«Национальный среднесрочный и долгосрочный план научно-технического развития (2006-2020 гг.)», Одновременно определяя группу приоритетных тем в ключевых областях, ориентированных на национальные цели, дополнительно выделил ключевые моменты и отобрал ряд основных стратегических продуктов, ключевых генерических технологий или крупных проектов, таких как Крупные проекты, и стремиться к достижению прорыва, и стремиться к достижению стремительного развития производительности за счет частичного скачка в развитии науки и техники.
«Экстремальное специальное производство интегральных микросхем и комплексные комплексы процессов» (02 специальный проект) «Исследование фоторезистских материалов EUV и технология лабораторного обнаружения» Института химии, Китайской академии наук, Института физики и химии, Китайской академии наук, Пекин Kehua Micro Компания Electronic Materials Co., Ltd. совместно предпринимает все усилия. Благодаря усилиям всех членов проектной группы мы завершили разработку, подготовку и синтез основных материалов для фоторезиста EUV, составления формул и подготовки фоторезиста и предварительную оценку работы фоторезиста в лаборатории. R & D оборудования соответствует критериям оценки материалов и оборудования, указанных в книге миссии. Проект был применен для 15 патентов на изобретение (включая 5 международных патентов). До сих пор было предоставлено в общей сложности 10 предоставленных патентов (в том числе 3 международных патентных гранта). ); Обучено 9 докторантов и 1 магистрант.
Эксперты на встрече дали полное подтверждение результатов исследований и разработок, достигнутых в рамках проекта, и отметили, что разработка фоторезиста EUV имеет стратегическое видение. После нескольких лет напряженной работы члены проектной команды успешно завершили задачи исследований и разработок и достигли требований, указанных в заявлении миссии проекта. Показатели: создана группа исследований и разработок в области высококачественного фоторезиста и предоставлена персональная поддержка стабильного развития полупроводниковой интегральной микросхемы в Китае.
Тема ответственного подразделения Ответственное лицо Института физики и химии Академии наук Китая и ответственное лицо ответственного за проект подразделения Химического института Академии наук Китая выразило искреннюю благодарность группе экспертов за их поддержку команды R & D на протяжении многих лет. Исследования и разработки высокотехнологичных электронных химических веществ в Китае находятся в стремительном развитии. В течение этого периода завершение проекта станет важной гарантией стабильного развития полупроводниковой промышленности в Китае и надеется обеспечить постоянную поддержку исследований и разработок высококачественных сопротивлений, побудить группу R & D продолжать свои усилия по реализации своих преимуществ при разработке и подготовке специальных материалов в этой области. Свою вклад вносит развитие полупроводниковая промышленность.
Главные ответственные офисы Министерства науки и техники, Пекинская муниципальная комиссия по экономике и информации, 02 крупных специальных офиса, 02 крупных специальных групп и 02 крупных специальных офиса, эксперты по принятию решений и эксперты по принятию финансовых решений и другие соответствующие подразделения приняли участие в этом Приемная встреча.