Dans le vaste univers, une sonde cosmique en alliage métal-métal passe à la vitesse supraluminique, composée de protons et de neutrons qui sont bloqués par des forces mutuelles fortes, car la surface est absolument lisse, elle peut réfléchir toutes les ondes électromagnétiques et est invincible .... 3. Liu Cixin a mentionné un engin spatial nommé «Water Drops» dans la science-fiction «Three Body».
En fait, la quête humaine de « lisse absolue » a été transformé de science-fiction à la pratique, comme la poussée technologique polissage ultra-précision « tourné révolution de circuit intégré » est. Décrite comme « trois corps », comme dans, le plus avancé du produit chimique en cours La technologie de polissage chimico-mécanique (CMP) est également entrée dans l'échelle atomique: lorsque les puissances de l'industrie électronique rivalisent pour grimper ou atteindre le sommet de ce processus, nous ne pouvons que regarder en l'air.
Industrie de l'électronique moderne, polissage ultra-précision est l'âme
Le polissage physique est la technique de polissage la plus couramment utilisée avant les années 1980, mais le développement rapide de l'industrie électronique impose des exigences de plus en plus strictes en termes de taille et de planéité des matériaux. Dans le cas des circuits intégrés de millions de couches, les anciennes techniques de polissage traditionnelles sont loin des exigences.
Le processus de polissage ultra-précis de la Chine bloqué par les États-Unis et le Japon
Le polissage est la dernière étape de tout le processus, le but étant d'améliorer les micro-défauts laissés par la plaquette avant le traitement des plaquettes afin d'obtenir le meilleur parallélisme. »Dr. Wang Qi, Institut national des nanosciences, Académie chinoise des sciences Science et Technologie Daily Reporter présenté.
informations photoélectrons aujourd'hui parallélisme au niveau de l'industrie pour les matériaux comme opto-électronique substrat de saphir, de silicium et d'autres matériaux sont devenus de plus en plus sophistiqués, a atteint le niveau nanométrique. Cela signifie que le processus de polissage les a suivi dans l'échelle nanométrique le degré ultra-précis.
Quelle est l'importance du processus de polissage ultra-précision dans la fabrication moderne dans le domaine de son application peut directement expliquer le problème: la fabrication de circuits intégrés, les équipements médicaux, les pièces automobiles, accessoires numériques, des moules de précision, de l'aérospatiale.
Wang Qi a dit: « le polissage ultra-précision moderne dans l'industrie de l'électronique pour accomplir la tâche, non seulement l'aplanissement des différents matériaux, mais aussi à un matériau aplanissement multicouche, une telle plaquette de silicium de quelques millimètres carrés dans ce aplanissement global « forme VLSI constituée de transistors sur ordinateur par exemple 10000-1000000 jamais inventé par l'homme de dizaines de tonnes maintenant tournés vers quelques centaines de grammes, sans polissage ultra-précision ne fonctionne pas, il est l'âme de la technologie. »
La technologie de base est gelée et la demande intérieure est contrôlée par des personnes
Zhejiang Jiang Jingsheng Electrical Co., Ltd est l'un des pionniers de la chasse « aplanissement global » de l'industrie de la fabrication de l'électronique de la Chine, l'entreprise depuis de nombreuses années engagés dans le directeur technique de recherche et développement processus de polissage Sun Ming a déclaré aux journalistes: « Si le processus de polissage comparé à faire des crêpes, notre carte le cou est le pot, les autres en bas de poêle anti-adhésive, mais nous ne pouvons pas.
Sun Ming appelé « pot » est des composants de base polisseur -. Ultra-précision « Disc » polissage exigences techniques très exigeants de la matière constituant la machine de polissage et le disque, qui est synthétisé par un matériau spécial à disque en acier, non seulement pour répondre précision nanométrique fonctionnement automatisé, plus précisément d'avoir un coefficient de dilatation thermique.
Lorsque la machine de polissage est en état de fonctionnement à grande vitesse, si l'action de dilatation thermique provoque une déformation thermique du disque, la planéité et le parallélisme du substrat ne peut pas être garantie. Cela ne peut pas être autorisé et l'occurrence d'erreur ne sont pas thermiquement millimètres déformés ou de quelques microns, et quelques nanomètres.
À l'heure actuelle, les États-Unis et le Japon et d'autres processus de polissage haut niveau international doit atteindre les 60 pouces de matériaux de substrat exigences de polissage de précision (genre surdimensionné), par lequel ils contrôlent la technologie de base du procédé de polissage ultra-précision, saisir fermement l'initiative sur le marché mondial et en fait, saisir la technologie, contrôlera en grande partie le développement de l'industrie de fabrication électronique.
Sun Ming introduit au Japon disque de meulage de la machine de polissage sont sur mesure, et non la production de masse, ce qui limite l'imitation directe de son pays, Wang Qi a déclaré aux journalistes que l'équipement de polissage américain vendu à la Chine, les prix sont généralement 10 millions de yuans ou plus, et Les commandes ont été passées jusqu'à la fin de l'année 2019. Aucune commande n'a été acceptée auparavant.
« Face à un tel blocus strict de la technologie, nous nous dépêchons, Printemps et Automnes, coup de fouet en pierre Luban pour l'homme a inventé la civilisation agricole, nous avons maintenant des progrès industriels électroniques, mais par un disque coincé à nouveau son cou, mais inquiet, maintenant nous Il faut attendre, soit pour importer, soit pour la recherche et le développement indépendants ", a déclaré Wang Qi.
Technologie de pointe, demander de l'aide
En effet, dans le domaine du polissage ultra-précis, la Chine n'est pas sans résultats: en tant que procédé synthétique de haute technicité, le procédé de polissage mécano-chimique ultra-précis doit être composé d'équipements et de matériaux (liquide de polissage) indispensables.
En 2011, le Dr Wang Qi a reçu le premier prix d'invention technique de la Fédération chinoise de l'industrie pétrolière et chimique pour son matériau de référence standard et sa technologie de préparation, la substance standard de granulométrie nanométrique. Le certificat de matériau standard de première classe L'effet de test de production de polissage de haute précision du nouveau matériau ceria a surpassé les matériaux étrangers traditionnels d'un seul coup et a comblé le vide sur le terrain.
Toutefois, Wang Qi a déclaré: «Cela ne signifie pas que nous avons grimpé au sommet de ce domaine.Pour l'ensemble du processus, seul le fluide de polissage et pas de machine de polissage de super précision, nous ne pouvons que vendre des matériaux au maximum.
Sun Ming estime que les exigences spécifiques de l'industrie de fabrication électronique moderne peuvent être clairement définies pour surmonter la direction du processus de polissage ultra-précision: «Le processus de polissage doit répondre aux exigences actuelles de l'industrie électronique, peut être résumé comme ultra-précision, grande taille. Le matériau de polissage est seulement la base.Pour cela, nous devons également aller en deux étapes, d'abord pour résoudre le problème du disque, puis pour résoudre le problème de l'expansion de la zone de polissage.
Introduction Sun Ming, les États-Unis, le Japon, les matériaux et les processus de production de polissage disque de la machine a été un mystère. En d'autres termes, vous pouvez acheter et utiliser leurs produits, ne signifie pas que l'imitation peut même copier leurs produits, qui sont deux choses différentes.
« Quels sont les matériaux et les procédés utilisés pour synthétiser un faible coefficient de dilatation thermique, une grande résistance à l'usure, disque de meulage de surface ultra-précision, nous avons d'abord besoin de se concentrer sur la lutte contre les problèmes techniques, pour résoudre ce problème une fois face polie de 60 pouces ne fonctionnera pas Alors, c'est le rêve, et on ne peut jamais s'attendre à ce qu'une telle technologie soit obtenue des autres, nous n'avons d'autre choix que de compter sur nous-mêmes.