den Menschen erfunden Landwirtschaft Zivilisation, wir jetzt elektronische industriellen Fortschritt, sondern durch eine Scheibe stecken wieder seinen Hals, aber dann ängstlich, wir jetzt Ich muss warten, entweder um zu importieren, oder unabhängige Forschung und Entwicklung. "Wang Qi sagte.
Spitzentechnologie, um Hilfe bitten
Im Bereich des Ultrapräzisionspolierens ist China jedoch nicht ohne seine Errungenschaften: Als eine Reihe von hochtechnischen synthetischen Verfahren muss der ultrapräzise chemisch-mechanische Polierprozess aus Ausrüstung und Materialien (Polierflüssigkeit) bestehen, die beide unverzichtbar sind.
Im Jahr 2011 gewann Dr. Wang Qi R & D-Team ‚Ceroxid Mikrokügelchen Größe und Referenzaufbereitungstechnik‘ den ersten Preis China Petroleum and Chemical Industry Federation der technologischen Erfindung, Referenzmaterialien auf Partikel im Nanomaßstab Größenmessbezogenen Instrumenten ermöglichen den Zugang zu nationalen und staatlichen Das erstklassige Standard-Materialzertifikat: Der Präzisionstest für die Politur von neuem Ceroxidmaterial übertraf die traditionellen Fremdmaterialien auf einen Schlag und füllte die Lücke auf dem Feld.
Wang Qi sagte jedoch: "Dies bedeutet nicht, dass wir an die Spitze dieses Feldes geklettert sind. Für den gesamten Prozess, nur die Polierflüssigkeit und keine Super-Präzision Poliermaschine, können wir nur Materialien höchstens verkaufen."
Sun Ming glaubt, dass die spezifischen Anforderungen der modernen Elektronikfertigungsindustrie klar definiert werden können, um die Richtung des Ultrapräzisions-Polierprozesses zu überwinden: "Der Polierprozess muss die aktuellen Anforderungen der Elektronikindustrie erfüllen, kann als Ultra-Präzision, große Größe zusammengefasst werden. Mit Top-Level Das Poliermaterial stellt nur die Grundlage dar. Darauf basierend müssen wir auch in zwei Schritten vorgehen, um zunächst das Scheibenproblem zu lösen und dann das Problem der Polierflächenausdehnung zu lösen.
Sun Ming Einführung, die Vereinigten Staaten, Japan, Materialien und Herstellungsverfahren Maschine Scheibe Polier hat ein Geheimnis gewesen. Mit anderen Worten, kaufen und ihre Produkte verwenden, bedeuten nicht, dass Nachahmung kann sogar ihre Produkte kopieren, das sind zwei verschiedene Dinge.
‚Was Materialien und Prozesse zu synthetisieren solche mit einem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, hohe Verschleißfestigkeit, ultrapräzise Oberflächenschleifscheibe, müssen wir zunächst konzentrieren sich auf die technischen Probleme an, um dieses Problem sofort lösen und 60-Zoll polierte Fläche wird nicht funktionieren ein weiterer Traum. und diese Kern-Technologie können nie aus den Händen anderer, zusätzlich zu ihrem eigenen bekommen erwarten, wir haben keine andere Wahl. ‚Sun Ming sagte.