VLSI عملية الطباعة الحجرية المتقدمة، وحجم نمط أصغر، وارتفاع الكثافة، والعيوب المتبقية بعد تطوير سطح الركيزة منقوشة أكثر لزجة، وكيفية إزالة بشكل فعال وكان الخلل في تطوير هذه الصناعة لاستكشاف واحدة من القضايا الساخنة، والمجتمع الدولي أيضا تكن موجودة حتى الآن حلولا متكاملة باستخدام التعاون منصة المدرسة مؤسسة، معهد الدولة HKUST من الدقيقة ما ينغ إلى المدرسة من قبل الطلاب والمعلمين تواصل المؤسسات للتشاور والتباحث مع مزيج من الضوء SMIC محفورة في وثيقة تعاون R & D فريق، وإنشاء الناجح لديناميات السوائل اللزجة على أساس النموذج المادي من العيوب تنمية يمكن استكشاف مجموعة متنوعة من الحدود المادية على تطوير رقاقة سيليكون واحدة الناشئة في عملية فضلا عن حلول لإزالة العيوب من مواصفات مختلفة، من أجل حل هذه لغز فتحت بطريقة جديدة كليا. وفي الوقت نفسه، فإن النموذج المقترح يساعد أيضا على تحسين خوارزميات ذات الصلة المعدات المحلية في تطوير آلة تدور طلاء.
من وجهة نظر عيب رحيل نموذج القوة، عند دوران النامية المتبقية على الماء عيوب سطح الرقاقة منزوع الأيونات (منزوع الأيونات الماء، DIW) شطف، التي تخضع لثلاث قوى رئيسية هي: الماء منزوع الأيونات الاتجاه، قوة الطرد المركزي التناوب وجلب النيتروجين التوجه تباين القوة مع دائرة نصف قطرها هو مبين في الشكل 2 (أ) كما هو مبين. عندما تصل قوة قيمة العتبة، الجزيئات التالفة من السطوح حافة نمط معدني أن يتم مسح بالماء منزوع الأيونات. تعريف عتبة عندما قوى اللزوجة بين العيوب السطحية المتبقية على سطح الرقاقة بعد تطويرها. عندما قوة أقل من القيمة الحدية، أي مجموع قوة إزالة أقل من ثلاثة أزواج من العيوب المتبقية قوة لزجة بين الرقاقة والعيوب المتبقية بعد التطوير لا يمكن إزالة المادة المتبقية ، مما يؤدي إلى خلل ما بعد التطوير ، مما يؤدي إلى بقعة سيئة في التعرض اللاحق ، كما هو موضح في الشكل 2 (ب).
بواسطة التحقق من المقارنة، ودقة، ونموذج شبه عالية، يحتوي على قيمة إشارة جيدة للبحث والتطوير. وبالإضافة إلى ذلك، يناقش المقالة أيضا التفاعل بين المعلمات المادية تؤثر على عدد من إزالة العيب هو في عملية إنشاء نموذج والشركات الابتكار القدرة النظرية لتوفير بيئة معملية الهندسة مع الجامعات ومعاهد البحوث لديها مزايا تكميلية والتعليم والتعاون البحثي نموذج الحصول على انجازات ملحوظة، إلى حد كبير تعزيز عملية الالتحام من تدريب الموظفين والصناعة.
مدرسة جامعة الإلكترونيات الدقيقة، والأكاديمية الصينية للعلوم في يونيو 2014 أصدر مجلس الدولة "صناعة IC الوطنية لتعزيز مخطط"، في يوليو 2015، قررت وزارة التربية والتعليم، لجنة التنمية والإصلاح الوطني، وزارة العلوم، وزارة المالية ومكتب الخبراء الاجانب الدولة لدعم البحوث المشتركة إنشاء أول دفعة من تسع جامعات لإنشاء سياق معهد المثالية الدقيقة، التي استضافها معهد الالكترونيات الدقيقة، والأكاديمية الصينية للعلوم أدى، صناعة الدوائر المتكاملة وطنية لملء الفراغ في أقرب وقت الموظفين الممكن عالية الجودة، والتمسك تعزيز مفهوم التنمية المستدامة للتعاون السلسلة الصناعية تحت إنشاء مدرسة الالكترونيات الدقيقة كلية المميزة المثالية التي أنشئت في شكل درجة رجال الأعمال حسب الطلب مع SMIC والتخزين نهر اليانغتسى، والصين في حزمة، وشيامن سنان وغيرها من الشركات الرائدة فتح مدرسة نموذجية، وتدريب الموظفين متنوع يعني نفس الوقت المدرسة أو "نموذج وطني للتكامل والتنمية معهد بحوث الالكترونيات الدقيقة التحالف" عضوا في الأمانة العامة للالوحدات والوحدات التابعة دوري. طلاب الجامعات الأولى الآن في SMIC (شنغهاي)، SMIC (بكين)، تنفيذ تخزين اليانغتسى الموضوع المتدرب بحوث في اتجاهات مختلفة من التصميم والتصنيع والمواد والمعدات الأخرى.
ومن المعروف أن مجلة الصغرى، طباعة حجرية نانوية MEMS وMOEMS المجلة الدولية للالمجلات الأكاديمية في مجال البحوث والتكنولوجيا الدوائر المتكاملة، ونشرت الصحف الأصلية على الجانب الرئيسي من أجهزة الطباعة الحجرية أشباه الموصلات والتصنيع والتعبئة والتغليف والتكنولوجيا التكامل، وما شابه ذلك.